放射线图像拍摄装置的制作方法

本发明涉及尤其是使用了x射线的放射线图像拍摄装置。

背景技术：

放射线图像拍摄装置具有输出对应于入射的放射线特别是x射线的剂量而产生的电信号(电荷)的传感器元件。作为这种传感器元件，通常使用将x射线直接转换为电信号的直接转换型、利用闪烁计数器将x射线变换为光之后利用光电转换元件转换为电信号的间接转换型的元件。并且，还研究了这种传感器元件在基板(以下称为面板)上针对以二维矩阵状配置的多个像素中的每一个像素设置的放射线图像拍摄装置用面板。

在这种面板中，各像素的控制中作为开关元件使用例如薄膜晶体管元件(以下称为tft(thinfilmtransistor)元件)。并且，无论是直接转换型还是间接转换型，对应于x射线的剂量而产生的电信号(电荷)均被蓄积在各像素内的电容中。

将该蓄积的电信号(电荷)经由tft元件向位于面板外部的放大器传输方式被称为无源像素型。无源像素型的放射线图像拍摄装置已作为数字x射线图像拍摄装置被广泛应用。

另一方面，通过将tft元件作为放大元件而使用、即使用各像素所具有的放大晶体管，将所蓄积的电信号(电荷)放大并向面板的外部电路传递的方式被称为有源像素型。有源像素型的放射线图像拍摄装置能够减小输出线路的热噪声、面板外部的读取电路的噪声的影响，因此也被研究。

在有源像素型、无源像素型的放射线图像拍摄装置中设有：读取信号生成电路，其控制来自各像素的检测电流的读取(输出)；以及复位信号生成电路，其控制各像素的信号读取后的复位。为了抑制制造成本的增加、拍摄有效区域以外的周边区域的面积增大、放射线图像拍摄装置的尺寸增大等，尝试了缩减读取信号生成电路及复位信号生成电路的电路规模。

例如，专利文献1中公开了下述技术：通过削减分别构成读取信号生成电路及复位信号生成电路的移位寄存器，从而缩减读取信号生成电路及复位信号生成电路的电路规模。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/013963号(2017年1月26日公开)

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题

在专利文献1公开的放射线图像拍摄装置中，像素的复位在与进行读取来自像素的信号的帧不同的帧中进行。因此，存在反复进行读取来自像素的信号和像素复位的拍摄动作耗费时间，放射线图像拍摄装置的处理速度降低的缺陷。

本发明一方案的目的在于提高放射线图像拍摄装置的处理速度。

解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明一方案的放射线图像拍摄装置包括：基板，在所述基板上像素以矩阵状配置，所述像素具有产生与入射的放射线的剂量对应的电信号的传感器元件、输出所述电信号的第一开关元件和进行初始化的第二开关元件；以及控制信号输出电路，其输出依次选择各行的所述像素的控制信号，用于控制同一行的所述像素中的所述第一开关元件的所述控制信号与用于控制其他同一行的所述像素中的所述第二开关元件的所述控制信号相同。

发明效果

根据本发明的一方案，具有能够提高放射线图像拍摄装置的处理速度的效果。

附图说明

图1是表示本发明第一实施方式的放射线图像拍摄装置的构成的框图。

图2是表示上述放射线图像拍摄装置中所设置的像素的电路构成的电路图。

图3是表示上述放射线图像拍摄装置的动作的时序图。

图4是表示本发明第二实施方式的放射线图像拍摄装置的构成的框图。

图5是表示图4所示的放射线图像拍摄装置的动作的时序图。

图6是表示本发明第三实施方式的放射线图像拍摄装置的构成的框图。

具体实施方式

以下基于附图详细说明本发明的实施方式。其中，本实施方式所记载的构成的材质、形状、相对配置、加工方法等只不过是一个例子，不应由此限定解释本发明的范围。此外，附图是示意性的，尺寸的比例、形状与实际不同。

