一种驱动装置、防抖成像装置和终端的制作方法

本技术涉及mems领域，尤其涉及一种驱动装置、防抖成像装置和终端。

背景技术：

1、摄像防抖是当前移动摄像设备中的重要技术之一，可以提高成像画质，提升用户体验。摄像防抖包括电子防抖、光学防抖和微云台防抖等多种方案。其中，光学防抖是将镜头或者图像传感器放置在微马达上，通过检测机身的抖动来计算出抖动量，再将该信息传递给微马达使其朝相反的方向进行运动以实现补偿。

2、当前的一种光学防抖方案是利用微机电系统(micro electro mechanicalsystem，mems)实现。摄像模组一般包括mems驱动器、图像传感器和基板等，各组件通过贴片、组装和打线等方式实现机械连接和电学连接。在该方案中，图像传感器直接堆叠在mems驱动器上，导致摄像模组的整体厚度较大。

技术实现思路

1、本技术实施例提供了一种驱动装置、防抖成像装置和终端，降低了驱动装置的整体厚度。

2、第一方面，本技术实施例提供了一种驱动装置，该驱动装置包括：基底、第一活动结构、第二活动结构、第一固定结构、第二固定结构、第一连接件、第二连接件和驱动结构。第一固定结构固定在基底上，第一活动结构通过第一连接件与第一固定结构连接。第二活动结构通过第二连接件与第二固定结构连接，第二活动结构固定在第一活动结构上。第一固定结构包括第一区域和第二区域，第一区域的厚度小于第二区域的厚度。第二固定结构包括第三区域和第四区域，第三区域的厚度小于第四区域的厚度。第一区域与第三区域固定连接，第三区域位于第一区域上方，第二区域与第四区域在垂直于基底的方向上不重叠。驱动结构位于第一固定结构与第一活动结构之间，和/或，驱动结构位于第二固定结构与第二活动结构之间。驱动结构用于驱动第一活动结构和第二活动结构移动。

3、在该实施方式中，第一固定结构和第二固定结构基于厚度的不同可以划分为不同区域。其中，第一固定结构和第二度过框架各自厚度较薄的区域至少有一部分能上下贴合，且各自厚度较厚的区域上下相互错开。因此，第一固定结构与第二固定结构组装在一起的整体厚度小于第一固定结构的最大厚度与第二固定结构的最大厚度之和，降低了驱动装置的整体厚度，便于实现轻薄化设计。

4、在一些可能的实施方式中，第一活动结构为活动载台，第二活动结构为活动框架。驱动装置还包括图像传感器，图像传感器固定在第一活动结构上，图像传感器位于第二活动结构内侧。上述方式提供了一种放置图像传感器的具体实施方式，驱动结构可以通过驱动第一活动结构移动来带动图像传感器移动，从而实现了光学防抖。

5、在一些可能的实施方式中，第一活动结构包括第一凹腔，图像传感器固定在第一凹腔中。相较于将图像传感器直接叠放在第一活动结构上的方式，可以进一步降低驱动装置的整体厚度。

6、在一些可能的实施方式中，第二活动结构为活动载台，第一活动结构为活动载台或活动框架。驱动装置还包括图像传感器，图像传感器固定在第二活动结构上。上述方式提供了另一种放置图像传感器的具体实施方式，驱动结构可以通过驱动第二活动结构移动来带动图像传感器移动，从而实现了光学防抖，并增强了本方案的扩展性。

7、在一些可能的实施方式中，第二活动结构包括第二凹腔，图像传感器固定在第二凹腔中。相较于将图像传感器直接叠放在第二活动结构上的方式，可以进一步降低驱动装置的整体厚度。

8、在一些可能的实施方式中，基底与第一固定结构电连接，图像传感器与第一活动结构电连接，第一活动结构通过第一连接件与第一固定结构电连接，以便于将图像传感器的信号引出至基底。其中，第一活动结构与第一固定结构之间可以沿着第一连接件进行电学布线，布线更为规整。

9、在一些可能的实施方式中，基底与第二固定结构电连接，图像传感器与第二活动结构电连接，第二活动结构通过第二连接件与第二固定结构电连接，以便于将图像传感器的信号引出至基底。其中，第二活动结构与第二固定结构之间可以沿着第二连接件进行电学布线，布线更为规整。

10、在一些可能的实施方式中，驱动结构包括第一驱动梳齿和第二驱动梳齿，第一连接件包括第一悬臂梁和第二悬臂梁。第一活动结构的第一端通过第一悬臂梁与第一固定结构连接，第一活动结构的第二端通过第二悬臂梁与第一固定结构连接，第一活动结构的第一端和第二端为第一活动结构在第一轴向上的两端。第一驱动梳齿包括第一固定梳齿和第一活动梳齿，第一固定梳齿与第一活动梳齿交错排列，第一活动梳齿与第一活动结构的第一端连接，第一固定梳齿与第一固定结构连接。第二驱动梳齿包括第二固定梳齿和第二活动梳齿，第二固定梳齿与第二活动梳齿交错排列，第二活动梳齿与第一活动结构的第二端连接，第二固定梳齿与第一固定结构连接。第一驱动梳齿和第二驱动梳齿用于驱动第一活动结构和第二活动结构在第一轴向上移动。上述方式提供了一种驱动结构和第一连接件的具体实现方式，增强了本方案的可实现性。

