影像感测器的制作方法

本公开实施例是关于一种影像感测器，特别是关于影像感测器的偏振分离件(polarization splitter)。

背景技术：

1、影像感测器，如互补式金属氧化物半导体影像感测器(complementary metaloxide semiconductor image sensor,cis)，被广泛地运用在影像拍摄设备中，如数字静止影像相机、数字摄影相机、以及其他类似设备。影像感测器的光感测部可侦测环境中的色彩变化，并可根据光感测部接收到的光量产生信号电荷。此外，可传输并放大在光感测部中所产生的信号电荷，从而获得影像信号。

2、传统上，可设计多个偏振分离件以允许特定偏振的入射光波传输，而其他偏振的入射光波被偏振分离件反射远离或吸收。当影像感测器纳入多个偏振分离件时，影像感测器仅可接收一部分的光能量(由于其他部分被偏振分离件阻挡)。这样导致光能量损失，其影响影像感测器的性能。因此，需要通过影像感测器的设计和制造来解决这些相关问题。

技术实现思路

1、在一实施例中，一种影像感测器，包括感测单元组、以及设置于感测单元组内的彩色滤光层。影像感测器更包括介电结构和多个偏振分离件(polarization splitter)，设置对应彩色滤光层。从上视图来看，偏振分离件的每一个具有第一超颖元件(meta element)于第一方向上延伸、以及第二超颖元件于第二方向上延伸。第二方向垂直于第一方向。

技术特征：

1.一种影像感测器，包括：

2.如权利要求1所述的影像感测器，其中所述多个偏振分离件的至少三个构成一结构组，其中该结构组周期性地排列成多个循环，其中所述多个循环之间的一群组节距介于150nm和600nm之间。

3.如权利要求1所述的影像感测器，其中所述多个偏振分离件的至少三个构成一结构组，其中在该结构组内的所述多个偏振分离件之间的一分离件节距介于150nm和600nm之间。

4.如权利要求1所述的影像感测器，其中从上视图来看，所述多个偏振分离件的每一个具有十字形、矩形、或椭圆形，其中所述多个偏振分离件包括偏移配置的多个膜层。

5.如权利要求1所述的影像感测器，其中从上视图来看，所述多个偏振分离件的每一个的该第一超颖元件或该第二超颖元件的关键尺寸介于50nm和300nm之间，且所述多个偏振分离件的每一个的该第一超颖元件或该第二超颖元件的长度介于50nm和400nm之间。

6.如权利要求1所述的影像感测器，其中从上视图来看，所述多个偏振分离件的每一个的旋转大小介于0°和90°之间，其中所述多个偏振分离件的每一个的高度介于0.1μm和1.5μm之间。

7.如权利要求1所述的影像感测器，其中所述多个偏振分离件的折射率介于1.7和3.5之间，其中该介电结构的折射率介于1和1.8之间，其中所述多个偏振分离件设置于该介电结构的顶面上或设置于该介电结构内。

8.如权利要求1所述的影像感测器，其中从上视图来看，该组感测单元为矩形或六角形。

9.如权利要求1所述的影像感测器，更包括：

10.如权利要求1所述的影像感测器，其中该影像感测器为一有机光电二极管，其中该有机光电二极管更包括：

技术总结
一种影像感测器，包括感测单元组、以及设置于感测单元组内的彩色滤光层。影像感测器更包括介电结构和多个偏振分离件(polarization splitter)，设置对应彩色滤光层。从上视图来看，偏振分离件的每一个具有第一超颖元件(meta element)于第一方向上延伸、以及第二超颖元件于第二方向上延伸。第二方向垂直于第一方向。

技术研发人员：王俊元,张育淇,王柏翔
受保护的技术使用者：采钰科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17