双工器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具有通带不同的第I以及第2频带滤波器的双工器，更详细来讲，涉及第I频带滤波器由非平衡型的弹性表面波滤波器构成的双工器。
【背景技术】
[0002]以往，提出了各种使用了弹性表面波滤波器的双工器。例如，在下述的专利文献I中，公开了具有发送用滤波器和接收用滤波器的SAW分波器。在专利文献I中，接收用滤波器由纵向耦合谐振器型的弹性表面波滤波器构成。专利文献I所述的由纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器构成的接收滤波器具有不平衡输入端子和不平衡输出端子。也就是说，该接收滤波器是非平衡型的弹性表面波滤波器。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1:日本特开2000-349591号公报
【发明内容】
[0006]-发明要解决的课题-
[0007]以往，作为被用作双工器的接收滤波器的弹性表面波滤波器，已知上述非平衡型的弹性表面波滤波器和能够取得平衡输出的平衡型的弹性表面波滤波器。在平衡型的弹性表面波滤波器中，通过平衡输出端子间的平衡性，能够提高高次谐波的衰减量。
[0008]与此相对地，在使用了专利文献I所述的非平衡型的弹性表面波滤波器的情况下，难以增大高次谐波的衰减量。若高次谐波的衰减量小，则从电压控制振荡器(VC)输出的噪声信号与高次谐波合成，可能产生不必要的信号。因此，存在接收灵敏度恶化的可能性。
[0009]本发明的目的在于，提供一种能够增大高次谐波的衰减量的双工器。
[0010]-解决课题的手段-
[0011]本申请的第I发明是一种具有第I频带滤波器、和通带位于比第I频带滤波器更靠低频率侧的第2频带滤波器的双工器。
[0012]在第I发明中，第I频带滤波器由具有不平衡输入-不平衡输出的非平衡型的弹性表面波滤波器构成。第I频带滤波器具备:压电基板、和构成在压电基板上的电极结构。所述电极结构具有:输入电极焊盘、输出电极焊盘、与地线电位连接的地线电极焊盘、作为具有至少一个IDT电极的弹性表面波滤波器而发挥功能的功能电极部、连接所述功能电极部与所述输入电极焊盘的第I信号布线电极、在所述功能电极部内流过信号电流的第2信号布线电极、连接所述功能电极部与所述输出电极焊盘的第3信号布线电极、和连结所述功能电极部与所述地线电极焊盘的地线布线电极。
[0013]在第I发明中，所述第I?第3信号布线电极内的任意的信号布线电极设置有与所述地线布线电极立体交叉的立体交叉部。在该立体交叉部，在地线布线电极与信号布线电极之间设置有层间绝缘膜。隔着层间绝缘膜而与地线布线电极对置的部分的该信号布线电极的宽度被构成为比该立体交叉部以外的部分的该信号布线电极的宽度宽，以便构成低通滤波器用电容器。
[0014]本申请的第2发明是一种具有第I频带滤波器、和通带位于比第I频带滤波器更靠低频率侧的第2频带滤波器的双工器。在第2发明中，所述第I频带滤波器也由具有不平衡输入-不平衡输出的非平衡型的弹性表面波滤波器构成。
[0015]在第2发明中，所述弹性表面波滤波器具备:压电基板、和构成在所述压电基板上的电极结构。在第2发明中，所述电极结构具有:输入电极焊盘、输出电极焊盘、与地线电位连接的地线电极焊盘、作为具有至少一个IDT电极的弹性表面波滤波器而发挥功能的功能电极部、连接所述功能电极部与所述输入电极焊盘的第I信号布线电极、在所述功能电极部内流过信号电流的第2信号布线电极、连接所述功能电极部与所述输出电极焊盘的第3信号布线电极、和连结所述功能电极部与所述地线电极焊盘的地线布线电极。
[0016]在第2发明中，进一步设置有与所述地线电极焊盘相连并且未与所述功能电极部电连接的地线电极焊盘延长部。并且，所述地线电极焊盘延长部隔着层间绝缘膜而与所述第I信号布线电极?所述第3信号布线电极内的任意的信号布线电极重叠，以便构成低通滤波器用电容器。
[0017]在本发明所涉及的双工器中，优选地，在构成有所述低通滤波器用电容器的部分，所述地线布线电极被配置在所述层间绝缘膜与所述压电基板之间。
[0018]在本发明所涉及的双工器中，优选地，所述非平衡型的弹性表面波滤波器是纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器。
[0019]在本发明所涉及的双工器的另一特定的方面，所述第I频带滤波器是接收滤波器，所述第2频带滤波器是发送滤波器。
[0020]-发明效果-
[0021]在本发明所涉及的双工器中，由于第I?第3信号布线电极之中任意的信号布线电极隔着层间绝缘膜而与地线布线电极或者地线电极焊盘延长部重叠，以构成低通滤波器用电容器，因此在由非平衡输出的弹性表面波滤波器构成的第I频带滤波器中，能够充分增大高次谐波的衰减量。
【附图说明】
[0022]图1是构成本发明的一实施方式中的双工器的接收滤波器的弹性表面波滤波器的俯视图。
[0023]图2是本发明的一实施方式所涉及的双工器的电路图。
[0024]图3是在本发明的一实施方式中，在接收滤波器构成的低通用电容器部分的示意性的正面截面图。
[0025]图4是用于比较例的双工器的接收滤波器用弹性表面波滤波器的俯视图。
[0026]图5是表示本发明的实施方式的双工器的接收滤波器以及比较例的双工器的接收滤波器的频率特性的图。
