自适应多尺寸基板的吸盘装置的制作方法

本发明涉及吸附设备，尤其是涉及一种自适应多尺寸基板的吸盘装置。

背景技术：

1、在pcb的生产过程中，很多加工设备都需要把各种尺寸的pcb基板放置在工作台面上并加以固定以完成某个加工制程。在完成该一制程工艺后，再把基板转移到下一制程工序。在工作台面固定基板的方法主要是采用真空吸附的方法

2、相关技术中，由于吸盘吸附面积是固定的，是根据所要加工基板的最大尺寸来设计，对于其它不同尺寸的基板尺寸吸附性能会受到严重影响，操作员一般需要手工操作将未被基板覆盖的区域用一定形状的挡片把吸盘垫上的小气空覆盖以保证有足够的吸附力来固定基板。这样对生产操作极不方便，而且难以进行自动化生产流程。另外，采用分区域吸附控制的方法，虽然可以解决某些典型固定尺寸基板的吸附面积的问题，但具体分多少个区域也是一个问题，如果区域分的太细，吸盘的设计变得很复杂，如果区域分的太粗，又不能涵盖各种不同尺寸的基板的吸附要求。特别是对于不同长宽比的基板，更难分区域设计以适应基板尺寸的变化。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出了一种自适应多尺寸基板的吸盘装置，能够自动根据基板的尺寸来调节吸盘的吸附面积，方便生产操作，且保证有足够的吸附力来固定基板。

2、根据本发明实施例的自适应多尺寸基板的吸盘装置，包括：吸盘主体，所述吸盘主体内设置有多个吸附腔，多个所述吸附腔的一侧均设置有开口，相邻两个所述吸附腔之间设置有通风孔，所述吸盘主体的一侧设置有吸真空抽气口且所述吸真空抽气口与至少一个所述吸附腔相连通；被动压力差阀，所述被动压力差阀设置在相邻两个所述吸附腔的所述通风孔中，所述被动压力差阀根据相邻两个所述吸附腔之间产生的压强差值可选择性地开闭所述通风孔。

3、根据本发明实施例的自适应多尺寸基板的吸盘装置，能够自动根据基板的尺寸来调节吸盘的吸附面积，方便生产操作，且保证有足够的吸附力来固定基板。

4、根据本发明的一些实施例，所述通风孔包括第一通风孔，所述被动压力差阀包括第一被动压力差阀，多个所述吸附腔组成多组所述吸附腔组，多组所述吸附腔组在第一方向上排布，一个所述吸附腔组包括至少一个所述吸附腔，相邻两个所述吸附腔组中在第一方向上对应相邻的两个所述吸附腔之间设置有所述第一通风孔，所述第一被动压力差阀设置于所述第一通风孔中。

5、根据本发明的一些实施例，所述通风孔包括第二通风孔，所述被动压力差阀包括第二被动压力差阀，一个所述吸附腔组包括多个所述吸附腔，多个所述吸附腔在第二方向上排布，一个所述吸附腔组中相邻的两个所述吸附腔之间设置有所述第二通风孔，所述第二被动压力差阀设置于所述第二通风孔中。

6、根据本发明的一些实施例，相邻两个所述吸附腔之间设置有至少一个所述被动压力差阀。

7、根据本发明的一些实施例，其特征在于，所述吸盘主体上设置有基板覆盖区域，所述基板覆盖区域用于吸附所述基板，所述吸真空抽气口位于所述基板覆盖区域中。

8、根据本发明的一些实施例，所述吸盘主体包括吸真空抽气腔，所述吸真空抽气口设置于所述吸真空抽气腔的一侧且与所述吸真空抽气腔相连通，所述吸真空抽气腔与至少一个所述通风孔选择性地相互连通。

9、根据本发明的一些实施例，所述吸真空抽气腔的一侧设置有所述开口，所述吸真空抽气腔位于所述基板覆盖区域中。

10、根据本发明的一些实施例，当相邻两个所述吸附腔之间产生的压强差值大于所述被动压力差阀的压力差预设值时，所述被动压力差阀选择性地关闭所述通风孔，多个所述被动压力差阀的压力差预设值不同，相邻两个所述被动压力差阀包括第三被动压力差阀和第四被动压力差阀，当所述第三被动压力差阀与所述吸真空抽气口之间的距离大于所述第四被动压力差阀与所述吸真空抽气口之间的距离时，所述第三被动压力差阀的压力差预设值大于所述第四被动压力差阀的压力差预设值。