11、在一些可能的实施方式中，驱动结构还包括第三驱动梳齿和第四驱动梳齿，第二连接件包括第三悬臂梁和第四悬臂梁。第二活动结构的第一端通过第三悬臂梁与第二固定结构连接，第二活动结构的第二端通过第四悬臂梁与第二固定结构连接，第二活动结构的第一端和第二端为第二活动结构在第二轴向上的两端。第三驱动梳齿包括第三固定梳齿和第三活动梳齿，第三固定梳齿与第三活动梳齿交错排列，第三活动梳齿与第二活动结构的第一端连接，第三固定梳齿与第二固定结构连接。第四驱动梳齿包括第四固定梳齿和第四活动梳齿，第四固定梳齿与第四活动梳齿交错排列，第四活动梳齿与第二活动结构的第二端连接，第四固定梳齿与第二固定结构连接。第三驱动梳齿和第四驱动梳齿用于驱动第一活动结构和第二活动结构在第二轴向上移动。在该实施方式中，上下两层驱动梳齿可以分别在不同方向上进行驱动，在光学防抖的应用场景中，可以实现多个方向上的补偿，光学防抖的效果更好。

12、在一些可能的实施方式中，第一固定结构上形成有第一止挡结构，第一活动结构上形成有第二止挡结构。第一止挡结构和第二止挡结构用于在平行于第一活动结构的平面内对第一活动结构和第二活动结构进行止挡。通过上述方式可以起到限制第一活动结构与第二活动结构最大水平位移的作用，降低了驱动装置中的最大应力，提高了驱动装置的可靠性。

13、在一些可能的实施方式中，第二固定结构上形成有第三止挡结构，第二活动结构上形成有第四止挡结构，第三止挡结构和第四止挡结构用于在平行于第二活动结构的平面内对第一活动结构和第二活动结构进行止挡。通过上述方式同样可以起到限制第一活动结构与第二活动结构最大水平位移的作用，提高了本方案的灵活性。

14、在一些可能的实施方式中，第一活动结构上形成有第五止挡结构，第二固定结构上形成有第六止挡结构。第五止挡结构和第六止挡结构用于在垂直于基底方向上对第一活动结构和第二活动结构进行止挡。在该实施方式中，还可以通过设置止挡结构限制第一活动结构和第二活动结构在垂直于基底方向上的位移，避免对第一连接件和第二连接件造成损坏，提高了驱动装置的可靠性。

15、在一些可能的实施方式中，第一固定结构上形成有第七止挡结构，第二活动结构上形成有第八止挡结构。第七止挡结构和第八止挡结构用于在垂直于基底方向上对第一活动结构和第二活动结构进行止挡。通过上述方式同样可以限制第一活动结构和第二活动结构在垂直于基底方向上的位移，提高了本方案的灵活性。

16、在一些可能的实施方式中，基底上设置有凸台或通孔。在对驱动装置进行组装的过程中，可以通过凸台对第一活动结构进行支撑，或者使用支撑柱穿过通孔对第一活动结构进行支撑，用于提高组装过程中的可靠性。

17、在一些可能的实施方式中，第一固定结构为第一固定框架，第一活动结构位于第一固定框架内侧。第二固定结构为第二固定框架，第二活动结构位于第二固定框架内侧。采用框架作为固定结构提高了驱动装置的整体稳定性。

18、在一些可能的实施方式中，第一活动结构为第一活动框架，第一固定结构位于第一活动结构的内侧，第二活动结构为第二活动框架，第二固定结构位于第二活动结构的内侧。区别于上述实施方式中，本实施方式中还可以对固定结构和活动结构进行位置调换，提高了本方案的扩展性。

19、在一些可能的实施方式中，驱动装置还包括图像传感器，图像传感器固定在所述第二活动结构上，上述方式提供了一种放置图像传感器的具体实施方式，驱动结构可以通过驱动第二活动结构移动来带动图像传感器移动，从而实现了光学防抖。

20、在一些可能的实施方式中，基底为印刷电路板(printed circuit board，pcb)。

21、第二方面，本技术实施例提供了一种防抖成像装置。该防抖成像装置包括控制器和如第一方面任一实施方式介绍的驱动装置。控制器与驱动装置电连接。驱动装置包括图像传感器。控制器用于向驱动装置输出控制信号，以控制驱动装置带动图像传感器移动。

22、第三方面，本技术实施例提供了一种终端。该终端包括处理器、存储器和如第二方面介绍的防抖成像装置。其中，处理器、存储器和防抖成像装置通过总线互相连接。存储器用于存储程序与指令，处理器用于调用存储器中存储的程序与指令对防抖成像装置进行控制。

23、本技术实施例中，第一固定结构和第二固定结构基于厚度的不同可以划分为不同区域。其中，第一固定结构和第二度过框架各自厚度较薄的区域至少有一部分能上下贴合，且各自厚度较厚的区域上下相互错开。因此，第一固定结构与第二固定结构组装在一起的整体厚度小于第一固定结构的最大厚度与第二固定结构的最大厚度之和，降低了驱动装置的整体厚度，便于实现轻薄化设计。