专利名称：光扫描器封装的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光扫描器封装，尤其涉及一种具有改进的结构的光扫描器封装，以在所成图像中减少噪声。
背景技术：
诸如投影电视的家用电器包括光扫描器装置，该装置具有微机电系统(MEMS)结构，该结构通过由梳形电极引起的静电效应使激光束倾斜。不过，这种光扫描器装置的镜子非常小，在几毫米量级上或更小，因此对外界条件非常敏感。因此，为了保持光扫描器装置的特性并保护光扫描器装置，需要密封的封装。
图1是常规光扫描器封装的截面图。参考图1，常规光扫描器封装包括光扫描器装置10、容纳光扫描器10的封装容器20、以及封装窗口30，封装窗口30密封地封住封装容器20并保护光扫描器装置10不受外界条件影响。光扫描器装置10包括扫描入射光束的扫描镜12和操作扫描镜12的梳形电极14。通过使用外部电源扫描入射光束，光扫描器装置10在屏幕单元S上实现图像。光扫描器封装的制造工艺包括在封装容器20中芯片接合(diebonding)光扫描器装置10、向光扫描器装置10施加外部电源以及通过将封装窗口30接合到封装容器20而与外界隔绝地封住光扫描器装置10。光扫描器装置结构和其制造方法被公开于韩国专利公报No.2004-35116、韩国专利申请No.2003-86624和韩国专利申请No.2004-85357，在此引入它们以作参考。
不过，在常规光扫描器装置中，当入射光束被传送到封装窗口30并到达光扫描器装置时，入射光束在封装窗口30的表面上被反射，这样就产生了噪声光束。噪声光束在屏幕单元S上产生不期望的图像。
发明内容
本发明提供了一种在所成图像中减少噪声的用于光扫描器的光扫描器封装。
根据本发明的一方面，提供了一种光扫描器封装，包括扫描入射光束的光扫描器装置，包括扫描镜和操作扫描镜的梳形电极结构；容纳光扫描器装置的封装容器；及封装窗口，形成于封装容器上以密封住封装容器，并包括反射镜，该反射镜将来自光扫描器装置的被扫描光束反射到一侧上的屏幕单元，从而将被扫描光束的路径与源自入射光束的噪声光束的路径分开。
优选地，封装窗口可以由透光材料形成，且反射镜涂布有光反射材料，例如Ag、Al和Au。
优选地，封装窗口可以包括第一和第二透光表面，通过它们向光扫描器装置传送的入射光束被依次透射；第三透光表面，在其上形成反射镜；以及第四透光表面，通过它从反射镜向屏幕单元反射的扫描光束被透射。封装窗口的垂直截面可以形成不对称梯形。该光扫描器封装可以进一步包括在反射镜上由诸如TiO2、Ta2O5和SiO2的透明介电材料形成的高反射涂层膜。该光扫描器封装还可以包括分别在第一、第二和第四透光表面上由MgF2或SiO2形成的抗反射涂层膜。
在本发明实施例中的光扫描器封装中，向屏幕单元S前进的扫描光束的路径与源自入射光束的噪声光束的路径是分开的，因此可以减少所成图像中的噪声。
通过参考附图详细描述本发明的示范性实施例，本发明的上述和其他特征和优势将变得更加明显，附图中图1是常规光扫描器封装的示意性截面图；图2是根据本发明第一实施例的光扫描器封装的示意性截面图；图3是根据本发明第二实施例的光扫描器封装的示意性截面图；图4是根据本发明第三实施例的光扫描器封装的示意性截面图；以及图5是根据本发明第四实施例的光扫描器封装的示意性截面图。
具体实施例方式
图2是根据本发明第一实施例的光扫描器封装的示意性截面图。参考图2，根据本发明第一实施例的光扫描器封装包括光扫描器装置110；封装容器120，容纳该光扫描器装置110；以及封装窗口130，通过气密地封住封装容器120与外界条件隔绝地封住光扫描器装置110。
该光扫描器装置110包括扫描镜112和操作扫描镜112的梳形电极114，并通过使用电源扫描入射光束而在屏幕单元S上实现图像。具体地讲，封装窗口130包括第一和第二透光表面130a和130b，向光扫描器装置110传送的入射光束依次入射在它们上；第三透光表面130c，在其上形成反射镜140；以及第四透光表面130d，被反射镜140反射且向屏幕单元S前进的扫描光束向其传送。封装窗口130的垂直截面形成不对称的梯形。封装窗口130由透光材料形成，且反射镜140由光反射材料，诸如Ag、Al或Au形成且涂布在第三透光表面130c上。
