专利名称：基于硅基环形谐振腔的光微分器的制作方法
技术领域：
本发明涉及的是一种光纤通信技术领域的光微分器，特别是一种基于硅基 环形谐振腔的光微分器。
背景技术：
全光信号处理是一项新兴的光通信技术，用于解决高速电子器件遇到的带 宽瓶颈问题。光时域微分器是用于全光信号处理的一个重要器件，能够在光域直 接对光信号进行对时间的一阶导，可以用于模-数转换，脉冲整形，微波信号的 光处理等领域。同时，大规模集成正成为光器件的一个发展趋势。新兴的绝缘体 上硅结构为光子器件的集成提供了一个良好的平台。因此在集成的绝缘体上硅结 构上设计用于全光信号处理功能的器件是近来热门的一个研究领域。
经对现有技术的文献检索发现，Naum K. Berger等人发表在光学特快2006 年第 15巻的文章"Temporal differentiation of optical signals using a phase-shifted fiber Bragg grating"(基于相移光纤布拉格光栅的光时域微 分器)，该文利用具有n的相移的光纤布拉格光栅的反射谱具有与微分器频谱相 似的性质，能够对吉比特光信号进行精确而高效的一阶时域微分，但不足之处在 于该微分器尺寸较大，长度有毫米量级，且材料为光纤，不适于大规模集成。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种基于硅基环形谐振腔 的光微分器，该技术利用了与单根直波导耦合的硅基微环的频谱具有的凹陷滤波 的特性，当工作在临界耦合状态或十分接近临界耦合状态(如深度大于27dB)， 其在谐振波长处的透射率几乎为0，因此在谐振波长周边的一定频谱范围内(小 于3dB带宽)具有微分器类似的频谱特性，该微分器具有体积小，结构简单，易 于大规模集成的优点。
本发明是通过以下技术方案实现的，本发明包括待微分信号发生器，硅 基环形谐振腔，以及微分后信号检测和监控系统。其中待微分信号发生器与硅基环形谐振腔的输入相连，硅基环形谐振腔的输出与微分后信号检测和监控系统相 连。
所述的待微分信号发生器，包括可调激光器，电信号发生器，电光调制器。 其中可调激光器产生连续的激光，波长对应环形谐振腔的一个谐振峰，其输出 端口与电光调制器的输入端口相连，电信号发生器输出端口与电光调制器的射频 输入端口相连，电光调制器负责将电信号调制到光上，产生待微分的光信号。
所述硅基环形谐振腔由一个硅基微环和一根直波导构成，硅基微环和一根 直波导之间的空气隙间隔为几十至几百纳米，硅基环形谐振腔频谱特征是周期性 的带阻滤波特性，在谐振波长处的透射率等于0或非常接近0。
所述硅基环形谐振腔，改变其频谱是通过改变硅基微环和直波导之间的空 气隙间隔，改变硅基微环和直波导之间的耦合程度，临界耦合的条件是当硅基微 环的本征损耗和由于跟直波导耦合导致的损耗相等时。
所述的微分后信号检测和监控系统包括功分器，功率监控器和检测系统。 其中硅基环形谐振腔的输出与功分器的输入相连，功分器输出功率较大的端口与
检测系统相连，输出功率较小的端口与功率监控器相连。功率监控器用来监控激 光器波长是否为谐振波长，检测系统用来观察微分后的波形，可以采用示波器进 行检测。
本发明的原理是当硅基环形谐振腔满足或接近临界耦合状态时，其在谐振 波长为中心的一定范围内的频谱特性是微分器的很好的近似。由该器件制作的光 微分器结构简单，体积小，易于集成，能够用于集成的全光信号处理系统中。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果本发明使用的环形谐振腔结构
简单，体积小，环的半径只有几微米至几十微分，而现有技术中使用的光纤光栅
长度在毫米数量级。另外，使用绝缘体上硅结构作为微分器的材料，相比现有技
术中用光纤作材料，更易于大规模的光电集成。这是因为绝缘体上硅结构刻蚀等
用到的工艺与成熟的超大规模集成电路的工艺完全兼容，而大规模集成的光电器
件较分立器件能更节约成本。
图l为本发明结构示意图2为本发明实施例装置及器件结构图3为本发明实施例测试结果图。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明的实施例作详细说明本实施例在以本发明技术方案 为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护 范围不限于下述的实施例。
如图1所示，本实施例包括待微分信号发生器，硅基环形谐振腔，以及 微分后信号检测和监控系统。其中待微分信号发生器与硅基环形谐振腔的输入相 连，硅基环形谐振腔的输出与微分后信号检测和监控系统相连。
所述的待微分信号发生器，包括可调激光器，电信号发生器，电光调制器。 其中可调激光器产生连续的激光，波长对应环形谐振腔的一个谐振峰，其输出 端口与电光调制器的输入端口相连，电信号发生器输出端口与电光调制器的射频 输入端口相连，电光调制器负责将电信号调制到光上，产生待微分的光信号。