并且，在以下的说明中，作为放射线图像拍摄装置的一例，以有源像素型的放射线图像拍摄装置为例进行说明。但本发明当然不限定于有源像素型的放射线图像拍摄装置。另外，本发明当然也能够应用于在无源像素型的放射线图像拍摄装置中例如作为光电转换元件使用mis(metalinsulatorsemiconductor)型传感器元件的情况、在各像素设置读取开关元件和复位开关元件的情况等。

另外，在以下的说明中，仅将像素配置为四行四列的矩阵状的情况作为一例进行说明。但是，像素的数量当然能够根据需要适当变更。

〔第一实施方式〕

根据图1至图3说明本发明的第一实施方式如下。

〈放射线图像拍摄装置101的构成〉

图1是表示本实施方式的放射线图像拍摄装置101的构成的框图。

如图1所示，放射线图像拍摄装置101包括基板1、多个像素2、控制信号输入部3、移位寄存器4(控制信号输出电路)、控制电路5和多个电流电压转换放大器10。

(基板1的构成)

基板1是玻璃基板(玻璃面板)，但不限定于此，也可以是塑料基板等。

像素2形成在基板1上，配置为四行四列的矩阵状。另外，在基板1上形成有读取信号线rdl1至rdl4、复位信号线rsl1至rsl4和输出线ol1至ol3。

读取信号线rdl1至rdl4分别与第一行至第四行的像素2连接。读取信号线rdl1至rdl4分别设置用于将读取信号read1至read4(控制信号)向各像素2输入。

复位信号线rsl1至rsl4分别与第一行至第四行的像素2连接。复位信号线rsl1至rsl4分别设置用于将复位信号reset1至reset4(控制信号)向各像素2输入。

并且，在以下的说明中，在分别代表读取信号线rdl1至rdl4、读取信号read1至read4、复位信号线rsl1至rsl4及复位信号reset1至reset4进行说明的情况下，称为读取信号线rdl、读取信号read、复位信号线rsl及复位信号reset。

输出线ol1至ol4分别与第一列至第四列的像素2连接。输出线ol1至ol4分别设置用于输出从各像素2输出的电流iout1至iout4。

并且，在本实施方式中，以与各行的像素2连接的读取信号线rdl1至rdl4及复位信号线rsl1至rsl4分别为一条的情况为例进行说明，但不限定于该例。各行的读取信号线rdl及复位信号线rsl若能够以相同的复位信号reset控制属于同一行的复位晶体管115、以相同的读取信号read控制属于同一行的读取晶体管117，则也可以是多条。这种各行的读取信号线rdl及复位信号线rsl的条数也能够应用于后述的第二及第三实施方式。

控制信号输入部3设置在基板1上。控制信号输入部3具有将从移位寄存器4的第一至第四输出级输出的读取信号read1至read4分别向读取信号线rdl1至rdl4输入的信号传送路径。另外，控制信号输入部3具有将从移位寄存器4的第一输出级输出的读取信号read1向复位信号线rsl4输入的信号传送路径。另外，控制信号输入部3具有将从移位寄存器4的第二输出级输出的读取信号read2向复位信号线rsl1输入的信号传送路径。另外，控制信号输入部3具有将从移位寄存器4的第三输出级输出的读取信号read3向复位信号线rsl2输入的信号传送路径。另外，控制信号输入部3具有将从移位寄存器4的第四输出级输出的读取信号read4向复位信号线rsl3输入的信号传送路径。

(移位寄存器4的构成)

移位寄存器4包括或(or)电路41和四个d-ff(d倒装芯片)42。移位寄存器4例如由硅集成电路形成。

向各d-ff42的时钟输入端子输入从控制电路5供给的时钟信号cl。第一至第四输出级的d-ff42从各自的输出端子q输出读取信号read1至read4。第一输出级的d-ff42的输出端子q与第二输出级的d-ff42的数据输入端子d连接。第二输出级的d-ff42的输出端子q与第三输出级的d-ff42的数据输入端子d连接。第三输出级的d-ff42的输出端子q与第四输出级的d-ff42的数据输入端子d连接。