在本实施例的光扫描器封装中，入射光束依次传送到封装窗口130的第一和第二透光表面130a和130b上，到达光扫描器装置110，并被光扫描器装置110扫描。来自光扫描器装置的扫描光束依次传送到第二和第三透光表面130b和130c并到达反射镜140。扫描光束被反射镜140反射到第四透光表面130d，然后向屏幕单元S前进。因此，扫描光束向屏幕单元S前进的路径与噪声光束的路径分开，该噪声光束起源于封装窗口130的表面上的入射光束，因此能够减少所成图像中的噪声。
可以在反射镜140上形成由诸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介电材料形成的高反射涂层膜。此外，可以在第一、第二和第四透光表面130a、130b和130d上进一步形成由诸如MgF2或SiO2的材料形成的抗反射涂层膜150。
图3是根据本发明第二实施例的光扫描器封装的示意性截面图。第一和第二实施例共有的元件的描述将不再重复。类似的附图标记指示类似元件。
本发明第二实施例包括从封装窗口130改造而成的封装窗口230。即，本发明第二实施例的封装窗口230包括反射镜240，如第一实施例，反射镜240对从光扫描器装置110传送向屏幕单元S的扫描光束进行反射，不过它具有不同的结构。具体地讲，封装窗口230包括第一窗口231，设置于封装容器120上，面对封装容器120并具有第一和第二透光表面231a和231b，入射光束通过它们传送到光扫描器装置110；第二窗口232，安装于封装容器120的侧壁上，以支撑第一窗口231的一例，并具有倒置不对称梯形的垂直截面，在第二窗口232的一侧上形成有反射镜240；以及第三窗口233，安装于封装容器120的另一侧壁上，以支撑第一窗口231的另一侧，并包括第三和第四透光表面233a和233b，被反射镜240反射并向屏幕单元S前进的扫描光束依次通过它们传送。
在本实施例中，入射光束依次通过第一窗口231的第一和第二透光表面231a和231b传输，到达光扫描器装置110，并被光扫描器110扫描。来自1光扫描器装置110的扫描光束到达形成于第二窗口232一侧上的反射镜240。而且，扫描光束被反射镜240反射到第三和第四透光表面233a和233b并向屏幕单元S前进。因此，向屏幕单元S前进的扫描光束的路径与源自入射光束的噪声光束的路径分开，这样就能减少所成图像中的噪声。
可以在反射镜240上进一步形成由诸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介电材料形成的高反射涂层膜。此外，可以进一步在第一、第二、第三和第四透光表面231a、231b、233a和233b上形成由诸如MgF2或SiO2的材料形成的抗反射涂层膜250。
图4是根据本发明第三实施例的光扫描器封装的示意性截面图。与第一和第三实施例共有的元件的描述将不再重复。类似参考数字指示类似元件。
本发明的第三实施例包括由封装窗口130改造来的封装窗口330。即，本发明第三实施例的封装窗口330包括反射镜340，如第一实施例中一样，反射镜340将从光扫描器装置110传送的扫描光束反射到屏幕单元S，不过封装窗口330具有与第一实施例的封装窗口130不同的结构。具体来说，第三实施例的封装窗口330包括密封封装容器120的第一窗口331以及安装在所述第一窗口331上的第二窗口332。第二窗口332包括第一和第二透光表面332a和332b，入射光束通过它们连续传送；第三光学表面332c，其上形成反射镜340；以及第四光学表面332d，通过其传送被反射镜340反射并向屏幕单元S前进的扫描光束。第二窗口332的垂直截面形成不对称的梯形。
在本实施例中，入射光束经过第二窗口332的第一和第二透光表面332a和332b传送，抵达光扫描器装置110，并被光扫描器装置110扫描。来自光扫描器装置110的扫描光束传送到第一窗口331和第二与第三透光表面332b和332c，到达反射镜340。而且，扫描光束从反射镜340反射到第四透光表面332d并前进到屏幕单元S。因此，扫描光束前进到屏幕单元S的路径与源自入射光束的噪声光束的路径分开，这样就能减少所成图像中的噪声。
