专利名称：液滴喷头的擦拭单元以及具备该单元的装置及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种利用喷墨头为代表的液滴喷头的液滴喷出装置(描绘装置)中的液滴喷头的擦拭单元、具备此单元的液滴喷出装置、电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子器械。
背景技术：
因为喷墨打印机的喷墨头(液滴喷头)可以以点状、高精度喷出微小的墨水滴(液滴)，作为喷出液，通过利用特殊的墨水或感光性树脂等的功能液，可以期待应用于各种产品的制造领域。
例如，可以考虑利用安装液滴喷头而组成的喷头单元，喷头单元一边相对于叫做滤色器基板的工件移动一边让在液滴喷头的朝下的喷嘴面上开设的喷嘴向工件喷出液滴，以此制造液晶显示装置或有机EL显示装置等的滤色器。
这里，如果比较长时间停止装置，则由于液滴喷头上残留功能液的粘度增加而有可能产生堵塞喷嘴。因此，在描绘装置上配置具有与液滴喷头喷嘴面密接的帽的吸引单元，在描绘作业停止时，有必要由吸引单元从喷嘴吸引清除残留液。另外，如果进行吸引，则由于被吸出的功能液污染喷嘴面，因此，最好是在吸引后，擦拭吸引后的喷嘴面来清除污垢。
因此，现有技术已知的擦拭单元，包括在喷嘴面搭载从下方相对压住擦拭片的按压部件的抹拭单元、经由按压部件输送擦拭片的拭片供给单元，在将擦拭片按压在喷嘴面的状态下，在输送擦拭片的同时让抹拭单元与拭片供给单元一体在与喷嘴面平行的给定擦拭方向上移动，用擦拭片擦拭喷嘴面。
另外，在该单元中，擦拭片几乎水平送入到按压部件，并从形成在按压部件中央的洗涤液喷嘴向送入到按压部件的擦拭片喷出由功能液溶剂组成的洗涤液，使洗涤液渗入擦拭片，可以有效擦拭附着在喷嘴面的功能液。
在这样的现有技术的擦拭单元中，如果输送架上多个液滴喷头宽范围平面分布，则会出现输送架与擦拭单元主体部分之间产生干扰的问题。另外，因为由X轴工作台移动擦拭单元，并且，让液滴喷头(输送架)上、下移动，存在其结构复杂的问题。
有关的情形下，可以考虑在机架上设置擦拭单元，让液滴喷头靠近该单元的结构、并且从下面引入擦拭片的结构。另外，如果考虑多个液滴喷头和擦拭方向重叠或复杂配置的结构，则洗涤液的供给有必要设在擦拭方向胸前侧的一处。
可是，在这样的结构中，面对洗涤液喷出部件的擦拭片的面就成为里面而不是表面(接触于喷嘴面的面)，洗涤液喷出部件在这个里面涂抹洗涤液。因此，为了确保擦拭片对清除物的吸收性，作为擦拭片有必要具有一定程度的厚度，涂抹在擦拭片里面的洗涤液渗入擦拭片表面，需要一定时间。因此，为了使洗涤液遍布在擦拭片表面而提高擦拭性，有必要加大按压部件与洗涤液喷出部件之间的距离，但是如果这样，会增加高价的擦拭片的消费量而增加运行成本。即，擦拭喷嘴面时，由洗涤液喷出部件涂抹了洗涤液的擦拭片部分，在到达按压部件之前，必要空行程输送擦拭片之后，开始擦拭作业，但是，如果按压部件与洗涤液喷出部件之间的距离加大，则，由于空行程输送而无益消费的擦拭片长度变长。
发明内容
本发明的目的在于提供一种提高擦拭性、且尽可能降低擦拭片消费量的液滴喷头的擦拭单元、具备此单元的液滴喷出装置和电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子器械。
