一种具有减震结构的固晶设备的制作方法

本发明涉及半导体制造，尤其涉及一种具有减震结构的固晶设备。

背景技术：

1、表面贴装技术(surface mounted technology，smt)是电子组装行业里最流行的一种技术和工艺，其可将无引脚或短引线表面组装元器件安装在基板(printed circuitboard，pcb)的表面或其它基板的表面上。

2、在现有的表面贴装技术中，通常是采用丝网印刷机将环氧树脂漏印再基板上，然后通过点胶机将贴片胶滴落在基板上，并通过贴片机将芯片放置再基板上，接着将基板送入固化炉内，通过高温使贴片胶融化，使芯片与基板粘接，并通过高温使环氧树脂融化，使芯片与基板粘接在一起。

3、其中，通常采用固晶设备将芯片粘贴在贴有贴片胶的基板上，具体的，固晶设备一般包括点胶模组、定位模组、贴晶模组等结构，点胶模组用于将环氧树脂漏印在基板上，定位模组用于对基板上进行定位，结合贴晶模组将芯片粘贴在基板上，在上述贴芯片过程中，点胶模组、定位模组以及贴晶模组对应的加工机头都需要进行高速的移动，而这种高速移动的过程中，会由于运动的惯性导致固晶设备整体出现一定程度的晃动，而这种振动、晃动会在一定程度上降低设备的定位精确度。

4、为此有必要提出一种具有减震结构的固晶设备，以对上述问题进行改善。

技术实现思路

1、为了克服现有的技术的不足，本发明提供一种具有减震结构的固晶设备。解决了固晶设备加工结构移动惯性致使设备振动导致定位精确度低的问题。

2、本发明技术方案如下所述：

3、一种具有减震结构的固晶设备，包括设备支架、以及设于所述设备支架上方摆动机构，还包括：

4、对应所述摆动机构设置的若干减震模组，所述减震模组用于抵消摆动机构产生的水平运动摆动力；

5、所述减震模组包括滑槽主板、与所述滑槽主板两外侧滑动抵接的副板，所述滑槽主板内设有滑动槽，所述滑动槽内设有连接板，所述连接板与所述设备支架连接，所述滑槽主板与所述连接板可滑动抵接设置，贯穿所述滑槽主板、副板以及连接板设置有限位件，所述限位件用于对连接板和滑槽主板的水平相对位置进行限定、抵消水平摆动力。

6、在一种可能实现方式中，所述限位件包括若干2个为一组的限位柱以及2根限位绳，2根所述限位绳分别与所述限位柱的两端连接；

7、所述滑槽主板、副板以及连接板上均设有限位孔，所述限位柱贯穿所述限位孔设置，所述副板用于限制一组中两根限位柱之间的间距。

8、在一种可能实现方式中，所述限位柱上设有用于连接限位绳的穿线孔，所述穿线孔内设有松紧螺纹；

9、所述限位件还包括与所述松紧螺纹相适配的松紧螺母，所述松紧螺母螺纹安装于所述穿线孔内，且所述松紧螺母与所述限位绳连接，所述松紧螺母用于调整2根限位柱之间限位绳的松紧程度。

10、在一种可能实现方式中，所述限位绳为形状材料记忆合金制成，所述限位绳用于限制连接板与滑槽主板的水平相对位移、并复位。

11、在一种可能实现方式中，还包括设于所述连接板上、下端面的摩擦板，所述摩擦板的一侧与所述连接板连接，所述摩擦板的另一侧与所述滑槽主板的内侧滑动抵接，所述摩擦板用于增加连接板与滑槽主板之间的摩擦。

12、在一种可能实现方式中，还包括用于限制滑槽主板与副板垂直距离的挤压件，所述挤压件包括挤压螺栓，所述挤压螺栓贯穿副板和连接板设置，所述挤压螺栓的两端分别形成挤压端头，对应挤压端头设有垫块，所述垫块与所述副板抵接。

13、在一种可能实现方式中，所述滑槽主板靠近所述副板的一侧设有摩擦凸面，所述副板靠近所述滑槽主板的一侧对应所述摩擦凸面设有摩擦凹面，所述摩擦凸面与所述摩擦凹面相适配，所述摩擦凸面与所述摩擦凹面相配合用于改变副板与滑槽主板之间的垂直方向相对间距。

14、在一种可能实现方式中，所述摆动机构下方设有滑轨件，所述滑轨件位于2个减震模组之间，所述滑轨件包括缓冲滑轨以及与所述缓冲滑轨相适配的缓冲滑槽，所述缓冲滑轨的两端分别与2个所述减震模组连接，所述缓冲滑轨的上方与所述摆动机构连接，所述缓冲滑槽与所述设备支架连接。