第一和第二窗口332可以用UV胶结合，且第一和第二窗口331和332可以形成为一体。还可以在反射镜340上形成由诸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介电材料形成的高反射涂层膜。此外，还可以在第一、第二和第四透光表面332a、332b和332d上形成由MgF2或SiO2形成的抗反射涂层膜350。
图5是根据本发明第四实施例的光扫描器封装的示意性截面图。不再重复与第一和第四实施例共有的元件的描述。类似参考数字指示类似的元件。
本发明的第四实施例包括从封装窗口130改造来的封装窗口430。亦即，本发明第四实施例的封装窗口430包括反射镜440，如第一实施例中一样，将从光扫描器装置110传送来的扫描光束反射到屏幕单元S，不过具有与第一实施例的封装窗口130不同的结构。详细地讲，第四实施例的封装窗口430包括第一窗口431和从第一窗口431的一侧延伸的第二窗口432；以及插置在第一和第二窗口431和432之间的反射镜440。第一窗口431包括第一和第二透光表面431a和431b，入射光束通过它们连续传送；第三光学表面431c，其上形成反射镜440；以及第四光学表面431d，通过其传送被反射镜440反射并向屏幕单元S前进的扫描光束。第二窗口432的垂直截面形成不对称的梯形，且第二窗口432用UV胶结合在反射镜440上。
在光扫描器封装的本实施例中，入射光束经过第二窗口430的第一和第二透光表面431a和431b连续传送，抵达光扫描器装置110，并被光扫描器装置110扫描。来自光扫描器装置110的扫描光束被连续传送到第二和第三透光表面431b和431c，到达反射镜440。扫描光束从反射镜440反射到第四透光表面431d并前进到屏幕单元S。因此，扫描光束前进到屏幕单元S的路径与源自封装窗口430的表面上的入射光束的噪声光束的路径是分开的，这样就能够减少所成图像中的噪声。
还可以在反射镜440上形成由诸如TiO2、Ta2O5或SiO2的透明介电材料形成的高反射涂层膜。此外，还可以在第一、第二和第四透光表面431a、431b和431d上形成由MgF2或SiO2形成的抗反射涂层膜450。
根据本发明，在改进的光扫描器封装中，扫描光束前进到屏幕单元S的路径和源自入射光束的噪声光束的路径是分开的，这样就能够减少所成图像中的噪声。因此，在本发明中，可以改善发光性和对比度。而且，这样的光扫描器封装可以在芯片尺度上封装，因此在尺寸上可以更小。此外，可以简化封装工艺且可以减少制造成本。
尽管已经参考其示范性实施例特别展示和描述了本发明，本领域的普通技术人员应当理解，在不背离如权利要求所界定的本发明的精神和范围的情况下可以在其中做出多种形式和细节上的变化。
权利要求
1.一种光扫描器封装，包括光扫描器装置，扫描入射光束并包括扫描镜和操作所述扫描镜的梳型电极结构；容纳所述光扫描器装置的封装容器；以及封装窗口，形成于所述封装容器上以密封所述封装容器，并包括反射镜，所述反射镜将来自所述光扫描器装置的所述扫描光束反射到在一侧上的屏幕单元，从而将所述扫描光束的路径与源自所述入射光束的噪声光束的路径分开。
2.如权利要求1所述的光扫描器封装，其中所述封装窗口由透光材料形成。
3.如权利要求2所述的光扫描器封装，其中所述反射镜用光反射材料涂布。
4.如权利要求3所述的光扫描器封装，其中所述光反射材料从包括Ag、Al和Au的组中选择。
5.如权利要求2所述的光扫描器封装，其中所述封装窗口包括第一和第二透光表面，传送到所述光扫描器装置的入射光束通过它们连续传送；第三透光表面，其上形成所述反射镜；以及第四透光表面，通过其传送从所述反射镜反射到所述屏幕单元的所述扫描光束。
6.如权利要求5所述的光扫描器封装，其中所述封装窗口的垂直截面形成不对称的梯形。
7.如权利要求5所述的光扫描器封装，还包括在所述反射镜上由透明介电材料形成的高反射涂层膜。
8.如权利要求7所述的光扫描器封装，其中所述透明介电材料选自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的组中的一种。