本发明的液滴喷头的擦拭单元，包括装有从下面向压液滴喷头向下的喷嘴面压住擦拭片的压力滚轮的抹拭单元、和经由压力滚轮输送擦拭片的拭片供给单元，在将擦拭片压在喷嘴面上的状态下，一边输送擦拭片一边让抹拭单元与拭片供给单元在与喷嘴面平行的给定抹拭方向上一体移动而进行抹拭动作，其特征在于在抹拭单元上，在将擦拭片压在喷嘴面上的状态下在低于与喷嘴面一致的水平面的下方、且相对于压力滚轮位于擦拭片的送入一侧的位置上，搭载洗涤液喷出部件；擦拭片从下面通过压力滚轮与洗涤液喷出部件之间的间隙而送入到压力滚轮；从洗涤液喷出部件向通过间隙的擦拭片喷出洗涤液。
依据上述构成，擦拭片的表面面向洗涤液喷出部件，洗涤液喷出部件喷出的洗涤液涂抹在擦拭片表面。因此，即使把洗涤液喷出部件尽可能配置在压力滚轮的附近，洗涤液也可以遍布在擦拭片表面，可以有效抹拭喷嘴面的污垢。其结果，可以谋求缩短擦拭片的空行程输送距离(由洗涤液喷出部件涂抹洗涤液的擦拭片部分到达压力滚轮为止的输送长度)，可以削减擦拭片的消费量。另外，因为洗涤液喷出部件配置在上述水平面的下方，不会干涉喷嘴面。
然而，有时会按给定方向隔一定间隙并设多列由多个液滴喷头组成的喷头列，这时，使抹拭方向和给定方向相同，使抹拭单元按顺序移动到这些多列喷头列，抹拭属于各喷头列的液滴喷头的喷嘴面。在此，在位于每一个喷头列间的抹拭单元的移动区间中，优选停止擦拭片的输送和洗涤液的喷出。
另外，喷嘴面的抹拭后，使抹拭单元向抹拭方向的反方向后退移动而复归到起始位置，但是，如果此时，擦拭片还是压在喷嘴面的状态，则有擦去的污垢重新附着在喷嘴面的可能。这时，如果抹拭单元可自由升降，在让抹拭单元下降的状态下进行复归，擦除片离开喷嘴面，复归时可以防止在喷嘴面上重新粘附污垢。
另一方面，擦拭片优选由100％的聚酯的布材料和100％的聚丙烯的布材料中的任一个所构成。并且擦拭片的厚度优选为0.4mm至0.6mm。
在该构成中，没有擦拭片纤维的起毛或溶解出纤维中合成物的现象。另外，通过让其具有一定厚度，洗涤液可以适当渗透并保持抹拭动作所必要的量。
本发明的液滴喷出装置，其特征在于具备上述液滴喷头的擦拭单元、液滴喷头、和移动液滴喷头的移动工作台。
依据该构成，利用擦拭单元可以管理液滴喷头喷嘴面的无污垢状态，因此，可以维持稳定的功能液喷出和高描绘精度。
这时，优选还包括与擦拭单元邻接配置并从液滴喷头的所有喷嘴吸引功能液的吸引单元、和使吸引单元以及擦拭单元作为一体移动并分别靠近液滴喷头的移动机构。
依据该构成，由移动机构把吸引单元和擦拭单元作为一体可以移动，因此，使这些保养系的装置更有效面对移动到保养位置的液滴喷头。例如，解除液滴喷头的不良喷出时，不移动液滴喷头，而可以连续进行液滴喷头的功能液吸引和擦拭。
本发明的电光学装置，其特征在于利用上述液滴喷出装置，从液滴喷头向工件喷出功能液滴而形成成膜部。
同样，本发明的电光学装置的制造方法，其特征在于利用上述液滴喷出装置，从液滴喷头向工件喷出功能液滴而形成成膜部。
已经该构成，因为利用清洁管理液滴喷头喷嘴面的液滴喷出装置来制造，可以制造可靠性高的电光学装置。另外，作为电光学装置有液晶显示装置、有机EL(电致发光)装置、电子放出装置、PDP(等离子显示板)装置和电泳动显示装置。另外，电子放出装置是包含所谓FED(场发射显示器)装置的概念。并且，作为电光学装置，可以有金属布线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光扩散体形成等的装置。另外，还有液晶显示装置等的透明电极(ITO)形成的装置。
