一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法

文档序号:38388913发布日期:2024-06-21 20:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种钽酸锂热释电红外探测器,从下至上依次包括支撑基板、隔热层、第一键合层、第二键合层、第一电极层、钽酸锂晶片、第二电极层、红外吸收层,其特征在于:

2.如权利要求1所述的一种钽酸锂热释电红外探测器,其特征在于,所述支撑基板凸台上表面面积st和支撑基板下表面sc的比值为k,其中0.01≤k≤0.3,k值的大小用于调节本发明钽酸锂热释电红外探测器与环境之间的热导的大小。

3.如权利要求1所述的一种钽酸锂热释电红外探测器,其特征在于,所述隔热层的厚度为0.5-50,隔热层可采用热导率小于等于0.05w/(m·k)的无机气凝胶、有机气凝胶和混合气凝胶材料中的一种或几种的组合。

4.如权利要求1所述的一种钽酸锂热释电红外探测器,其特征在于,所述钽酸锂晶片的厚度为5-50微米。

5.如权利要求1所述的一种钽酸锂热释电红外探测器,其特征在于,所述支撑基板的材质为硅、铜、铜合金、铁、铁合金、镍以及镍合金中的一种,当支撑基板的材质为硅时,其电阻率需小于1ω·cm,第一键合层为au、ag、ausn、in、sn、cu、fe、ni、pt、cr和ti中的一种或几种的组合,第二键合层为au、ag、ausn、in、sn、cu、fe、ni、pt、cr和ti中的一种或几种的组合。

6.如权利要求1-5任一所述的一种钽酸锂热释电红外探测器的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:

7.如权利要求6所述的一种钽酸锂热释电红外探测器的制造方法,其特征在于,步骤(6)中,焊盘窗口的制备方法包括光刻、腐蚀、剥离、压印在内的mems图形制作方法。


技术总结
本发明属于半导体器件制备领域,特别是涉及一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法。该探测器,从下至上依次包括支撑基板、隔热层、第一键合层、第二键合层、第一电极层、钽酸锂晶片、第二电极层、红外吸收层,支撑基板和隔热层共同构成复合支撑结构,实现了对钽酸锂晶片的整体支撑,没有悬空区域,从根源上避免了现有钽酸锂热释电红外探测器中钽酸锂晶片局部悬空的问题,改善了钽酸锂热释电红外探测器抵抗外界机械振动的能力,极大的降低了钽酸锂热释电红外探测器的麦克风效应,同时隔热层热导率小于等于0.05W/(m·K)能够确保隔热性能,使钽酸锂热释电红外探测器保持高的探测率。

技术研发人员:刘军林,吕全江,侯海港,刘桂武,乔冠军
受保护的技术使用者:江苏大学
技术研发日:
技术公布日:2024/6/20
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