向或电路41的一个输入端子输入从控制电路5供给的启动信号st。向或电路41的另一输入端子输入从第四输出级的d-ff42的输出端子q输出的读取信号read4。或电路41的输出端子与第一输出级的d-ff42的数据输入端子d连接。

(控制电路5的构成)

控制电路5输出一定周期的时钟信号cl。另外，控制电路5在放射线图像拍摄装置101起动时仅输出一次脉冲状启动信号st。控制电路5通过将启动信号st及时钟信号cl向移位寄存器4供给而控制移位寄存器4的动作时序。

(电流电压转换放大器10的构成)

电流电压转换放大器10设置于与各列的像素2的输出端子连接的输出线ol1至ol4。电流电压转换放大器10将分别向输出线ol1至ol4输出的电流iout1至iout4转换为输出电压vout1至vout4。

并且，输出电压vout1至vout4被向未图示的数据处理部输出。在数据处理部中，通过基于4×4个输出电压vout1至vout4进行规定的处理而获得4×4解像度的放射线拍摄二维图像。

(像素2的构成)

图2是表示放射线图像拍摄装置101设置的像素2的电路构成的电路图。

如图2所示，像素2设有传感器元件107、复位晶体管115(第二开关元件)、放大晶体管116和读取晶体管117(第一开关元件)。

传感器元件107是将放射线特别是x射线直接转换为电信号(电荷或空穴)的元件，产生与入射的放射线的剂量对应的电信号。如图所示，向像素2中的传感器元件107的一端赋予偏置电压vsb。

若放射线入射至像素2，则在传感器元件107中产生电信号，从而与传感器元件107连接的放大晶体管116的栅电极的电压变化。这是由于，电信号作为电荷被蓄积在与放大晶体管116的栅电极连接的静电电容中。该静电电容是放大晶体管116的栅电极与固定电位(例如传感器元件107的偏置电压输入端子)的部分之间的静电电容。具体来说，该静电电容由放大晶体管116的栅电极的寄生电容及传感器元件107的端子间电容等形成。

因此，放大晶体管116将基于电信号的栅电极的电压变化作为源-漏极间的电流变化输出。换言之，放大晶体管116读取在放大晶体管116的源电极与漏电极之间流通的基于由电信号产生的放大晶体管116的栅电极的电压变化的电流值。

复位晶体管115经由复位信号线rsl向栅电极供给复位信号reset，并且，从像素2的外部经由复位用电压线向源电极赋予复位电压vb。复位晶体管115基于复位信号reset的有无，将放大晶体管116的栅电极和复位晶体管115的漏电极控制为导通状态或截止状态。复位晶体管115通过将放大晶体管116的栅电极和复位晶体管115的漏电极设为导通状态而使像素2复位，以使放大晶体管116的栅电极的电位变为复位电压vb。

放大晶体管116是放大上述电信号的晶体管，其电源电压为vd。

读取晶体管117是用于经由输出线ol1至ol4将放大晶体管116的源-漏极间的电流向像素2的外部输出的开关元件。读取晶体管117基于经由读取信号线rdl供给的读取信号read被控制。

〈放射线图像拍摄装置101的动作〉

图3是表示放射线图像拍摄装置101的动作的时序图。

如图3所示，移位寄存器4将从第一至第四输出级输出的输出信号作为读取信号read1至read4，经由控制信号输入部3分别向读取信号线rdl1至rdl4输入，从而向每一行的像素2供给。由此，在各帧f1至f4中，以每错开时钟信号cl的一个时钟的时序进行各行的信号读取。

具体来说，属于第一行的四个像素2((1，1)至(1，4))中的读取晶体管117由读取信号read1控制。属于第二行的四个像素2((2，1)至(2，4))中的读取晶体管117由读取信号read2控制。属于第三行的四个像素2((3，1)至(3，4))中的读取晶体管117由读取信号read3控制。属于第四行的四个像素2((4，1)至(4，4))中的读取晶体管117由读取信号read4控制。