本发明的电子器械，其特征在于装载有上述电光学装置或者或利用上述电光学装置制造方法所制造的电光学装置。
此时，作为电子器械可以考虑装有所谓平板显示器的手机、个人用电脑以及各种其他电气产品。
图1是实施例的描绘装置的外形立体图。
图2是实施例的描绘装置的正视图。
图3是从图2的右侧观察的实施例描绘装置的侧视图。
图4是省略实施例描绘装置的一部分的俯视图。
图5是包含实施例的擦拭单元的保养机构的立体图。
图6是实施例喷头单元的俯视图。
图7A是实施例喷头单元的立体图，图7B是液滴喷头主要单元的剖面图。
图8是实施例的拭片供给单元的立体图。
图9是实施例的拭片供给单元的俯视图。
图10是从图9的左侧看的实施例的拭片供给单元的正视图。
图11是实施例的抹拭单元的立体图。
图12是实施例的抹拭单元的正视图。
图13是实施例的抹拭单元的XII-XII线剖面图。
图14A是实施例的抹拭单元的示意图，图14B是表示压力滚轮和洗涤液喷头相对于喷嘴面的位置关系的图。
图15是由实施例的擦拭单元进行的表示擦拭作业的时序图。
图16是利用实施例的描绘装置来制造的液晶显示装置的剖面图。
图17是利用实施例的描绘装置来制造的有机EL装置的剖面图。
图中1—描绘装置，21—喷头单元，31—液滴喷头，42—喷嘴，44—喷嘴面，92—擦拭单元，130—擦拭片，131—拭片供给单元，132—擦拭单元，163—压力滚轮，165—洗涤液喷头(洗涤液喷出部件)。
具体实施例方式
下面，结合
本发明的实施例。图1是采用本发明的描绘装置的外形立体图，图2是采用本发明的描绘装置的正视图，图3是采用本发明的描绘装置的右侧视图，图4是采用本发明的描绘装置的省略一部分的俯视图。虽然后面要详细叙述，这个描绘装置1是特殊的墨水或发光性树脂液等的功能液引入到液滴喷头31，在基板等的工件W上，由液滴来形成成膜部的装置。
如图1至图4所示，描绘装置1包括使液滴喷头31一边相对于工件W相对移动一边喷出功能液的描绘机构2、进行液滴喷头31保养的保养机构3、向液滴喷头31供给功能液的同时回收已成为不要的功能液的功能液供给回收机构4、供给用于驱动·控制各个机构的压缩空气的空气供给机构5。并且，这些各个机构是由图外面的控制机构来相互有关联控制。虽然省略图示，除了这些以外，还设有识别工件W位置的工件识别相机或确认描绘机构2的喷头单元21(后面要叙述)位置的喷头识别相机和各种指示器，通过这些控制机构来控制。
如图1至图4所示，描绘机构2配置在石平板12(固定在用角钢材料组成方形框的底座11的上部)的上面；功能液供给回收机构4和空气供给机构5的大部分安装在底座11上增设的机架13里。机架13形成两个大小不同的容纳室14、15；大的容纳室14里容纳功能液供给回收机构4的箱子之类，小的容纳室15里容纳空气供给机构5的主要部分。另外，如图5所示，机架13上设有由电动机16通过球形(牙的形状为球形)螺杆17，在机架13的长度方向(即X轴方向)移动的移动工作台18，在移动工作台18上固定公用机座19，在公用机座19上安装放置相当于保养机构3的构成单元的吸引单元91、擦拭单元92、检测漏点单元93和测定功能液喷出量的接收液滴单元94。