15、在一种可能实现方式中，所述滑槽主板包括连接端头、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板平行设置，所述第一侧板、所述第二侧板分别与所述连接端头的一端连接，所述连接端头的另一端与所述摆动机构连接。

16、在一种可能实现方式中，所述摆动机构包括轨道模组、以及沿所述轨道模组依次设置的点胶模组、定位模组和贴晶模组，所述点胶模组用于对轨道模组上的基板滴胶，所述定位模组用于对轨道模组上的基板进行定位，所述贴晶模组用于将芯片转移至轨道模组上停止运行的基板上。

17、根据上述方案的本发明，其有益效果在于，一种具有减震结构的固晶设备，包括与摆动机构连接的滑槽主板，可滑动抵接设于滑槽主板滑动槽内的连接板，并产生第一摩擦力；设于滑槽主板外侧的副板，结合限位件同时穿过副板、滑槽主板以及连接板，使得滑槽主板外侧与副板可滑动抵接并产生第二摩擦力，同时，限位件自身产生形变需要消耗一定的能量，从而通过第一摩擦力、第二摩擦力以及限位件伸长需要的耗能之和对摆动机构产生的惯性力进行抵消，减少避免惯性力对其他结构产生振动影响，从而在一定程度上提高点胶工序、定位工序、贴晶圆工序的精度。

技术特征：

1.一种具有减震结构的固晶设备，包括设备支架、以及设于所述设备支架上方摆动机构，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，所述限位件包括若干2个为一组的限位柱以及2根限位绳，2根所述限位绳分别与所述限位柱的两端连接；

3.根据权利要求2所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，所述限位柱上设有用于连接限位绳的穿线孔，所述穿线孔内设有松紧螺纹；

4.根据权利要求3所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，所述限位绳为形状材料记忆合金制成，所述限位绳用于限制连接板与滑槽主板的水平相对位移、并复位。

5.根据权利要求4所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，还包括设于所述连接板上、下端面的摩擦板，所述摩擦板的一侧与所述连接板连接，所述摩擦板的另一侧与所述滑槽主板的内侧滑动抵接，所述摩擦板用于增加连接板与滑槽主板之间的摩擦。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，还包括用于限制滑槽主板与副板垂直距离的挤压件，所述挤压件包括挤压螺栓，所述挤压螺栓贯穿副板和连接板设置，所述挤压螺栓的两端分别形成挤压端头，对应挤压端头设有垫块，所述垫块与所述副板抵接。

7.根据权利要求6所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，所述滑槽主板靠近所述副板的一侧设有摩擦凸面，所述副板靠近所述滑槽主板的一侧对应所述摩擦凸面设有摩擦凹面，所述摩擦凸面与所述摩擦凹面相适配，所述摩擦凸面与所述摩擦凹面相配合用于改变副板与滑槽主板之间的垂直方向相对间距。

8.根据权利要求1所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，所述摆动机构下方设有滑轨件，所述滑轨件位于2个减震模组之间，所述滑轨件包括缓冲滑轨以及与所述缓冲滑轨相适配的缓冲滑槽，所述缓冲滑轨的两端分别与2个所述减震模组连接，所述缓冲滑轨的上方与所述摆动机构连接，所述缓冲滑槽与所述设备支架连接。

9.根据权利要求1所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，所述滑槽主板包括连接端头、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板平行设置，所述第一侧板、所述第二侧板分别与所述连接端头的一端连接，所述连接端头的另一端与所述摆动机构连接。

10.根据权利要求9所述的一种具有减震结构的固晶设备，其特征在于，所述摆动机构包括轨道模组、以及沿所述轨道模组依次设置的点胶模组、定位模组和贴晶模组，所述点胶模组用于对轨道模组上的基板滴胶，所述定位模组用于对轨道模组上的基板进行定位，所述贴晶模组用于将芯片转移至轨道模组上停止运行的基板上。

技术总结
本发明公开了一种具有减震结构的固晶设备，包括设备支架、以及设于设备支架上方摆动机构，还包括对应所述摆动机构设置的若干减震模组，减震模组用于抵消摆动机构产生的水平运动摆动力；减震模组包括滑槽主板、与滑槽主板两外侧滑动抵接的副板，滑槽主板内设有滑动槽，滑动槽内设有连接板，连接板与设备支架连接，滑槽主板与连接板可滑动抵接设置，贯穿所述滑槽主板、副板以及连接板设置有限位件，限位件用于对连接板和滑槽主板的水平相对位置进行限定、抵消水平摆动力。通过滑槽主板、副板、连接板以及限位件的结构设置，解决了固晶设备加工结构移动惯性致使设备振动导致定位精确度低的问题。

技术研发人员：赖衍帆,周明友
受保护的技术使用者：芯得铭科技（深圳）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/12