另一方面，移位寄存器4将复位信号reset1至reset4经由控制信号输入部3分别向复位信号线rsl1至rsl4输入，从而向各行的像素2供给。因此，属于第一行的四个像素2((1，1)至(1，4))中的复位晶体管115由复位信号reset1控制。属于第二行的四个像素2((2，1)至(2，4))中的复位晶体管115由复位信号reset2控制。属于第三行的四个像素2((3，1)至(3，4))中的复位晶体管115由复位信号reset3控制。属于第四行的四个像素2((4，1)至(4，4))中的复位晶体管115由复位信号reset4控制。

移位寄存器4基于来自控制电路5的启动信号st及时钟信号cl，确定从各输出级输出的输出信号。若启动信号st变为high，则移位寄存器4与时钟信号cl同步地从各输出级输出每错开时钟信号cl的一个时钟的输出信号。控制信号输入部3将各输出信号分别作为依次选择像素2的各行的行选择信号，向读取信号线rdl1至rdl4输入。

由此，如图3所示，在进行全部像素2的信号读取的各帧f1至f4中，每错开一个时钟的读取信号read1至read4被赋予给各行的像素2。

另外，控制信号输入部3将移位寄存器4的第一输出级的输出信号作为复位信号reset4向复位信号线rsl4输入。控制信号输入部3将移位寄存器4的第二输出级的输出信号作为复位信号reset1向复位信号线rsl1输入。控制信号输入部3将移位寄存器4的第三输出级的输出信号作为复位信号reset2向复位信号线rsl2输入。控制信号输入部3将移位寄存器4的第四输出级的输出信号作为复位信号reset3向复位信号线rsl3输入。

由此，如图3所示，输出的复位信号reset1至reset4以与各读取信号read1至read4分别错开一个时钟的时序被赋予给各行的像素2。

在放射线图像拍摄装置101中，各行的像素2在信号读取后利用按照上述方式复位被输出的复位信号reset1至reset4。由此，接下来从像素2读取的信号成为具有与从复位到读取之前通过放射线蓄积的电荷的电荷量对应大小的信号。

〈放射线图像拍摄装置101的效果〉

在本实施方式的放射线图像拍摄装置101中，从同一行像素2读取电信号的读取信号read与使其他同一行像素2复位的复位信号reset相同。具体来说，进行第一行像素2的读取的读取信号read1与使第四行像素2复位的复位信号reset4相同。另外，进行第二行像素2的读取的读取信号read2与使第一行像素2复位的复位信号reset1相同。另外，进行第三行像素2的读取的读取信号read3与使第二行像素2复位的复位信号reset2相同。另外，进行第四行像素2的读取的读取信号read4与使第三行像素2复位的复位信号reset3相同。

由此，各行的像素2的复位(初始化)在从其下一行像素2读取信号的期间内进行。因此，不会将进行复位的期间设为与信号读取期间不同的期间。因此，能够短时间反复进行拍摄动作。

并且，从同一行像素2读取电信号的读取信号read与使其他同一行像素2复位的复位信号reset相同的组合不限定于上述例子。

另外，控制信号输入部3仅具有用于将从移位寄存器4的各输出级输出的输出信号按照上述方式向复位信号线rsl1至rsl4输入的信号输入路径。因此，不需要专利文献1公开的放射线图像拍摄装置中的控制信号生成电路所具有的与(and)电路或开关元件。因此能够简化放射线图像拍摄装置的电路构成。

〔第二实施方式〕

基于图4及图5说明本发明的第二实施方式如下。并且，为了便于说明，对具有与第一实施方式中说明的构成要素相同功能的构成要素标注相同的附图标记，省略其说明。

〈放射线图像拍摄装置102的构成〉

图4是表示本实施方式的放射线图像拍摄装置102的构成的框图。

如图4所示，放射线图像拍摄装置102包括基板1、多个像素2、移位寄存器4、复位信号生成电路6(控制期间限定电路)、控制电路7、多个电流电压转换放大器10和cds(correlateddoublesampling)电路12(差分电路)。

