一种可调宽频的射频电源的制作方法

本发明涉及射频电源，特别涉及一种可调宽频的射频电源。

背景技术：

1、射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压，频率在射频范围(约3khz～300ghz)内、具有一定功率的电源。射频电源已广泛应用于半导体工艺设备；led与太阳能光伏产业；科学实验中的等离子体发生；射频感应加热；医疗美容；常压等离子体消毒清洗等。

2、传统射频电源，是可以产生固定频率的正弦波、具有一定功率的电源，为定频的射频电源。传统的定频射频电源采用石英晶体震荡器等产生固定频率(一个或多个频点)的信号源，例如13.56mhz,27.12mhz等频点)，定频射频电源的应用范围受限。

技术实现思路

1、本发明的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。

2、为此，本发明的目的在于提出一种可调宽频的射频电源。

3、为了实现上述目的，本发明的实施例提供一种可调宽频的射频电源，包括：宽带dds信号源产生电路、阻抗匹配拓扑装置、控制器和can数字总线接口，其中，所述宽带dds信号源产生电路与所述阻抗匹配拓扑装置和控制器连接，所述控制器进一步与所述can数字总线接口连接，所述宽带dds信号源产生电路采用内置14bitdac的直接数字频率合成器，所述阻抗匹配拓扑装置包括：采用大功率mosfet精细投切终端电阻网络，所述can数字总线接口的输出端与外部的上位机连接，用于在线接收控制指令并向所述上位机传回电源状态数据。

4、进一步，所述宽带dds信号源产生电路采用型号为ad9910的直接数字频率合成器dds。

5、进一步，所述宽带dds信号源产生电路产生0.23hz-400mhz的信号。

6、进一步，所述阻抗匹配拓扑装置的大功率mosfet精细投切终端电阻网络，采用t型电阻网络。

7、进一步，所述控制器采用单片机或微控制器mcu。

8、进一步，所述can数字总线接口采用型号为82c250的can收发器接口芯片。

9、进一步，所述上位机为个人计算机pc或工控计算机。

10、根据本发明实施例的可调宽频的射频电源，具有以下有益效果：

11、(1)采用区别于传统定频的射频电源的宽带dds信号源产生电路，可以连续高精度改变电源输出频率，频率范围10khz～200mhz，有效提高电源设备的通用性和竞争力，适应更多应用场合。

12、(2)具备完善的阻抗匹配拓扑，采用大功率mosfet精细投切终端电阻网络以实现对负载阻抗的匹配，避免高频反射造成的输出效率降低问题，满足不同频率不同负载条件下的工作需求。

13、(3)采用can数字总线接口在线接收控制指令并传回电源状态数据，具有传输距离，传输速率块的特点，can总线的数据传输信号稳定，损耗小，不易受外界干扰，并且可方便扩充节点数。

14、本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种可调宽频的射频电源，其特征在于，包括：宽带dds信号源产生电路、阻抗匹配拓扑装置、控制器和can数字总线接口，其中，所述宽带dds信号源产生电路与所述阻抗匹配拓扑装置和控制器连接，所述控制器进一步与所述can数字总线接口连接，所述宽带dds信号源产生电路采用内置14bitdac的直接数字频率合成器，所述阻抗匹配拓扑装置包括：采用大功率mosfet精细投切终端电阻网络，所述can数字总线接口的输出端与外部的上位机连接，用于在线接收控制指令并向所述上位机传回电源状态数据。

2.如权利要求1所述的可调宽频的射频电源，其特征在于，所述宽带dds信号源产生电路采用型号为ad9910的直接数字频率合成器dds。

3.如权利要求1或2所述的可调宽频的射频电源，其特征在于，所述宽带dds信号源产生电路产生0.23hz-400mhz的信号。

4.如权利要求1所述的可调宽频的射频电源，其特征在于，所述阻抗匹配拓扑装置的大功率mosfet精细投切终端电阻网络，采用t型电阻网络。

5.如权利要求1所述的可调宽频的射频电源，其特征在于，所述控制器采用单片机或微控制器mcu。

6.如权利要求1所述的可调宽频的射频电源，其特征在于，所述can数字总线接口采用型号为82c250的can收发器接口芯片。

7.如权利要求1所述的可调宽频的射频电源，其特征在于，所述上位机为个人计算机pc或工控计算机。

技术总结
本发明提出了一种可调宽频的射频电源，包括：宽带DDS信号源产生电路、阻抗匹配拓扑装置、控制器和CAN数字总线接口，其中，所述宽带DDS信号源产生电路与所述阻抗匹配拓扑装置和控制器连接，所述控制器进一步与所述CAN数字总线接口连接，所述宽带DDS信号源产生电路采用内置14bitDAC的直接数字频率合成器，所述阻抗匹配拓扑装置包括：采用大功率MOSFET精细投切终端电阻网络，所述CAN数字总线接口的输出端与外部的上位机连接，用于在线接收控制指令并向所述上位机传回电源状态数据。

技术研发人员：赵坤鹏,侯进振
受保护的技术使用者：苏州芯泰联科技发展有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12