本发明涉及等离子体,特别涉及基于介质阻挡放电 (dielectricbarrier discharge,dbd)技术的等离子体发生器,具体而言,涉及同轴式dbd等离子体发生器。
背景技术:
1、介质阻挡放电(dbd)指的是将绝缘介质插入放电空间中,通过施加足够的交流电压而产生等离子体的一种非平衡态气体放电。在dbd的放电区域内,会产生大量的活性物质,例如高能电子、自由基、离子和激发态分子等,使其在环境除臭、工业三废净化、材料表面处理与改性、臭氧产生等应用方面,实现更高的效率。另外,在大气压下产生等离子体,省去了真空腔体装置,降低了设备的成本,在工业领域有广阔的应用前景。
2、在现有的dbd系统中,当电压较小时,放电功率较小,功率较低,在应用中往往达不到客户要求。因此,急需一种能在较低电压的情况下产生较大放电功率的dbd的设备和方法。
技术实现思路
1、本发明的主要目的在于提供一种基于dbd的增强放电功率的设备和方法,来解决在较低的电压下dbd的放电击穿和功率较小的问题,以此来增强dbd的放电强度。
2、为了实现上述目的,根据本发明具体实施方式的一个实施例,提供了一种同轴式dbd等离子体发生器,主要包括带有气体输入端口的石英介质管、铜管和铜环,石英介质管侧面的气体输入端口用于供给工作气体,气体流入到石英介质管和铜管之间的放电空间之内,产生的等离子体随气体从石英介质管下端流出。
3、进一步地,所述介质管采用石英介质管,也可采用陶瓷介质管,介质管固定于内电极和外电极之间,且外电极恰好能包裹住介质管。
4、进一步地,所述铜管和铜环也可换为不锈钢、铝等导电材料。
5、进一步地,所述内电极可以通过改变其直径来改变其到介质管内壁之间的距离。
6、进一步地,所述热风枪可以替换为电热丝等加热装置。
7、进一步地,所述同轴式dbd等离子体发生器可替换为针板型dbd等离子体发生器。
8、有益效果
9、当使用热风枪给铜管加热时,随着铜管温度的升高,放电空间内的气体体积变大,放电粒子的平均自由程增加,则粒子获得的能量增强,由此则(1)可有效地降低dbd等离子体发生器的击穿电压;(2)在不改变电压和频率的情况下,通过提高电极温度来增强同轴式dbd等离子体发生器的放电功率。
1.一种基于dbd的增强放电功率的设备和方法,包括气体输入端口、绝缘介质管、内电极、外电极、非接触式红外测温仪、热风枪、激励源等。其特征在于,热风枪通过温度控制台调节温度给内电极加热,非接触式红外测温仪通过红外感应采集内电极的温度,所述工作气体通过气体输入端口供给到介质管和内电极之间。
2.如权利要求1所述的内外电极,其特征在于:可以为铜材料,也可为不锈钢材料或者铝材料等。
3.如权利要求1所述的绝缘介质管,其特征在于:所述绝缘介质管可以采用石英介质管,也可以采用陶瓷介质管等。
4.如权利要求1所述的非接触式红外测温仪,其特征在于:测温仪扫描口要和内电极要保持垂直,扫描口要和到内电极的距离保持一定的比值。
5.如权利要求1所述的热风枪,其特征在于:热风枪出风口要以正下方的方向向内电极输送热风,使电极受热均匀。
6.如权利要求1所述介质管位于内电极和外电极之间,内电极通过耐高温硅胶固定于介质管中央,到介质管内壁的距离相同,外电极恰好能完全包裹住介质管。