(复位信号生成电路6的构成)

复位信号生成电路6设置在基板1上。复位信号生成电路6具有分别将从移位寄存器4的第一至第四输出级输出的读取信号read1至read4向读取信号线rdl1至rdl4输出的信号传送路径。另外，复位信号生成电路6具有四个与电路61。

与电路61分别与复位信号线rsl1至rsl4对应。与复位信号线rsl1对应的与电路61的输出端子与复位信号线rsl1连接。与复位信号线rsl2对应的与电路61的输出端子与复位信号线rsl2连接。与复位信号线rsl3对应的与电路61的输出端子与复位信号线rsl3连接。与复位信号线rsl4对应的与电路61的输出端子与复位信号线rsl4连接。

向各与电路61的一个输入端子输入从控制电路7供给的模式选择信号ms。向与复位信号线rsl1对应的与电路61的另一输入端子输入移位寄存器4的第四输出级的输出信号。向与复位信号线rsl2对应的与电路61的另一输入端子输入移位寄存器4的第一输出级的输出信号。向与复位信号线rsl3对应的与电路61的另一输入端子输入移位寄存器4的第二输出级的输出信号。向与复位信号线rsl4对应的与电路61的另一输入端子输入移位寄存器4的第三输出级的输出信号。

(cds电路12的构成)

cds电路12通过以连续的两个帧获取从同一行像素2读取的两个电信号的差，从而将各像素2因复位而产生的噪声去除。

〈放射线图像拍摄装置102的动作〉

图5是表示放射线图像拍摄装置102的动作的时序图。

如图5所示，移位寄存器4将从第一至第四输出级输出的输出信号作为读取信号read1至read4，经由复位信号生成电路6分别向读取信号线rdl1至rdl4输入，从而向各行的像素2供给。由此，与第一实施方式的放射线图像拍摄装置101同样地，在各帧f1至f4中以上述时序进行信号读取。

另外，从偶数帧f2、f4的读取期间开始的一行前的行被选择的时刻起，模式选择信号ms在一个帧期间内被控制为“high”。因此，在该期间内，复位信号reset输出而不会被与电路61截止，因此进行像素2的复位。

复位信号生成电路6输出复位信号reset1至reset4，以在进行某行的像素2的读取的期间内，使接下来进行读取的行的像素2复位。具体来说，在利用读取信号read4读取第四行像素2的期间内利用复位信号reset1使第一行像素2复位。在利用读取信号read1读取第一行像素2的期间内利用复位信号reset2使第二行像素2复位。在利用读取信号read2读取第二行像素2的期间内利用复位信号reset3使第三行像素2复位。在利用读取信号read3读取第三行像素2的期间内利用复位信号reset4使第四行像素2复位。

由此，在偶数帧f2、f4中，第一行至第四行的像素2的信号在复位后立即被读取，同时第二行至第四行的像素2被复位。另一方面，在奇数帧f1、f3中，第一行至第四行的像素2的信号被读取而第二行至第四行的像素2未被复位。其中，仅在奇数的帧f1、f3的最后期间从复位信号生成电路6(与电路61)输出复位信号reset1，使第一行像素2复位。

〈放射线图像拍摄装置102的效果〉

在本实施方式的放射线图像拍摄装置102中，从同一行像素2读取电信号的读取信号read与使其他同一行像素2复位的复位信号reset相同。具体来说，进行第一行像素2的读取的读取信号read1与使第二行像素2复位的复位信号reset2相同。另外，进行第二行像素2的读取的读取信号read2与使第三行像素2复位的复位信号reset3相同。另外，进行第三行像素2的读取的读取信号read3与使第四行像素2复位的复位信号reset4相同。另外，进行第四行像素2的读取的读取信号read4与使第一行像素2复位的复位信号reset1相同。

