声表面波滤波器及射频芯片的制作方法

本发明涉及无线通讯，尤其涉及一种声表面波滤波器及射频芯片。

背景技术：

1、随着人类进入信息化时代，无线通信技术有了飞速发展，从手机，无线局域网，蓝牙等已成为社会生活和发展不可或缺的一部分。无线通信技术的进步离不开射频电路的发展。声表面波滤波器主要应用于通信设备中，通信设备中滤波器主要用来通过有用的电信号（通带）和滤除无用的电信号（阻带）。随着移动终端、物联网、车载设备的大量发展，导致频段之间的干扰越发严重。因此，对声表面波滤波器性能提出更高要求。

2、传统的声表面波滤波器包括压电晶体材料以及压电材料上的交叉电极。通常使用阶梯阻抗元型和纵向耦合型结构组成声表面波滤波器。在通信频段中，特别是接收频段，更常使用纵向耦合型声表面波滤波器。

3、然而，在通信频段中接收滤波器功率较低，受限于设备空间尺寸限制，以及压电材料和电极材料的固有特性限制，通常无法做到高抑制度。现有技术通常使用纵向耦合型声表面波滤波器来实现滤波和抑制。但是，纵向耦合型声表面波滤波器存在抑制度低，驻波优化困难等缺点。

技术实现思路

1、针对以上现有技术的不足，本发明提出一种声表面波滤波器及射频芯片，以解决现有声表面波滤波器的抑制度低，驻波优化困难及性能差的问题。

2、为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

3、第一方面，本发明实施例提供一种声表面波滤波器，所述声表面波滤波器包括压电基板、分别固定于所述压电基板上且相互间隔的第一纵向耦合型滤波器和第二纵向耦合型滤波器、用于将所述第一纵向耦合型滤波器和所述第二纵向耦合型滤波器连接的弯折电感、第一输出端子以及第二输出端子；

4、所述第一纵向耦合型滤波器包括延其表面波传播方向相对设置的第一汇流条和第二汇流条、设置在所述第一汇流条和所述第二汇流条之间的第一叉指区域、以及间隔设置在所述第一叉指区域两端的第一反射栅和第二反射栅，所述第一叉指区域的一端接地，所述第一汇流条连接至所述第一输出端子，所述第二汇流条连接所述弯折电感的第一端；

5、所述第二纵向耦合型滤波器包括延其表面波传播方向相对设置的第三汇流条和第四汇流条、设置在所述第三汇流条和所述第四汇流条之间的第二叉指区域、以及间隔设置在所述第二叉指区域两端的第三反射栅和第四反射栅，所述第二叉指区域的一端接地，所述第三汇流条连接至所述弯折电感的第二端，所述第四汇流条连接至所述第二输出端子。

6、优选的，所述弯折电感的宽度小于或等于所述第一汇流条、所述第二汇流条、所述第三汇流条和所述第四汇流条的宽度；所述弯折电感的长度大于所述第一叉指区域和所述第二叉指区域直线连接的距离。

7、优选的，所述弯折电感为绕线电感、折线电感、平面方形电感、平面圆形电感及三维电感中的任意一种。

8、优选的，所述弯折电感的电感值≥0.2nh。

9、优选的，所述第一叉指区域包括并排设置的第一叉指、第二叉指和第三叉指，所述第一反射栅位于所述第一叉指的远离所述第一输出端子的一侧，所述第二反射栅位于所述第三叉指远离所述第一输出端子的一侧，所述第二叉指的其中一端与所述第一汇流条连接，所述第一叉指的其中一端和所述第三叉指的其中一端分别连接所述第二汇流条，所述第一叉指的其中另一端、所述第二叉指的其中另一端及所述第三叉指的其中另一端分别接地。

10、优选的，所述第二叉指区域包括并排设置的第四叉指、第五叉指和第六叉指，所述第三反射栅位于所述第四叉指远离所述第二输出端子的一侧，所述第四反射栅位于所述第六叉指远离所述第二输出端子的一侧，所述第五叉指的其中一端与所述第四汇流条连接，所述第四叉指的一端和所述第六叉指的其中一端分别连接所述第三汇流条，所述第四叉指的其中另一端、所述第五叉指的其中另一端及所述第六叉指的另一端分别接地。

