技术特征：
1.一种微机电结构，其特征在于，包括：背板，所述背板上具有声孔；以及振膜，与所述背板相对；所述背板与所述振膜之间具有间隙；所述背板连接有加强筋，所述加强筋关于所述背板的中心对称。2.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋关于相互垂直的第一方向和第二方向对称，所述加强筋在第一方向的对称轴和在第二方向的对称轴相交于所述背板的中心。3.根据权利要求2所述的微机电结构，其特征在于，至少一个所述加强筋为直线型，且所述直线型的加强筋的两端延伸至所述背板的边缘。4.根据权利要求3所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋包括：多个直线型的第一加强筋，多个所述第一加强筋在第一方向上平行排列，且关于第一方向对称排列；以及多个直线型的第二加强筋，多个所述第二加强筋在第二方向上平行排列，且关于第二方向对称排列；每个所述加强筋的两端延伸至所述背板的边缘。5.根据权利要求3所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋包括多个直线型的第三加强筋，多个所述第三加强筋相交于所述背板的中心，且每个所述第三加强筋的两端延伸至所述背板的边缘。6.根据权利要求3所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋包括：多个圆形的第四加强筋，每个所述第四加强筋的中心与所述背板的中心重合；以及至少一个直线型第五加强筋，所述第五加强筋穿过所述背板的中心，且所述第五加强筋的两端延伸至所述背板的边缘。7.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋的截面形状为矩形、半圆形、三角形、梯形或者不规则形状中的一种或几种。8.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述背板的厚度为0.3um～0.8um。9.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋的厚度为0.5um～2um。10.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋采用绝缘材料。11.根据权利要求1所述的微机电结构，其特征在于，包括：衬底，具有腔体；第一支撑部，位于所述衬底上；振膜，位于所述第一支撑部上；第二支撑部，位于所述振膜上；以及背板，位于所述第二支撑部上。12.根据权利要求11所述的微机电结构，其特征在于，所述加强筋位于所述背板远离所述衬底的表面。13.一种麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至12任一项所述的微机电结构。14.一种终端，其特征在于，包括如权利要求13所述的麦克风。
技术总结
公开了一种微机电结构、麦克风以及终端，微机电结构包括：背板，所述背板上具有声孔；以及振膜，与所述背板相对；所述背板与所述振膜之间具有间隙；所述背板连接有加强筋，所述加强筋关于所述背板的中心对称。本公开提供的微机电结构、麦克风以及终端，在背板上设置加强筋，以增加背板的强度，提高背板的机械强度。进一步地，可以将背板的厚度减薄，从而降低声孔的孔深，以降低背板上声孔的阻尼，进而减小噪音，提高信噪比。提高信噪比。提高信噪比。
技术研发人员：荣根兰 孟燕子 曹斌斌
受保护的技术使用者：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
技术研发日：2022.04.11
技术公布日：2022/10/3