复位信号reset1至reset4能够通过与电路61分别作为模式选择信号ms的“high”与读取信号read4、read1、read2、read3的逻辑积获得。因此，复位信号reset1至reset4可以说实质上与这些读取信号read相同。

在放射线图像拍摄装置102中，各行的像素2的复位在利用按照上述方式输出的复位信号reset1至reset4进行某行的像素2的读取的期间内，针对接下来进行读取的行的像素2进行。由此，不会将进行复位的期间设为与信号读取期间不同的期间。因此，能够短时间反复进行拍摄动作。

另外，通过与电路61限定将复位信号reset赋予给像素2的期间。具体来说，仅在模式选择信号ms为“high”的期间内输出复位信号reset。由此，在连续进行两次来自同一行的各像素2的电信号读取(输出)后，对同一行的各像素2赋予复位信号reset。

另外，从各行的像素2读取的信号是加上之前的帧中的复位后由放射线生成的信号所得到的的信号。

cds电路12从在奇数帧(例如帧f3)中从各行的像素2读取的电信号的值中，减去从该帧前的偶数帧(例如帧f2)中的相同像素2读取的电信号的值。由此，能够在针对相同像素2的连续两次的读取期间计算通过放射线生成的电信号的值的变化量。按照这种方式，计算从同一像素2的两次输出间的电信号的变化量的方法作为cds(相关二重采样)已被熟知。通过像这样计算变化量，能够去除各像素2中因复位而产生的噪声，能够获取噪声小的图像。

与此相对，在以往的cds中，在进行复位的复位期间与进行电信号读取的读取期间时间不重合的情况下，为了进行cds处理，至少需要三个期间(复位期间、第一读取期间及第二读取期间)。由此，通过从第二读取期间的读取值减去第一读取期间的读取值而生成图像数据。

根据本实施方式的放射线图像拍摄装置102，由于复位期间与第一读取期间大致重合，因此能够使图像生成所需的时间缩短至上述需要三个期间的例子的2/3。

另外，作为以往的其他cds，还存在按照第一复位期间、第一读取期间、x射线照射开始、第二复位期间、第二读取期间的顺序动作，从第二读取期间的读取值减去第一读取期间的读取值而生成图像数据的方式。在该方式中，图像生成所需的时间进一步增加，且获取差分的两个读取值为各自复位后的值，因此无法去除复位噪声。

需要说明的，在本实施方式中，如图5所示，在奇数帧和与之连续的偶数帧中从同一行像素2连续地读取电信号。不限于此，也可以在偶数帧和与之连续的奇数帧中从同一行像素2连续地读取电信号。

〔第三实施方式〕

根据图6说明本发明的第三实施方式如下。并且，为了便于说明，对具有与第一及第二实施方式中说明的构成要素相同功能的构成要素标注相同的附图标记，省略其说明。

〈放射线图像拍摄装置103的构成〉

图6是表示本实施方式的放射线图像拍摄装置103的构成的框图。

如图6所示，放射线图像拍摄装置103包括多个像素2、移位寄存器4、控制信号输入部8、控制电路9、多个电流电压转换放大器10、基板11和cds电路12。

(基板11的构成)

基板11是玻璃基板(玻璃面板)，但不限定于此，也可以是塑料基板等。

像素2形成在基板11上，配置为四行四列的矩阵状。另外，在基板11上形成有读取信号线rdl1至rdl4、复位信号线rsl1至rsl4和输出线ol1至ol3。

控制信号输入部8设置在基板11上。控制信号输入部8基于从移位寄存器4的各输出级输出的输出信号，分别向读取信号线rdl1至rdl4输入读取信号read1至read4，并且，分别向复位信号线rsl1至rsl4输入复位信号reset1至reset4。控制信号输入部8是第一实施方式中的控制信号输入部3或第二实施方式中的复位信号生成电路6。