9.如权利要求5所述的光扫描器封装，还包括分别形成于所述第一、第二和第四透光表面上的抗反射涂层膜。
10.如权利要求9所述的光扫描器封装，其中所述抗反射涂层膜由MgF2或SiO2形成。
11.如权利要求2所述的光扫描器封装，所述封装窗口包括第一窗口，设置于所述封装容器上且面对所述封装容器，并包括第一和第二透光表面，传送到所述光扫描器装置的入射光束通过所述第一和第二透光表面依次传送；第二窗口，安装于所述封装容器的侧壁上，支撑所述第一窗口的一端并具有形成倒梯形的垂直截面；反射镜，形成于所述第二窗口的一侧上；以及第三窗口，安装于所述封装容器的另一侧壁上，支撑所述第一窗口的另一端，并包括第三和第四透光表面，从所述反射镜反射到所述屏幕单元的扫描光束通过所述第三和第四透光表面连续传送。
12.如权利要求11所述的光扫描器封装，还包括在所述反射镜上由透明介电材料形成的高反射涂层膜。
13.如权利要求12所述的光扫描器封装，其中所述透明介电材料选自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的组。
14.如权利要求11所述的光扫描器封装，还包括分别形成于所述第一、第二、第三和第四透光表面上的抗反射涂层膜。
15.如权利要求14所述的光扫描器封装，其中所述抗反射涂层膜由MgF2或SiO2形成。
16.如权利要求2所述的光扫描器封装，其中所述封装窗口包括第一窗口，密封所述封装容器；以及第二窗口，包括安装于所述第一窗口上的第一和第二透光表面，传送到所述光扫描器装置的入射光束通过它们连续传送；第三透光表面，其上形成所述反射镜；以及第四透光表面，通过其传送被所述反射镜反射到所述屏幕单元的扫描光束。
17.如权利要求16所述的光扫描器封装，其中所述第二窗口的垂直截面形成不对称的梯形。
18.如权利要求16所述的光扫描器封装，还包括在所述反射镜上由透明介电材料形成的高反射涂层膜。
19.如权利要求18所述的光扫描器封装，其中所述透明介电材料选自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的组。
20.如权利要求16所述的光扫描器封装，还包括分别形成于所述第一、第二和第四透光表面上的抗反射涂层膜。
21.如权利要求20所述的光扫描器封装，其中所述抗反射涂层膜由MgF2或SiO2形成。
22.如权利要求16所述的光扫描器封装，其中所述第一和第二窗口用UV胶结合。
23.如权利要求16所述的光扫描器封装，其中所述第一和第二窗口形成一体。
24.如权利要求2所述的光扫描器封装，所述封装窗口包括第一窗口，包括第一和第二透光表面，传送到所述光扫描器装置的入射光束通过它们连续传送；第三透光表面，其上形成所述反射镜；以及第四透光表面，通过其传送被所述反射镜反射到所述屏幕单元的扫描光束；以及第二窗口，具有一个接触所述反射镜的表面，且具有形成倒梯形的一个垂直截面。
25.如权利要求24所述的光扫描器封装，其中所述第一窗口的垂直截面形成倒置不对称的梯形。
26.如权利要求24所述的光扫描器封装，其中所述反射镜和所述第二窗口用UV胶结合。
27.如权利要求24所述的光扫描器封装，还包括在所述反射镜上由透明介电材料形成的高反射涂层膜。
28.如权利要求27所述的光扫描器封装，其中所述透明介电材料选自包括TiO2、Ta2O5和SiO2的组。
29.如权利要求24所述的光扫描器封装，还包括分别形成于所述第一、第二和第四透光表面上的抗反射涂层膜。
30.如权利要求29所述的光扫描器封装，其中所述抗反射涂层膜由MgF2或SiO2形成。
全文摘要
提供了一种光扫描器封装。该光扫描器封装包括光扫描器装置，扫描入射光束并包括扫描镜和操作所述扫描镜的梳型电极结构；容纳所述光扫描器装置的封装容器；以及封装窗口，形成于所述封装容器上以密封所述封装容器，并包括反射镜，所述反射镜将来自所述光扫描器装置的所述扫描光束反射到在一侧上的屏幕单元，从而将所述扫描光束的路径与源自所述入射光束的噪声光束的路径分开。
文档编号H04N3/02GK1892282SQ20061000884
公开日2007年1月10日 申请日期2006年2月22日 优先权日2005年7月9日
发明者文龙权, 崔源璟 申请人:三星电子株式会社