显示面板和制造该显示面板的方法与流程

本公开涉及一种显示面板和制造该显示面板的方法。

背景技术：

1、多媒体显示装置(诸如电视、移动电话、平板计算机、计算机、导航单元和游戏单元)包括显示面板以显示图像。显示面板包括显示图像的像素，并且像素中的每个包括发射光的发光元件和连接到发光元件的驱动元件。

2、显示面板的发光元件和驱动元件通过堆叠薄层并使用掩模对薄层进行图案化来形成。由于使用掩模的显示面板制造工艺需要大量的成本，因此需要通过简化显示面板制造工艺来减少用于制造显示面板的掩模的数量。此外，需要在简化制造工艺的同时制造具有可靠性的显示面板。

技术实现思路

1、本公开提供了一种通过防止阻断电流路径和增加晶体管的电阻而具有改善的可靠性的显示面板。

2、本公开提供了一种制造显示面板的方法。

3、发明构思的实施例提供了一种显示面板，显示面板包括：基体基底；晶体管，设置在基体基底上，并且包括包含源区、漏区和有源区的半导体图案、设置在半导体图案上的栅极绝缘图案层以及设置在栅极绝缘图案层上的栅电极；以及连接电极，设置在栅极绝缘图案层上，并且分别通过接触孔连接到半导体图案。栅极绝缘图案层可以包括：第一部分，与源区和漏区中的至少一个叠置；以及第二部分，从第一部分延伸。第一部分的厚度可以等于或小于第二部分的厚度的约50％。

4、第一部分可以与源区和漏区中的至少一个接触。

5、第一部分的厚度可以等于或小于约500埃。

6、在平面图中，第一部分从第二部分向第一方向延伸，并且第一部分在第一方向上的宽度可以等于或大于约0.2微米。

7、连接电极可以包括：第一连接电极，连接到漏区；以及第二连接电极，连接到源区，并且第一连接电极和第二连接电极可以与设置栅电极的层设置在同一层。

8、第一连接电极和第二连接电极可以与栅电极由相同的材料组成。

9、显示面板还可以包括：第一导电图案和第二导电图案，设置在基体基底与晶体管之间，并且在平面图中彼此间隔开。第一导电图案可以经由第一连接电极电连接到漏区，并且第二导电图案可以经由第二连接电极电连接到源区。

10、栅极绝缘图案层可以包括在平面图中彼此间隔开的第一绝缘图案、第二绝缘图案和第三绝缘图案，第一绝缘图案可以设置在第一连接电极与半导体图案之间，第二绝缘图案可以设置在栅电极与半导体图案之间，并且第三绝缘图案可以设置在第二连接电极与半导体图案之间。

11、在平面图中，第一导电图案可以与半导体图案叠置。

12、第一连接电极可以经由穿过第一绝缘图案限定的第一接触孔连接到第一导电图案。第一绝缘图案可以包括：第一部分，与第一接触孔相邻设置；以及第二部分，从第一绝缘图案的第一部分延伸，并且第一绝缘图案的第一部分的厚度可以等于或小于第一绝缘图案的第二部分的厚度的约50％。

13、显示面板还可以包括：缓冲层，设置在栅极绝缘图案层与第一导电图案和第二导电图案之间，并且第一接触孔可以被限定为穿过缓冲层和第一绝缘图案。

14、第一绝缘图案的第二部分的连接到第一绝缘图案的第一部分的侧表面可以设置在缓冲层上。

15、显示面板还可以包括：发光元件，设置在第一连接电极和第二连接电极上。发光元件可以包括：第一电极，经由第一连接电极电连接到晶体管；发光层；以及第二电极。第一电极可以经由第一连接电极电连接到晶体管。

16、源区和漏区中的至少一个可以设置有被限定为穿过源区和漏区中的至少一个以与第一部分相邻的孔。

17、发明构思的实施例提供了一种制造显示面板的方法。所述方法可以包括：提供其上可以形成有导电图案和初始半导体图案的基体基底；在初始半导体图案上形成栅极绝缘层；形成穿过栅极绝缘层的接触孔；以及在栅极绝缘层上形成连接电极和栅电极。可以通过形成接触孔的步骤来形成栅极绝缘层的与接触孔相邻设置的第一部分和栅极绝缘层的从第一部分延伸的第二部分，并且第一部分的厚度可以等于或小于第二部分的厚度的约50％。

