经校准成基于微机电系统(MEMS)谐振器的振荡器的振荡器的制作方法

本申请涉及振荡器，且特别涉及基于微机电系统(mems)谐振器的振荡器。

背景技术：

1、振荡器生成用于具有不同程度的准确性和稳定性要求的多种应用中的时钟信号。一种类型的振荡器为晶体振荡器。然而，晶体振荡器体积大、成本高，且难以集成在包含使用时钟信号的电路系统的半导体装置上。电阻器-电容器(r-c)振荡器可与使用其时钟信号的电路集成在同一裸片上，但遭受稳定性问题、高阿伦偏差(表示分数频率波动)、高温频率系数(tcf)和随机电报噪声(rtn)。

技术实现思路

1、在一个实例中，一种时钟电路包含具有控制输入和第一时钟输出的压控振荡器(vco)。所述时钟电路包含锁频回路fll，所述fll具有fll输入和控制输出，所述控制输出耦合到所述控制输入。基于微机电系统(mems)谐振器的振荡器具有第二时钟输出。多路复用器具有第一多路复用器输入、第二多路复用器输入、选择输入和多路复用器输出。所述第一多路复用器输入耦合到所述第一时钟输出。所述第二多路复用器输入耦合到所述第二时钟输出。所述多路复用器输出耦合到所述fll输入。

技术特征：

1.一种时钟电路，其包括：

2.根据权利要求1所述的时钟电路，其中所述vco包括压控环形振荡器。

3.根据权利要求1所述的时钟电路，其中所述fll包括：

4.根据权利要求3所述的时钟电路，其进一步包括耦合在所述adc输出与所述dac输入之间的控制逻辑。

5.根据权利要求4所述的时钟电路，其中所述控制逻辑具有温度输入，且所述时钟电路进一步包括耦合到所述温度输入的温度传感器，并且所述控制逻辑被配置成从所述adc接收数字代码，基于所述温度输入处的温度信号修改所述数字代码，且将修改后的数字代码提供到所述dac输入。

6.根据权利要求3所述的时钟电路，其中第一电路包含所述参考电阻器和所述scr，并且所述时钟电路进一步包括：

7.根据权利要求6所述的时钟电路，其中所述控制逻辑被配置成在完成所述校准过程之后重复地进行以下操作：使所述第一开关闭合且使所述第二开关断开；以及接着使所述第二开关闭合且使所述第一开关断开。

8.根据权利要求1所述的时钟电路，其进一步包括具有耦合到所述选择输入的选择输出的控制逻辑，所述控制逻辑被配置成通过在所述选择输出处提供选择信号来发起所述fll的校准，其中所述多路复用器被配置成响应于选择信号而将时钟信号从所述第二多路复用器输入提供到所述多路复用器输出。

9.根据权利要求1所述的时钟电路，其中所述基于mems谐振器的振荡器包含体声波谐振器。

10.一种时钟电路，其包括：

11.根据权利要求10所述的时钟电路，其中所述基于mems谐振器的振荡器被配置成校准所述参考电压发生器。

12.根据权利要求11所述的时钟电路，其中所述参考电压发生器被配置成生成参考电压，并且所述基于mems谐振器的振荡器被配置成校准所述参考电压。

13.根据权利要求10所述的时钟电路，其中所述scr具有scr输入，并且所述时钟电路进一步包括：

14.根据权利要求10所述的时钟电路，其中所述参考电压发生器包括数模转换器dac。

15.根据权利要求14所述的时钟电路，其中所述dac具有dac输入，并且所述时钟电路进一步包括模数转换器adc，所述adc具有adc输入和adc输出，所述adc输入耦合到所述scr且耦合到所述参考电阻器，且所述adc输出耦合到所述dac输入。

16.根据权利要求10所述的时钟电路，其中所述基于mems谐振器的振荡器包含体声波baw谐振器。

17.一种集成电路ic，其包括：

18.根据权利要求17所述的ic，其进一步包括：

19.根据权利要求17所述的ic，其进一步包括模数转换器adc，所述adc具有adc输入和adc输出，所述adc输入耦合到所述scr，其中所述参考电压发生器包含被配置成将由所述adc产生的数字值转换成所述第二电压的数模转换器dac。

20.根据权利要求17所述的ic，其中所述vco包括环形振荡器。

技术总结
本申请涉及经校准成基于微机电系统MEMS谐振器的振荡器的振荡器。一种时钟电路(300)包含具有控制输入和第一时钟输出的压控振荡器VCO(212)。所述时钟电路(300)包含锁频回路FLL(320)，所述FLL具有FLL输入和控制输出，所述控制输出耦合到所述控制输入。基于微机电系统MEMS谐振器的振荡器(130)具有第二时钟输出。多路复用器(150)具有第一多路复用器输入、第二多路复用器输入、选择输入和多路复用器输出。所述第一多路复用器输入耦合到所述第一时钟输出。所述第二多路复用器输入耦合到所述第二时钟输出。所述多路复用器输出耦合到所述FLL输入。

技术研发人员：B·巴赫尔,Y·拉马达斯
受保护的技术使用者：德州仪器公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/31