11、根据本发明的一些实施例，多个所述通风孔的通风孔径不同，相邻两个所述通风孔包括第三通风孔和第四通风孔，当所述第三通风孔与所述吸真空抽气口之间的距离大于所述第四通风孔与所述吸真空抽气口之间的距离时，所述第三通风孔的孔径大于所述第四通风孔的孔径。

12、根据本发明的一些实施例，还包括：吸盘垫，所述吸盘垫覆盖在所述吸盘主体的一侧且与所述吸附腔的所述开口相对应，所述吸盘垫上设置有多个吸附通孔，多个所述吸附通孔与多个所述开口相连通，所述吸盘垫用于吸附基板。

13、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种自适应多尺寸基板的吸盘装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，所述通风孔包括第一通风孔，所述被动压力差阀包括第一被动压力差阀，多个所述吸附腔组成多组所述吸附腔组，多组所述吸附腔组在第一方向上排布，一个所述吸附腔组包括至少一个所述吸附腔，相邻两个所述吸附腔组中在第一方向上对应相邻的两个所述吸附腔之间设置有所述第一通风孔，所述第一被动压力差阀设置于所述第一通风孔中。

3.根据权利要求2所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，所述通风孔包括第二通风孔，所述被动压力差阀包括第二被动压力差阀，一个所述吸附腔组包括多个所述吸附腔，多个所述吸附腔在第二方向上排布，一个所述吸附腔组中相邻的两个所述吸附腔之间设置有所述第二通风孔，所述第二被动压力差阀设置于所述第二通风孔中。

4.根据权利要求1所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，相邻两个所述吸附腔之间设置有至少一个所述被动压力差阀。

5.根据权利要求1所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，所述吸盘主体上设置有基板覆盖区域，所述基板覆盖区域用于吸附所述基板，所述吸真空抽气口位于所述基板覆盖区域中。

6.根据权利要求5所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，所述吸盘主体包括吸真空抽气腔，所述吸真空抽气口设置于所述吸真空抽气腔的一侧且与所述吸真空抽气腔相连通，所述吸真空抽气腔与至少一个所述通风孔选择性地相互连通。

7.根据权利要求6所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，所述吸真空抽气腔的一侧设置有所述开口，所述吸真空抽气腔位于所述基板覆盖区域中。

8.根据权利要求1所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，当相邻两个所述吸附腔之间产生的压强差值大于所述被动压力差阀的压力差预设值时，所述被动压力差阀选择性地关闭所述通风孔，多个所述被动压力差阀的压力差预设值不同，相邻两个所述被动压力差阀包括第三被动压力差阀和第四被动压力差阀，当所述第三被动压力差阀与所述吸真空抽气口之间的距离大于所述第四被动压力差阀与所述吸真空抽气口之间的距离时，所述第三被动压力差阀的压力差预设值大于所述第四被动压力差阀的压力差预设值。

9.根据权利要求1所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，多个所述通风孔的通风孔径不同，相邻两个所述通风孔包括第三通风孔和第四通风孔，当所述第三通风孔与所述吸真空抽气口之间的距离大于所述第四通风孔与所述吸真空抽气口之间的距离时，所述第三通风孔的孔径大于所述第四通风孔的孔径。

10.根据权利要求1所述的自适应多尺寸板的吸盘装置，其特征在于，还包括：吸盘垫，所述吸盘垫覆盖在所述吸盘主体的一侧且与所述吸附腔的所述开口相对应，所述吸盘垫上设置有多个吸附通孔，多个所述吸附通孔与多个所述开口相连通，所述吸盘垫用于吸附基板。

技术总结
本发明公开了一种自适应多尺寸基板的吸盘装置，包括：吸盘主体，所述吸盘主体内设置有多个吸附腔，多个所述吸附腔的一侧均设置有开口，相邻两个所述吸附腔之间设置有通风孔，所述吸盘主体的一侧设置有吸真空抽气口且所述吸真空抽气口与至少一个所述吸附腔相连通；被动压力差阀，所述被动压力差阀设置在相邻两个所述吸附腔的所述通风孔中，所述被动压力差阀根据相邻两个所述吸附腔之间产生的压强差值可选择性地开闭所述通风孔。本发明的吸盘装置能够自动根据基板的尺寸来调节吸盘的吸附面积，方便生产操作，且保证有足够的吸附力来固定基板。

技术研发人员：陈东
受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13