专利名称:静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋的制作方法
【专利摘要】本实用新型揭示了一种静电屏蔽袋膜，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。本实用新型还提供一种静电屏蔽袋，所述静电屏蔽袋所述静电屏蔽袋膜围绕形成一密封腔，所述热封层为所述密封腔的内壁。所述静电屏蔽袋膜能够提高静电屏蔽袋的拉伸性能以及抗刺穿性，可以有效地提高静电屏蔽袋的强度。
【专利说明】静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及防静电【技术领域】，特别是涉及一种静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋。
【背景技术】
[0002]目前，随着现代工业的不断发展，防静电危害问题日益受到关注和重视。在纺织、造纸、印刷、微电子技术、计算机、胶片制造、塑料化工以及交通运输等部门中，静电不仅影响产品质量和生产的正常进行，严重情况下，甚至造成故障，产品报废，以至发生爆炸与火灾。例如，在半导体制造领域，制备好的晶圆需要放在晶圆盒中，以便于运输。在运输过程中，晶圆盒收到摩擦、撞击、外界电场和磁场的影响，容易产生静电，导致晶圆的电性能收到影响。
[0003]在现有技术中，为了避免静电影响，一般需要将晶圆盒防止于静电屏蔽袋中，静电屏蔽袋一般由静电屏蔽袋膜热封形成。然而，现有的静电屏蔽袋膜的强度不够，静电屏蔽袋在运输的过程中，容易出现破损、划痕等现象，特别是棱角的地方，从而不能对所述晶圆起到良好的防静电保护。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于，提供一种静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋，能够提高静电屏蔽袋的拉伸性能以及抗刺穿性，可以有效地提高静电屏蔽袋的强度。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型提供一种静电屏蔽袋膜，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。
[0006]进一步的，所述静电屏蔽袋膜还包括一拉伸增强层，所述拉伸增强层位于所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间。
[0007]进一步的，所述拉伸增强层位于所述热封层和金属层之间。
[0008]进一步的，所述拉伸增强层位于所述双向拉伸聚丙烯薄膜和金属层之间。
[0009]进一步的，所述拉伸增强层的厚度为0.005mm?0.05_。
[0010]进一步的，所述热封层的厚度为0.0lmm?0.5mm。
[0011]进一步的，所述金属层的厚度为0.0Olmm?0.02mm。
[0012]进一步的，所述双向拉伸聚丙稀薄膜的厚度为0.0Olmm?0.05mm。
[0013]根据本实用新型的另一面，还提供一种静电屏蔽袋，用于将一晶圆盒装入所述静电屏蔽袋中，其特征在于，所述静电屏蔽袋由如上任意一项所述的静电屏蔽袋膜围绕形成一密封腔，所述晶圆盒放置于所述密封腔中，所述热封层为所述密封腔的内壁。
[0014]与现有技术相比，本实用新型提供的静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋具有以下优占.V.