所述的硅基环形谐振腔包括一个采用绝缘体上硅结构制作的微环和一个与 之靠得很近(之间的空气隙间隔为几十至几百纳米)的直波导。这种结构的环形 谐振腔的频谱特性为周期性的凹陷滤波，也即周期性的带阻滤波。其凹陷滤波的 深度取决于微环和直波导间的距离以及微环的损耗。当微环和直波导的间隔恰当 使得环形谐振腔工作在临界耦合状态时，在谐振波长处环形谐振腔的透射率为0， 即谐振波长的光信号完全不能通过环形谐振腔。此时环形谐振腔的频谱特性在谐 振波长为中心的一定范围内(小于频谱的3dB带宽)是微分器的频谱特性的很好 的近似，因此，本发明能对在一定带宽限制下(小于频谱的3dB带宽)的光信号 进行时域微分。
所述的微分后信号检测和监控系统包括功分器，功率监控器和检测系统。 其中硅基环形谐振腔的输出与功分器的输入相连，功分器输出功率较大的端口与 检测系统相连，输出功率较小的端口与功率监控器相连。功率监控器用来监控激 光器波长是否为谐振波长，检测系统用来观察微分后的波形，可以采用示波器进 行检测。
如图2所示，为实施例对类高斯形的光信号进行微分的情况。图2(a)是实验 装置图。波长约为1554.46rai的可调光源输出的光载波送给电光调制器。电光调 制器包括马赫曾德调制器以及其前面用来控制其偏振态的第一偏振控制器。马赫 曾德调制器的偏置电压约为3. IV。电信号发生器包括正弦信号发生器用来产生10GHz的正弦信号以及电放大器以产生能够驱动马赫曾德调制器的电信号。所产 生的光信号为占空比为50%的类高斯形脉冲。电光调制器部分还包括第一掺铒光 纤放大器以补偿马赫曾德调制器的插入损耗。掺铒光纤放大器放大再与硅基环形 谐振腔系统的第二偏振控制器相连。第二偏振控制器用于控制进入到硅基环形谐 振腔的光信号的偏振态，使之为横电场模。微分后系统检测和监控系统中的功分 器为95:5功分器，其中95%部分的光接光检测系统，包括第二掺铒光纤放大器放 大以及光带通滤波器和示波器用来观察其波形。另外5%部分的光输入到功率监控 器用于监控信号波长是否位于谐振波长处。图2(b)是实施例用到的硅基环形谐振 腔的结构图。图2(b-i)为硅基环形谐振腔的俯视图。硅基微环半径为40微米，微 环和直波导宽都为450纳米，直波导和环之间的空气间隙为90纳米。图2(b-ii) 为硅基微环的横截面示意图。用来制作硅基微环的绝缘体上的硅结构最上方为 250纳米厚的单晶硅，中间是3微米厚的二氧化硅缓冲层，最下面是525微米厚的 硅衬底。
如图3所示，为本发明实施例测试结果图。图3(a)为测得的硅基微环的谐振 峰以及通过拟合得到的频谱图，图3(a)中谐振峰深度约为27.5dB，表明环形谐振 腔已经非常接近临界耦合状态，3dB带宽约为0. 34nm;图3 (b)和图3 (c)分别为为 光信号发生器产生的类高斯形光信号，以及微分后的光信号。理论上高斯脉冲微 分后在光强上为两个对称的脉冲，可见实验结果与理论的微分效果很接近，从而 证明了该微分器的可行性。
权利要求
1.一种基于硅基环形谐振腔的光微分器，包括待微分信号发生器，硅基环形谐振腔，以及微分后信号检测和监控系统，待微分信号发生器与硅基环形谐振腔的输入相连，硅基环形谐振腔的输出与微分后信号检测和监控系统相连，其特征在于，所述硅基环形谐振腔由一个硅基微环和一根直波导构成，硅基微环和一根直波导之间的空气隙间隔为几十至几百纳米，硅基环形谐振腔频谱呈周期性的带阻滤波特性，在谐振波长处的透射率等于0或非常接近0。
2. 根据权利要求1所述的基于硅基环形谐振腔的光微分器，其特征是，所 述硅基环形谐振腔，改变其频谱是通过改变硅基微环和直波导之间的空气隙间 隔，改变硅基微环和直波导之间的耦合程度，临界耦合的条件是当硅基微环的本 征损耗和由于跟直波导耦合导致的损耗相等时。
3. 根据权利要求1所述的基于硅基环形谐振腔的光微分器，其特征是，所述的待微分信号发生器包括可调激光器、电信号发生器、电光调制器，其中可 调激光器产生连续的激光，波长对应环形谐振腔的一个谐振峰，其输出端口与电 光调制器的输入端口相连，电信号发生器输出端口与电光调制器的射频输入端口 相连，电光调制器负责将电信号调制到光上，产生待微分的光信号。
4. 根据权利要求1所述的基于硅基环形谐振腔的光微分器，其特征是，所 述的微分后信号检测和监控系统包括功分器、功率监控器和检测系统，其中硅基 环形谐振腔的输出与功分器的输入相连，功分器输出功率较大的端口与检测系统 相连，输出功率较小的端口与功率监控器相连，功率监控器用来监控激光器波长 是否为谐振波长，检测系统用来观察微分后的波形。
全文摘要
一种基于硅基环形谐振腔的光微分器，属于光纤通信技术领域。本发明包括待微分信号发生器，硅基环形谐振腔、微分后信号检测和监控系统，所述硅基环形谐振腔由一个硅基微环和一根直波导构成，两者之间的空气隙间隔为几十至几百纳米，硅基环形谐振腔频谱特征是周期性的带阻滤波特性，在谐振波长处的透射率等于0或非常接近0。本发明的原理是当硅基环形谐振腔满足或接近临界耦合状态时，其在谐振波长为中心的一定范围内的频谱特性是微分器的很好的近似。由该器件制作的光微分器结构简单，体积小，易于集成，能够用于集成的全光信号处理系统中。
文档编号H04B10/12GK101303506SQ20081003955
公开日2008年11月12日 申请日期2008年6月26日 优先权日2008年6月26日
发明者旻 仇, 刘芳菲, 强 李, 涛 王, 苏翼凯 申请人:上海交通大学