一种模块化的电控制箱及电箱本体的制作方法

本技术属于精密调试技术和半导体晶圆缺陷检测，具体涉及一种模块化的电控制箱及电箱本体。

背景技术：

1、常规的电气原件供电装置与控制系统安装在同一电气控制柜中，其占地位置较大，动力线与信号线的平行布局，会导致编码器等精密检测原件信号干扰，影响最终检测质量。同时供电系统电器件发热量较大，整体电器柜内温度普遍较高，长时间处于高温工作后会大大减少运动控制系统(驱动器、精密控制原件)的安全性，加速线缆老化过程。使得整机可靠性使用寿命减少。

2、因此，基于上述技术问题需要设计一种新的模块化的电控制箱及电箱本体。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种模块化的电控制箱及电箱本体，以解决电气原件供电装置与控制系统占用空间大排线混乱的技术问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种模块化的电控制箱，包括：

3、背板框架、ac/dc供电模块、运动驱动模块和运动控制模块；

4、所述ac/dc供电模块、运动驱动模块和运动控制模块并排设置；

5、所述ac/dc供电模块、运动驱动模块和运动控制模块插设在所述背板框架内；

6、所述ac/dc供电模块适于对设备进行供电；

7、所述运动驱动模块适于驱动设备运动；

8、所述运动控制模块适于控制设备运动。

9、进一步，所述背板框架内设置有若干对电箱抽插导向装置，一对电箱抽插导向装置中的两个电箱抽插导向装置在背板框架内上下设置。

10、进一步，所述背板框架的外壁上设置有若干快速接插件母头；

11、所述背板框架的内壁上设置有若干连接件。

12、进一步，所述背板框架上设置有总排风散热管。

13、进一步，所述ac/dc供电模块包括：电气控制箱、控制电源供电箱和运动控制电源箱；

14、所述电气控制箱、控制电源供电箱和运动控制电源箱设置在所述背板框架内，并且均与所述背板框架连接。

15、进一步，所述运动驱动模块包括：气浮控制驱动箱；

16、所述气浮控制驱动箱设置在所述背板框架内，并且均与所述背板框架连接。

17、进一步，所述运动控制模块包括：气浮控制板电箱和自动聚焦控制板电箱；

18、所述气浮控制板电箱和自动聚焦控制板电箱设置在所述背板框架内，并且均与所述背板框架连接；

19、所述电气控制箱、控制电源供电箱、运动控制电源箱、气浮控制驱动箱、气浮控制板电箱和自动聚焦控制板电箱在所述背板框架内并排设置。

20、进一步，所述电气控制箱、控制电源供电箱、运动控制电源箱、气浮控制驱动箱、气浮控制板电箱和自动聚焦控制板电箱均包括：电箱本体；

21、所述电箱本体设置在所述背板框架内，所述电箱本体的棱边适于沿背板框架内的电箱抽插导向装置滑动；

22、所述电箱本体的外壁上设置有快速接插件公头，所述快速接插件公头与背板框架上的快速接插件母头适配；

23、所述电箱本体的外壁上设置有电箱锁紧固定装置，所述电箱锁紧固定装置与背板框架内壁上的连接件适配。

24、进一步，所述电箱本体内设置有散热风机；

25、所述电箱本体侧壁上开设有进风口。

26、另一方面，本实用新型还提供一种上述模块化的电控制箱采用的电箱本体，

27、所述电箱本体设置在背板框架内，所述电箱本体的棱边适于沿背板框架内的电箱抽插导向装置滑动；

28、所述电箱本体的外壁上设置有快速接插件公头，所述快速接插件公头与背板框架上的快速接插件母头适配；

29、所述电箱本体的外壁上设置有电箱锁紧固定装置，所述电箱锁紧固定装置与背板框架内壁上的连接件适配。

30、本实用新型的有益效果是，本实用新型通过背板框架、ac/dc供电模块、运动驱动模块和运动控制模块；所述ac/dc供电模块、运动驱动模块和运动控制模块并排设置；所述ac/dc供电模块、运动驱动模块和运动控制模块插设在所述背板框架内；所述ac/dc供电模块适于对设备进行供电；所述运动驱动模块适于驱动设备运动；所述运动控制模块适于控制设备运动；实现了将精密运动控制系统与设备供电系统独立封装，模块化电箱的紧凑型安装可以实现较小空间布局，机台空间利用率提高，设备供电系统、运动驱动器以及控制器的独立安装可以有效的减少电器件之间的噪声干扰，保证精密检测元件的信号质量，提高设备持续运行的稳定性。

31、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

32、为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种模块化的电控制箱，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

3.如权利要求1所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

4.如权利要求1所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

5.如权利要求1所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

6.如权利要求5所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

7.如权利要求6所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

8.如权利要求7所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

9.如权利要求8所述的模块化的电控制箱，其特征在于，

10.一种如权利要求1所述模块化的电控制箱采用的电箱本体，其特征在于，

技术总结
本技术涉及一种模块化的电控制箱及电箱本体，包括：背板框架、AC/DC供电模块、运动驱动模块和运动控制模块；所述AC/DC供电模块、运动驱动模块和运动控制模块并排设置；所述AC/DC供电模块、运动驱动模块和运动控制模块插设在所述背板框架内；所述AC/DC供电模块适于对设备进行供电；所述运动驱动模块适于驱动设备运动；所述运动控制模块适于控制设备运动；实现了将精密运动控制系统与设备供电系统独立封装，模块化电箱的紧凑型安装可以实现较小空间布局，机台空间利用率提高，设备供电系统、运动驱动器以及控制器的独立安装可以有效的减少电器件之间的噪声干扰，保证精密检测元件的信号质量，提高设备持续运行的稳定性。

技术研发人员：范丽杨
受保护的技术使用者：江苏三米科思半导体设备有限公司
技术研发日：20230814
技术公布日：2024/3/27