压电元件的制造方法与流程

本发明涉及一种压电元件的制造方法。

背景技术：

1、压电元件通常具备基板、具有机电转换特性的压电体层、和对压电体层进行夹持的两个电极。近年来，使用这种压电元件来作为驱动源的器件(压电元件应用器件)的开发正在盛行。作为压电元件应用器件之一，具有以喷墨式记录头为代表的液体喷射头、以压电mems(micro electro-mechanical system：微机电系统)元件为代表的mems要素、以超声波传感器等为代表的超声波测量装置，还有压电致动器装置等。

2、作为压电元件的压电体层的材料(压电材料)，已知有锆钛酸铅(pzt)。然而，近年来，从减少环境负载的观点出发，正在推进抑制了铅的含量的非铅系的压电材料的开发。

3、而且，近年来，强烈要求各种电子设备、电子产品等的进一步的小型化、高性能化，伴随于此，对于压电元件也开始要求小型化、高性能化。

4、在专利文献1中，公开了一种在图案形成后的下部电极的表面上成膜有包含钾、钠和铌的压电体层的压电元件。

5、如上文所述，迄今为止，提出了使用铌酸钾钠(knn；(k，na)nbo3)的压电元件(knn系压电元件)等利用了非铅系的压电材料的压电元件。然而，如专利文献1那样，当在通过蚀刻处理而进行了图案形成的下部电极上使压电体层成膜的情况下，有可能发生压电体层的晶体取向性劣化而产生裂纹、空隙等不良状况。

6、根据这种情况，需求一种在非铅系的压电元件中具备优异的晶体取向性的压电体层。

7、另外，这种问题并未被限定于搭载在以喷墨式记录头为代表的液体喷射头上的压电致动器内所使用的压电元件中，在其他压电元件应用器件内所使用的压电元件中也同样存在。

8、专利文献1：日本特开2018-160535号公报

技术实现思路

1、为了解决上述的课题，根据本发明的第一方式，可提供一种压电元件的制造方法，所述压电元件的制造方法具有：第一成膜工序，在基板上使第一电极成膜；第二成膜工序，在所述第一电极上使第一压电体层成膜；第一加工工序，通过蚀刻法而对所述第一电极以及所述第一压电体层进行图案形成；第三成膜工序，在所述第一加工工序之后以覆盖所述第一电极、所述第一压电体层和所述基板的方式而使第二压电体层成膜。

技术特征：

1.一种压电元件的制造方法，具有：

2.如权利要求1所述的压电元件的制造方法，其中，具有：

3.如权利要求1所述的压电元件的制造方法，其中，具有：

4.如权利要求3所述的压电元件的制造方法，其中，具有：

5.如权利要求3所述的压电元件的制造方法，其中，具有：

6.如权利要求1所述的压电元件的制造方法，其中，具有：

技术总结
本发明提供一种具备晶体取向性优异的压电体层的压电元件的制造方法。本发明的压电元件的制造方法具有：在基板上使第一电极成膜的第一成膜工序；在第一电极上使第一压电体层成膜的第二成膜工序；通过蚀刻法而对第一电极以及第一压电体层进行图案形成的第一加工工序；在第一加工工序后以覆盖第一电极、第一压电体层和基板的方式而使第二压电体层成膜的第三成膜工序。

技术研发人员：高部本规,平井荣树
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15