11、优选的，所述第一纵向耦合型滤波器与所述第二纵向耦合型滤波器并排排布、并列排布或任意排布。

12、优选的，所述第一纵向耦合型滤波器包括多个级联连接，所述第二纵向耦合型滤波器包括多个级联连接。

13、优选的，所述第一叉指区域和所述第二叉指区域均为至少2阶叉指。

14、第二方面，本发明提供一种射频芯片，所述射频芯片包括上述的声表面波滤波器。

15、与相关技术相比，本发明的实施例中，通过在所述压电基板上的第一纵向耦合型滤波器和第二纵向耦合型滤波器，通过弯折电感用于将所述第一纵向耦合型滤波器和所述第二纵向耦合型滤波器连接，第一输出端子以及第二输出端子；所述第一叉指区域的一端接地，所述第一汇流条连接至所述第一输出端子，所述第二汇流条连接所述弯折电感的第一端；所述第二叉指区域的一端接地，所述第三汇流条连接至所述弯折电感的第二端，所述第四汇流条连接至所述第二输出端子。通过弯折电感将所述第一纵向耦合型滤波器和所述第二纵向耦合型滤波器连接，能够有效降低级联纵向耦合型滤波器通带边缘插损和驻波，从而提高声表面波滤波器的性能，提高系统灵敏度。

技术特征：

1.一种声表面波滤波器，其特征在于，所述声表面波滤波器包括压电基板、分别固定于所述压电基板上且相互间隔的第一纵向耦合型滤波器和第二纵向耦合型滤波器、用于将所述第一纵向耦合型滤波器和所述第二纵向耦合型滤波器连接的弯折电感、第一输出端子以及第二输出端子；

2.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述弯折电感的宽度小于或等于所述第一汇流条、所述第二汇流条、所述第三汇流条和所述第四汇流条的宽度；所述弯折电感的长度大于所述第一叉指区域和所述第二叉指区域直线连接的距离。

3.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述弯折电感为绕线电感、折线电感、平面方形电感、平面圆形电感及三维电感中的任意一种。

4.根据权利要求3所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述弯折电感的电感值≥0.2nh。

5.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第一叉指区域包括并排设置的第一叉指、第二叉指和第三叉指，所述第一反射栅位于所述第一叉指的远离所述第一输出端子的一侧，所述第二反射栅位于所述第三叉指远离所述第一输出端子的一侧，所述第二叉指的其中一端与所述第一汇流条连接，所述第一叉指的其中一端和所述第三叉指的其中一端分别连接所述第二汇流条，所述第一叉指的其中另一端、所述第二叉指的其中另一端及所述第三叉指的其中另一端分别接地。

6.根据权利要求5所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第二叉指区域包括并排设置的第四叉指、第五叉指和第六叉指，所述第三反射栅位于所述第四叉指远离所述第二输出端子的一侧，所述第四反射栅位于所述第六叉指远离所述第二输出端子的一侧，所述第五叉指的其中一端与所述第四汇流条连接，所述第四叉指的一端和所述第六叉指的其中一端分别连接所述第三汇流条，所述第四叉指的其中另一端、所述第五叉指的其中另一端及所述第六叉指的另一端分别接地。

7.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第一纵向耦合型滤波器与所述第二纵向耦合型滤波器并排排布、并列排布或任意排布。

8.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第一纵向耦合型滤波器包括多个级联连接，所述第二纵向耦合型滤波器包括多个级联连接。

9.根据权利要求1所述的声表面波滤波器，其特征在于，所述第一叉指区域和所述第二叉指区域均为至少2阶叉指。

10.一种射频芯片，其特征在于，所述射频芯片包括如权利要求1-9任一项所述的声表面波滤波器。

技术总结
本发明提供了一种声表面波滤波器及射频芯片，声表面波滤波器包括压电基板、分别固定于压电基板上且相互间隔的第一纵向耦合型滤波器、第二纵向耦合型滤波器、弯折电感、第一输出端子以及第二输出端子；第一纵向耦合型滤波器包括第一汇流条和第二汇流条、第一叉指区域、以及第一反射栅和第二反射栅，第一汇流条连接至第一输出端子，第二汇流条连接弯折电感的第一端；第二纵向耦合型滤波器包括第三汇流条和第四汇流条、第二叉指区域、以及第三反射栅和第四反射栅，第三汇流条连接至弯折电感的第二端，第四汇流条连接至第二输出端子。本发明的声表面波滤波器能能够有效降低级联纵向耦合型滤波器通带边缘插损和驻波，提高系统灵敏度及滤波器性能。

技术研发人员：张磊,陆杰,李帅,钟伦威,郭嘉帅
受保护的技术使用者：深圳飞骧科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13