[0015]在本实用新型提供的静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋中，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层，所述金属层可以有效地对晶圆盒中的晶圆进行静电保护；所述双向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子链呈无规则排序，能够有效提高所述静电屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型第一实施例中静电屏蔽袋膜的断面结构示意图；
[0017]图2为双向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子链的分布示意图；
[0018]图3为本实用新型第一实施例中静电屏蔽袋的截面结构示意图；
[0019]图4为本实用新型第二实施例中静电屏蔽袋膜的断面结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]下面将结合示意图对本实用新型的静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。
[0021]为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
[0022]在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0023]本实用新型的核心思想在于，提供一种静电屏蔽袋膜，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。所述金属层可以有效地对晶圆盒中的晶圆进行静电保护；所述双向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子链呈无规则排序，能够有效提高所述静电屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
[0024]以下列举所述静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋的几个实施例，以清楚说明本实用新型的内容，应当明确的是，本实用新型的内容并不限制于以下实施例，其他通过本领域普通技术人员的常规技术手段的改进亦在本实用新型的思想范围之内。
[0025]第一实施例
[0026]在本实施例中，所述静电屏蔽袋膜包括一拉伸增强层，所述拉伸增强层可以进一步提高所述静电屏蔽袋膜的强度，所述拉伸增强层位于所述热封层和金属层之间。具体的，请参考图1和图2，其中，图1为本实用新型第一实施例中静电屏蔽袋膜的断面结构示意图；图2为双向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子链的分布示意图。
[0027]如图1所示，所述静电屏蔽袋膜I为多层结构，即为复合薄膜结构。在本实施例中，所述静电屏蔽袋膜I为四层结构的复合薄膜，其内层为热封层11，在所述热封层11上覆盖有拉伸增强层12，所述拉伸增强层12上有金属层13，所述金属层13外覆盖有双向拉伸聚丙稀薄膜(Biaxially Oriented Polypropylene，简称B0PP) 14，所述双向拉伸聚丙稀薄膜的材料为现有的双向拉伸聚丙烯材料。
[0028]所述热封层11为所述静电屏蔽袋膜I的最内层，当将所述静电屏蔽袋膜I制作为静电屏蔽袋时，所述热封层11折叠在里面，以便于热封设备加热封合。在本实施例中，所述热封层11为现有的低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯混合的薄膜，低密度聚乙烯和线性低密度聚乙烯的薄膜可以很好地进行热封。在本实用新型的其它实施例中，所述热封层11还可以为现有的低密度聚乙烯的薄膜、现有的线性低密度聚乙烯的薄膜或现有的未拉伸聚丙烯的薄膜等熔点不太高(不超过300°c，可以进行热封)的薄膜。较佳的，所述热封层11的厚度为0.01mm?0.5mm,例如0.05mm、0.1mm.0.2mm、0.3mm.0.4mm等等，可以进行有效地热封，并可以保证所述静电屏蔽袋的真空性。
[0029]在本实施例中，所述拉伸增强层12为现有的尼龙层，所述尼龙层具有抗击穿、抗拉伸以及隔氧的作用，可以进一步提高所述静电屏蔽袋膜I的强度。在本实用新型的其它实施例中，所述拉伸增强层12并不限于为尼龙层，所述拉伸增强层12还可以为高密度聚丙烯薄膜等，只要是拉伸强度较高的薄膜，亦可以提高所述静电屏蔽袋膜I的强度。较佳的，所述拉伸增强层12的厚度为0.005mm?0.05mm，例如0.01mm.0.02mm、0.03mm、0.04mm等等，可以有效提高静电屏蔽袋膜I的强度，同时不会使得所述静电屏蔽袋膜I过厚。
[0030]所述金属层13用于静电屏蔽、隔氧、防潮，在本实施例中，所述金属层13为现有的铝薄膜，铝薄膜在在高分子薄膜上的延展性能较好，且可以对晶圆进行有效地屏蔽。在本实用新型的其它实施例中，所述金属层13还可以为铝铜薄膜、银薄膜、锡薄膜等等。较佳的，所述金属层13的厚度为0.0Olmm?0.02mm,例如0.005mm、0.01mm、0.015mm等等。