18、形成接触孔的步骤可以包括：在栅极绝缘层上形成设置有穿过其限定的开口的光致抗蚀剂层；对栅极绝缘层进行第一蚀刻以形成穿过栅极绝缘层以与开口叠置的接触孔；对光致抗蚀剂层进行灰化以扩大开口中的每个的尺寸，使得栅极绝缘层的上表面的与接触孔相邻的部分被暴露；以及对栅极绝缘层进行第二蚀刻，以通过部分地蚀刻栅极绝缘层来形成栅极绝缘层的第一部分。

19、可以通过干蚀刻工艺执行第一蚀刻和第二蚀刻中的每个。

20、可以使用包括四氟甲烷(cf4)和氩气(ar)的气体执行第一蚀刻。

21、可以使用包括三氟化氮(nf3)和氧气(o2)的气体执行第二蚀刻。

22、可以使用包括氧气(o2)的气体来执行灰化。

23、根据上面，由于在显示面板的制造方法中在半导体图案的预定区域中形成具有薄厚度的栅极绝缘图案层，所以防止了与栅极绝缘图案层叠置的源区和漏区中的电流路径的阻断以及源区和漏区中的电阻的增加。

24、根据上面，在制造显示面板的方法中，通过简化的工艺来制造具有改善的可靠性的电路层。

技术特征：

1.一种显示面板，所述显示面板包括：

2.根据权利要求1所述的显示面板，其中，所述第一部分与所述源区和所述漏区中的至少一个接触。

3.根据权利要求2所述的显示面板，其中，所述第一部分的所述厚度等于或小于500埃。

4.根据权利要求1所述的显示面板，其中，在平面图中，所述第一部分从所述第二部分向第一方向延伸，并且所述第一部分在所述第一方向上的宽度等于或大于0.2微米。

5.根据权利要求1所述的显示面板，其中，所述连接电极包括：

6.根据权利要求5所述的显示面板，其中，所述第一连接电极和所述第二连接电极与所述栅电极由相同的材料组成。

7.根据权利要求5所述的显示面板，所述显示面板还包括：第一导电图案和第二导电图案，设置在所述基体基底与所述晶体管之间，并且在平面图中彼此间隔开，

8.根据权利要求7所述的显示面板，其中，所述栅极绝缘图案层包括在平面图中彼此间隔开的第一绝缘图案、第二绝缘图案和第三绝缘图案，

9.根据权利要求7所述的显示面板，其中，在平面图中，所述第一导电图案与所述半导体图案叠置。

10.根据权利要求8所述的显示面板，其中，所述第一连接电极经由通过所述第一绝缘图案限定的第一接触孔连接到所述第一导电图案，

11.根据权利要求10所述的显示面板，所述显示面板还包括：缓冲层，设置在所述栅极绝缘图案层与所述第一导电图案和所述第二导电图案之间，其中，所述第一接触孔被限定为穿过所述缓冲层和所述第一绝缘图案。

12.根据权利要求11所述的显示面板，其中，所述第一绝缘图案的与所述第一绝缘图案的所述第一部分连接的所述第二部分的侧表面设置在所述缓冲层上。

13.根据权利要求5所述的显示面板，所述显示面板还包括：发光元件，设置在所述第一连接电极和所述第二连接电极上，

14.根据权利要求1所述的显示面板，其中，所述源区和所述漏区中的至少一个设置有孔，所述孔被限定为穿过所述源区和所述漏区中的所述至少一个以与所述第一部分相邻。

15.一种制造显示面板的方法，所述方法包括：

16.根据权利要求15所述的方法，其中，形成所述接触孔的步骤包括：

17.根据权利要求16所述的方法，其中，通过干蚀刻工艺执行所述第一蚀刻和所述第二蚀刻中的每个。

18.根据权利要求16所述的方法，其中，使用包括四氟甲烷和氩气的气体执行所述第一蚀刻。

19.根据权利要求16所述的方法，其中，使用包括三氟化氮和氧气的气体执行所述第二蚀刻。

20.根据权利要求16所述的方法，其中，使用包括氧气的气体来执行所述灰化。

技术总结
公开了一种显示面板和制造该显示面板的方法，所述显示面板包括：基体基底；晶体管，设置在基体基底上，并且包括包含源区、漏区和有源区的半导体图案、设置在半导体图案上的栅极绝缘图案层以及设置在栅极绝缘图案上的栅电极；以及连接电极，设置在栅极绝缘图案层上，并且分别通过接触孔连接到半导体图案。栅极绝缘图案层包括与源区和漏区中的至少一个叠置的第一部分和从第一部分延伸的第二部分。第一部分的厚度等于或小于第二部分的厚度的约50％。

技术研发人员：金贤,金昭娟,金璱基,尹甲洙,李在贤,崔昇夏
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25