微机电系统振荡器的制作方法

本申请涉及电路，具体涉及一种微机电系统振荡器。

背景技术：

1、微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)谐振器是使机械结构在其固有频率振动，mems谐振器与振荡电路集成，构成mems振荡器。基于mems谐振器的振荡器不仅具有高频高q，而且其制造工艺与ic技术兼容，可实现mems谐振器与维持电路在同一芯片集成，促使整个系统小型化。近年来，基于mems谐振器的振荡器引起人们越来越多的关注。

2、mems谐振器可以具有多个可稳定振动的频点，然而，现有的mems振荡器一般仅使用mems谐振器中q值最高的谐振频率，往往忽略其他满足电路需求的频率点，导致使其输出频率单一，如在需要多个时钟的现代电路系统中，需要利用多个不同种类的mems振荡器来实现。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供了一种微机电系统振荡器，以使微机电系统振荡器能够在不同的频点振荡。

2、本申请提供了一种微机电系统振荡器，所述微机电系统振荡器包括控制电路、谐振器和振荡电路；所述振荡电路包括tia振荡子电路；所述tia振荡子电路分别与所述谐振器和所述控制电路电性连接；所述控制电路用于调节所述tia振荡子电路的带宽，以使所述谐振器的目标频点之频率位于所述tia振荡子电路之带宽的覆盖范围内；所述tia振荡子电路基于所述带宽来驱使所述谐振器以所述目标频点振动，并接收所述谐振器输出的振荡信号以获取频率信号。

3、可选地，所述控制电路用于为所述tia振荡子电路提供多个供电电压，通过调节所述多个供电电压来调整所述tia振荡子电路的带宽。

4、可选地，所述控制电路包括ldo模块；所述ldo模块用于提供多个可调的供电电压。

5、可选地，所述控制电路还包括数字模块；所述数字模块用于控制所述ldo模块的供电电压，以使所述ldo模块输出相应的供电电压。

6、可选地，所述tia振荡子电路采用带通滤波器结构，所述带通滤波器结构包括低通滤波模块和高通滤波模块，所述低通滤波模块和所述高通滤波模块分别接入一供电电压。

7、可选地，所述tia振荡子电路还包括放大模块；所述多个供电电压包括第一电压和第二电压；所述低通滤波模块的输入端用于接入所述振荡信号，电压控制端用于接入所述第一电压，输出端连接所述高通滤波模块的输入端；所述高通滤波模块的电压控制端用于接入所述第二电压，输出端用于输出以驱使所述谐振器振动的驱动电压，并连接所述放大模块的输入端；所述放大模块的输出端用于输出所述频率信号。

8、可选地，所述目标频点为所述谐振器的主谐振点。

9、可选地，所述低通滤波模块对应上限频率，所述高通滤波模块对应下限频率，所述上限频率的大小与所述第一电压的大小正相关，所述下限频率的大小与所述第二电压的大小负相关。

10、可选地，所述低通滤波模块包括第一电阻和第一反相放大器；所述第一反相放大器的输入端作为所述低通滤波模块的输入端，并连接所述第一电阻的第一端，所述第一反相放大器的输出端作为低通滤波模块的输出端，并连接所述第一电阻的第二端。

11、可选地，所述高通滤波模块包括第二电阻、第一电容、第二电容和第二反相放大器；所述第一电容的第一端作为所述高通滤波模块的输入端，第二端分别连接所述第二反相放大器的输入端、所述第二电阻的第一端和所述第二电容的第一端；所述第二反相放大器的输出端作为所述高通滤波模块的输出端，并分别连接所述第二电阻的第二端和所述第二电容的第二端。

12、本申请提供的上述微机电系统振荡器，设置控制电路调节tia振荡子电路的带宽，以使mems振荡器能够在目标频点振荡，在这种情况下，同一种类的mems振荡器可输出不同的频率信号，能够更好应用在电路系统中。进一步地，控制电路可以通过ldo模块提供多个可调的供电电压，通过数字模块控制ldo模块的供电电压，以达到根据应用需求调节mems振荡器谐振点的目的。

技术特征：

1.一种微机电系统振荡器，其特征在于，所述微机电系统振荡器包括控制电路、谐振器和振荡电路；所述振荡电路包括tia振荡子电路；

2.根据权利要求1所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述控制电路用于为所述tia振荡子电路提供多个供电电压，通过调节所述多个供电电压来调整所述tia振荡子电路的带宽。

3.根据权利要求2所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述控制电路包括ldo模块；

4.根据权利要求3所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述控制电路还包括数字模块；

5.根据权利要求2所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述tia振荡子电路采用带通滤波器结构，所述带通滤波器结构包括低通滤波模块和高通滤波模块，所述低通滤波模块和所述高通滤波模块分别接入一供电电压。

6.根据权利要求5所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述tia振荡子电路还包括放大模块；所述多个供电电压包括第一电压和第二电压；

7.根据权利要求1所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述目标频点为所述谐振器的主谐振点。

8.根据权利要求6所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述低通滤波模块对应上限频率，所述高通滤波模块对应下限频率，所述上限频率的大小与所述第一电压的大小正相关，所述下限频率的大小与所述第二电压的大小负相关。

9.根据权利要求6所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述低通滤波模块包括第一电阻和第一反相放大器；

10.根据权利要求6所述的微机电系统振荡器，其特征在于，所述高通滤波模块包括第二电阻、第一电容、第二电容和第二反相放大器；

技术总结
本申请公开一种微机电系统振荡器，微机电系统振荡器包括控制电路、谐振器和振荡电路；振荡电路包括TIA振荡子电路；TIA振荡子电路分别与谐振器和控制电路电性连接；控制电路用于调节TIA振荡子电路的带宽，以使谐振器的目标频点之频率位于TIA振荡子电路之带宽的覆盖范围内；TIA振荡子电路基于带宽来驱使谐振器以目标频点振动，并接收谐振器输出的振荡信号以获取频率信号。本申请能够使微机电系统振荡器在目标频点振荡。

技术研发人员：黄寿,高楷渊
受保护的技术使用者：麦斯塔微电子（深圳）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27