Mems麦克风的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括设有凹槽的基底以及置于基底上的可动极板和固定极板，所述可动极板和固定极板相对且间隔设置，所述可动极板与固定极板之间设有防粘凸起，所述防粘凸起包括多个具有不同高度的凸起部。本实用新型的MEMS麦克风中，具有不同高度的凸起部可避免所述背板与所述振膜粘合，并且加工简单，防粘效果好。
【专利说明】
MEMS麦克风
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种麦克风，具体的，涉及一种MEMS麦克风。
【【背景技术】】
[0002]近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备。
[0003]微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。
[0004]MEMS麦克风包括振膜和与所述振膜相对间隔设置的背板，为了防止两者粘合，相关技术中的MEMS麦克风在所述振膜与所述背板之间设置与所述背板粘结的若干个防粘凸起，若干个所述防粘凸起高度相等，所述防粘凸起用于减小黏附面积，降低总黏附力，因此所述振膜与所述背板较容易摆脱粘合状态。
[0005]当被粘合的所述防粘凸起数量较多时，所述背板与所述振膜仍有可能发生粘合现象，为了解决这一技术问题，相关技术中通过不断减小所述防粘凸起的尺寸的方法来进一步降低黏附面积，但这种方法加工难度大，产品不良率高。
[0006]因此，有必要提供一种新的MEMS麦克风以解决上述缺陷。
【【实用新型内容】】
[0007]本实用新型的目的在于提供一种防粘效果好且加工简单的MEMS麦克风。
[0008]本实用新型的技术方案如下:一种MEMS麦克风，包括设有凹槽的基底以及置于基底上的可动极板和固定极板，所述可动极板和固定极板相对且间隔设置，所述可动极板与固定极板之间设有防粘凸起，所述防粘凸起包括多个具有不同高度的凸起部。
[0009]优选的，所述防粘凸起自所述可动极板向所述固定极板的方向延伸。
[0010]优选的，所述防粘凸起自所述固定极板向所述可动极板的方向延伸。
[0011]优选的，相邻的凸起部的高度不相同。
[0012]优选的，所述凸起部等间距设置。
[0013]优选的，多个凸起部组成至少一个六角形单元。
[0014]优选的，所述可动极板为振膜，所述固定极板为背极板。
[0015]本实用新型的有益效果在于:高度不相同的若干个所述凸起部呈高低起伏状分布于所述背板与所述振膜之间，可以有效降低所述背板与所述振膜的黏附面积，大幅提升防粘合效果，同时，所述防粘凸起的加工工艺简单。
【【附图说明】】
[0016]图1为本实用新型MEMS麦克风实施例一的部分结构示意图；
[0017]图2为本实用新型MEMS麦克风实施例二的部分结构示意图；
【【具体实施方式】】
[0018]下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
[0019]如图1所示，为本实用新型MEMS麦克风的第一种实施方式的结构示意图，所述MEMS麦克风100包括设有凹槽101的基底10以及置于基底10上的可动极板30和固定极板20，所述可动极板30和固定极板20之间设有绝缘的支撑件50使得可动极板30和固定极板20相对且间隔设置，所述可动极板30与固定极板20之间设有防粘凸起，所述防粘凸起包括多个具有不同高度的凸起部。
[0020]在本实施方式中，所述可动极板30为振膜，所述固定极板20为背极板，振膜与背极板之间形成电容，当外界声波使振膜振动并产生位移时，振膜与背极板之间的电容发生变化并转换为与声波信号对应的电信号，于是就完成了声一电转换的功能。
[0021]防粘凸起可以自背极板向振膜的方向延伸形成，凸起部的高度指的是凸起部自背极板的与振膜相对的表面向振膜的方向的延伸高度，在本实施方式中，凸起部的高度有两种，即凸起部包括具有第一高度Hl的第一凸起41以及具有第二高度H2的第二凸起42，H1>H2，第一凸起41与第二凸起42之间的高度差可以根据需要进行调节，第一凸起41和第二凸起42交错排布，因此，当防粘凸起与振膜黏连时，由于第一凸起41的存在，会在张力FO的作用下将运动结构从第二凸起42上拉脱，使得参与黏附的只有第一凸起41，由于第一凸起41的数量减小，总黏附力较低，可动极板即振膜可以容易的摆脱黏连状态，避免MEMS器件因此造成的失效。
[0022]在本实施方式中，相邻的凸起部的高度可以不相同，即相邻的第一凸起41之间夹设一个第二凸起42;在其它实施方式中，相邻的凸起部之间的高度也可以是相同的，即可以是两个第一凸起之间夹设若干个第二凸起，或者是两个第二凸起之间夹设若干个第一凸起。另外，凸起部可以等间距设置，也可以呈不规则排布。
[0023]另外，多个凸起部组成至少一个六角形单元，由此使得系统的刚性减小为原来的48%，且灵敏度可以提升多达6dB而不发生黏连。
[0024]在其它实施例中，防粘凸起也可以自振膜向背极板的方向延伸形成，此时，凸起部的高度指的是自振膜的与背极板相对的表面向背极板的方向的延伸高度。
[0025]如图2所示，为本实用新型的MEMS麦克风的第二种实施方式的结构示意图，该实施方式与第一种实施方式的区别仅在于，MEMS麦克风1(W的防粘凸起包括三种高度的凸起部，即具有第一高度Hl1的第一凸起41 ’、具有第二高度H2 ’的第二凸起42 ’以及具有第三高度H3 ’的第三凸起43 ’，H1 '>H2 '>H3 ’，第一凸起41 ’、第二凸起42 ’以及第三凸起43 ’依次间隔排布，当然，在其它实施方式中，第一凸起41 \第二凸起42'以及第三凸起43'也可以无规则排布，另外，凸起部也可以具有三种以上的高度。
[0026]本实用新型提供的MEMS麦克风具有以下有益效果:延伸高度不相同的若干个所述防粘凸起呈高低起伏状分布于所述背板与所述振膜之间，可以有效降低所述背板与所述振膜的黏附面积，大幅提升防粘合效果，同时，所述防粘凸起的加工工艺简单。在同等防粘合效果下，本实用新型的MEMS麦克风的加工工艺难度更低，产品不良率显著降低。
[0027]以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种MEMS麦克风，包括设有凹槽的基底以及置于基底上的可动极板和固定极板，所述可动极板和固定极板相对且间隔设置，其特征在于，所述可动极板与固定极板之间设有防粘凸起，所述防粘凸起包括多个具有不同高度的凸起部。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于:所述防粘凸起自所述可动极板向所述固定极板的方向延伸。3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于:所述防粘凸起自所述固定极板向所述可动极板的方向延伸。4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于:相邻的凸起部的高度不相同。5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于:所述凸起部等间距设置。6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于:多个凸起部组成至少一个六角形单J L ο7.根据权利要求1-6任一权利要求所述的MEMS麦克风，其特征在于:所述可动极板为振膜，所述固定极板为背极板。
【文档编号】H04R19/04GK205491150SQ201620082720
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年1月27日
【发明人】张金宇
【申请人】瑞声声学科技(深圳)有限公司