[0031]所述双向拉伸聚丙烯薄膜14位于为所述静电屏蔽袋膜I的最外层，当将所述静电屏蔽袋膜I制作为静电屏蔽袋时，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14暴露在外面。如图2所示，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14中的聚丙烯分子链141呈无规则排序，从而能够有效提高所述静电屏蔽袋膜I在不同方向上的抗拉伸性能。较佳的，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14的厚度为 0.001mm ?0.05mm,例如 0.005mm、0.01mm、0.02mm、0.03mm、0.04mm 等等，可以有效地提高所述静电屏蔽袋膜I的厚度。
[0032]如图3所示，所述静电屏蔽袋膜I可以制备用于装一晶圆盒的所述静电屏蔽袋10，所述静电屏蔽袋10由所述静电屏蔽袋膜I围绕形成一密封腔101，所述晶圆盒放置于所述密封腔101中，所述热封层11位于所述静电屏蔽袋10的内表面，所述热封层11为所述密封腔101的内壁，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14位于所述静电屏蔽袋10的外表面。
[0033]在本实施例中，将所述晶圆盒放置于所述密封腔101中，当所述静电屏蔽袋膜I被拉伸或受力时，最外侧的所述双向拉伸聚丙烯薄膜14受力，无规则排序的聚丙烯分子链141使得所述双向拉伸聚丙烯薄膜14不易破裂，从而保证所述热封层11、拉伸增强层12和金属层13均不破损，以保证所述静电屏蔽袋膜I抗静电保护能力。
[0034]本实施例的所述静电屏蔽袋膜I的穿刺强度为200N以上，横向伸长率为100%，而现有技术中的静电屏蔽袋膜的穿刺强度仅为100N左右，横向伸长率仅为50%左右，本实施例的所述静电屏蔽袋膜I的强度明显优于现有技术中的静电屏蔽袋膜。
[0035]第二实施例
[0036]请参阅图4，其中，图4为本实用新型第二实施例中静电屏蔽袋膜的断面结构示意图。在图4中，参考标号表不与图1-图3相同的表述与第一实施方式相同的结构。所述第二实施例的静电屏蔽袋膜2与所述第一实施例的静电屏蔽袋膜I基本相同，其区别在于:所述拉伸增强层12位于所述双向拉伸聚丙烯薄膜14和金属层13之间，所述拉伸增强层12亦可以进一步提高所述静电屏蔽袋膜2的强度。
[0037]本实施例的所述静电屏蔽袋膜2亦可以制备所述静电屏蔽袋10，将所述晶圆盒放置于所述密封腔101中，当所述静电屏蔽袋膜2被拉伸或受力时，最外侧的所述双向拉伸聚丙烯薄膜14受力，无规则排序的聚丙烯分子链141使得所述双向拉伸聚丙烯薄膜14不易破裂，从而保证所述热封层11、拉伸增强层12和金属层13均不破损，以保证所述静电屏蔽袋膜2抗静电保护能力。
[0038]本实施例的所述静电屏蔽袋膜2的穿刺强度为200N左右，横向伸长率接近100%，而现有技术中的静电屏蔽袋膜的穿刺强度仅为100N左右，横向伸长率仅为50%左右，本实施例的所述静电屏蔽袋膜2的强度明显优于现有技术中的静电屏蔽袋膜。
[0039]本实用新型的较佳实施例如上所述，但是，本实用新型的静电屏蔽袋膜并不限于上述公开的范围，例如，所述静电屏蔽袋膜还可以不包括所述拉伸增强层12 ;并且，所述静电屏蔽袋膜并不限于用于晶圆的静电屏蔽，只要需要进行静电屏蔽的产品，均可采用本实用新型的静电屏蔽袋膜。
[0040]综上所述，本实用新型提供一种静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。所述金属层可以有效地对晶圆盒中的晶圆进行静电保护；所述双向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子链呈无规则排序，能够有效提高所述静电屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
[0041]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。2.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述静电屏蔽袋膜还包括一拉伸增强层，所述拉伸增强层位于所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间。3.如权利要求2所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增强层位于所述热封层和金属层之间。4.如权利要求2所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增强层位于所述双向拉伸聚丙烯薄膜和金属层之间。5.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增强层的厚度为0.005mm ?0.05mm。6.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述热封层的厚度为0.0lmm?0.5mmο7.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述金属层的厚度为0.0Olmm?0.02mnu8.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述双向拉伸聚丙烯薄膜的厚度为 0.0Olmm ?0.05mm。9.一种静电屏蔽袋，用于将一晶圆盒装入所述静电屏蔽袋中，其特征在于，所述静电屏蔽袋由如权利要求1至8中任意一项所述的静电屏蔽袋膜围绕形成一密封腔，所述晶圆盒放置于所述密封腔中，所述热封层为所述密封腔的内壁。
【文档编号】B32B33-00GK204296142SQ201420766415
【发明者】程琳, 上官遨宇 [申请人]中芯国际集成电路制造(北京)有限公司