移位寄存器4形成在基板11上。

(控制电路9的构成)

控制电路9是第一实施方式中的控制电路5或第二实施方式中的控制电路7。

〈放射线图像拍摄装置103的效果〉

在放射线图像拍摄装置103中，移位寄存器4形成在基板11上。由此，能够在基板11上以与构成像素2的晶体管相同的工艺形成移位寄存器4。由此，也可以像第一或第二实施方式那样以硅集成电路等方式将移位寄存器4设置在基板1的外部。另外，还不需要在基板11与移位寄存器4之间设置信号连接线。因此能够降低放射线图像拍摄装置103的制造成本。

并且，在像素2的间距狭小而很难将具有与这种狭小像素间距对应的输出端子的移位寄存器4设置在基板11上的情况下，优选像第一或第二实施方式那样，移位寄存器4设置在基板1的外部。

〔总结〕

本发明第一方案的放射线图像拍摄装置包括：基板1、11，在基板1、11上像素2以矩阵状配置，所述像素2具有产生与入射的放射线的剂量对应的电信号的传感器元件107、输出所述电信号的第一开关元件(读取晶体管117)和进行初始化的第二开关元件(复位晶体管115)；以及控制信号输出电路，其输出依次选择各行的所述像素2的控制信号(读取信号read1至read4)，用于控制同一行的所述像素2中的所述第一开关元件的所述控制信号(读取信号read1至read4)与用于控制其他同一行的所述像素2中的所述第二开关元件的所述控制信号(复位信号reset1至reset4)相同。

根据上述构成，能够在同一行像素中的第一开关元件控制的电信号的读取期间，通过控制其他同一行像素中的第二开关元件进行初始化。因此，不会将初始化期间设为与读取期间不同的期间。因此能够短时间反复进行拍摄动作。

本发明第二方案的放射线图像拍摄装置也可以是，在上述第一方案的基础上，还具有向所述第二开关元件限定期间地赋予所述控制信号的控制期间限定电路(复位信号生成电路6)。

根据上述构成，能够根据需要设置进行初始化的期间和不进行初始化的期间。

本发明第三方案的放射线图像拍摄装置也可以是，在上述第二方案的基础上，所述控制期间限定电路在连续进行两次来自同一行的各像素2的所述电信号的输出后，向所述第二开关元件赋予所述控制信号，所述放射线图像拍摄装置还具有获取连续两次从同一行的各像素输出的所述电信号的差的差分电路(cds电路12)。

根据上述构成，能够通过在短读取期间内进行cds的处理而生成图像。

本发明第四方案的放射线图像拍摄装置也可以是，在上述第一至第三方案中任一方案的基础上，所述控制信号输出电路形成在所述基板1的外部。

上述构成例如能够适用于像素的间距狭小而难以将具有与这种狭小像素间距对应的输出端子的控制信号输出电路设置在基板上的情况。

本发明第五方案的放射线图像拍摄装置也可以是，在上述第一至第三方案中任一方案的基础上，所述控制信号输出电路形成在所述基板11上。

根据上述构成，也可以将控制信号输出电路以例如硅集成电路等方式设置在基板的外部。另外，还不需要在基板与控制信号输出电路之间设置信号连接线。

〔补充内容〕

本发明不限定于上述各实施方式，能够在权利要求表示的范围内进行多种变更，将不同实施方式分别公开的技术手段适当得到的实施方式也包含在本发明的技术范围。此外，能够通过将各实施方式分别公开的技术手段组合形成新的技术特征。

附图标记说明

1、11基板

2像素

4移位寄存器(控制信号输出电路)

6复位信号生成电路(控制期间限定电路)

12cds电路(差分电路)

101至103放射线图像拍摄装置

107传感器元件

115复位晶体管(第二开关元件)

117读取晶体管(第一开关元件)

rdl1至rdl4读取信号线

rsl1至rsl4复位信号线

read1至read4读取信号(控制信号)

reset1至reset4复位信号(控制信号)