【具体实施方式】
[0027]以下，通过参照附图来说明本发明的【具体实施方式】，来使本发明清楚明了。
[0028]图2是本发明的一实施方式所涉及的双工器的电路图。双工器I具有:天线端子
2、发送端子3、接收端子4。在天线端子2与发送端子3之间连接作为第2频带滤波器的发送滤波器5。发送滤波器5由梯形电路结构的弹性表面波滤波器构成。也就是说，多个串联臂谐振器SI?S5和多个并联臂谐振器Pl?P4分别由弹性表面波谐振器构成。并联臂谐振器Pl?P3的接地电位侧的端部共通连接，经由电感LI与接地电位连接。并联臂谐振器P4的接地电位侧端部经由电感L2与地(earth)电位连接。串联臂谐振器S5与电感L3并联连接。
[0029]另外，上述发送滤波器5的电路结构在本发明中并不被特别限定。
[0030]另一方面，在天线端子2与接收端子4之间连接作为第I频带滤波器的接收滤波器6。接收滤波器6的通带即接收频带比发送滤波器5的通带高。
[0031]在本实施方式中，接收滤波器6具有非平衡型的纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器7。在纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器7与天线端子2之间，多个I端口型弹性表面波谐振器8?10相互串联连接。此外，在纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器7与接收端子4之间的连接点11和接地电位之间，连接I端口型弹性表面波谐振器12。
[0032]本实施方式的双工器I的特征在于，在接收滤波器6，图2所示的低通滤波器用电容器Cl?C3连接在信号电位与接地电位之间。这里，在图2中，电容器Cl连接在弹性表面波谐振器8和天线端子2之间的连接点13与接地电位之间。电容器C2连接在弹性表面波谐振器10和纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器7之间的连接点14与接地电位之间。电容器C3连接在和纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器7的输出侧端部相连的连接点15与接地电位之间。
[0033]图1是上述双工器I中的接收滤波器6的俯视图。接收滤波器6具有压电基板21。压电基板21由LiT13以及LiNbO3等压电单结晶构成。并且，也可以取代压电单结晶而使用压电陶瓷。
[0034]在上述压电基板21上形成图示的电极结构。该电极结构由金属材料构成，该金属材料由Al、Cu、Ag或者以这些为主体的合金等构成。
[0035]上述电极结构具有:与天线端子连接的输入电极焊盘22、与接收端子连接的输出电极焊盘23。此外，在压电基板21上，设置与地线电位连接的地线电极焊盘24?27。进一步地，上述电极结构包含用于构成图2所示的I端口型弹性表面波谐振器8?10的IDT电极。
[0036]在图1中，IDT电极结构部分由用矩形的框包围X而成的框部来表示。此外，在构成上述纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器7的部分，也构成3IDT型的第I以及第2纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器部7A、7B。这里，IDT结构部分也通过用矩形的框包围X而成的框部来示意性地表示。
[0037]进一步地，构成图1所示的I端口型弹性表面波谐振器12的IDT电极也形成在压电基板21上。
[0038]在上述电极结构之中，将具有I端口型弹性表面波谐振器8?10、纵向耦合谐振器型弹性表面波滤波器7以及I端口型弹性表面波谐振器12的部分、即作为弹性表面波滤波器而起作用的部分设为功能电极部。
[0039]上述电极结构还具有以下的第I?第3信号布线电极以及地线布线电极。
[0040]第I信号布线电极31将输入电极焊盘22与第11端口型弹性表面波谐振器8电连接。第2信号布线电极32是在上述功能电极部内流过信号电流的布线部分。第3信号布线电极33将功能电极部与输出电极焊盘23连接。此外，地线布线电极34是将功能电极部与地线电极焊盘24、25、26或者27电连接的布线电极部分。本实施方式的特征在于，设置有低通滤波器用电容器Cl?C3。
[0041]层间绝缘膜41能够使用聚酰亚胺等合成树脂或者S12等电介质来构成。
[0042]在该立体交叉部中，为了构成低通滤波器用电容器，第I信号布线电极31的部分31a的宽度如附有斜线的阴影线所示，被设为比不是立体交叉部的第I信号布线电极31的部分的宽度宽。此外，在图3所示的立体交叉部，经由层间绝缘膜41来与第I信号布线电极31对置的地线布线电极34a的俯视形状与在上方重叠的第I信号布线电极31相同或者被设为包含其的形状。因此，在上述立体交叉部，构成具有足够的静电电容的低通滤波器用电容器Cl。
[0043]另外，在图1所示的低通滤波器用电容器Cl?C3之中的低通滤波器用电容器Cl，在地线电极焊盘延长部35上隔着层间绝缘膜41重叠有第I信号布线电极31的部分31a。这里，所谓地线电极焊盘延长部35，是指与地线电极焊盘24连接但不与功能电极部电连接的部分。也就是说，地线电极焊盘延长部35不