这个描绘装置1是一边利用保养机构3来保养描绘机构2的液滴喷头31一边从功能液供给回收机构4向液滴喷头31供给功能液的同时，液滴喷头31向工件W喷出功能液的装置。另外，功能液是容纳在容纳室14的加压箱子201通过配置在机架13的供应液箱子202向液滴喷头31供给的。下面，说明各个机构。
描绘机构2包括装有多个喷出功能液的液滴喷头31的喷头单元21、支持喷头单元21的主输送架22、和使喷头单元21相对于工件W在主扫描方向(X轴方向)和垂直主扫描方向的副扫描方向(Y轴方向)的两个扫描方向上相对移动的X·Y移动机构23。
如图6以及图7A、图7B所示，喷头单元21是由多个(12个)液滴喷头31、装载液滴喷头31的支输送架51、为了让每一个液滴喷头31的喷嘴面44向下面凸出安装在支输送架51上的喷头保持单元52所组成。十二个液滴喷头31分为每列六个，在主扫描方向(X轴方向)隔一定间隙配置两列30L、30R安装在支输送架51上。另外，为了对工件W确保功能液的充分涂敷密度，液滴喷头31倾斜给定角度配置。一个喷头列30L和另一个喷头列30R的每一个液滴喷头31是对副扫描方向(Y轴方向)相互错位配置，以便副扫描方向中的每一个液滴喷头31的喷嘴42连续(重复一部分)。另外，液滴喷头31作为专用零件构成而对工件W确保功能液的充分涂敷密度时，并没有必要勉强倾斜安装液滴喷头31。
如图6所示，液滴喷头31是所谓双联喷头，包括具有双联接合针33的功能液引入部32、连接在功能液引入部32的双联喷头基板34、连接在功能液引入部32的下方并内部充满功能液的形成喷头内部流路的喷头主体35。各个接合针33通过管路适配接头36连接在功能液供给回收机构4的供液箱子202；功能液引入部32从各个接合针33接收功能液的供给。喷头主体35具有双联泵41和形成多个喷嘴42的有喷嘴面44的喷头板43；液滴喷头31中，由于泵41的作用，从喷嘴42喷出液滴。另外，喷嘴面44上形成由多个喷嘴42组成的两列喷嘴列。
如图5所示，支输送架51包括一部分缺口的主体板53、左右对称设在主体板53的长度方向中间位置的一对基准销54和安装在主体板53的两个长边部分的左右一对的支持部件55。一对基准销54是图像识别为前提，成为在X轴、Y轴和θ轴方向上定位支输送架51(喷头单元21)的基准。支持部件55成为把喷头单元21固定在主输送架22时的固定部位。另外，在支输送架51设有连接每一个液滴喷头31和供应液箱子202的管道接头56。管道接头56在一端连接管道适配接头36(与每一个液滴喷头31(的接合针33)连接)的喷头侧管道部件，另一端具有为了连接供应液箱子202的装置一侧管道部件的十二个管座。
如图3所示，主输送架22由从下面固定在桥路板82的外形为[I]形的吊挂单元61、安装在吊挂单元61下面的θ工作台62、吊挂安装在θ工作台62下面的输送架主体63所构成。输送架主体63上有间隙配合喷头单元21的方形孔，定位固定喷头单元21。
如图1至图3所示，X·Y移动机构23是固定在上述的石平板12，主扫描(X轴方向)工件W的同时，通过主输送架22使喷头单元21进行副扫描(Y轴方向)的机构。X·Y移动机构23包括轴线和石平板12长度方向中心线一致而固定的X轴工作台71、横跨X轴工作台71轴线和石平板12短边方向中心线一致而固定的Y轴工作台81。
X轴工作台71由空气吸引来吸附安装工件W的吸附工作台72、支持吸附工作台72的θ工作台73、使θ工作台73在X轴方向滑动自由地支承的X轴气动滑块74、通过θ工作台73使吸附工作台72上的工件W向X轴方向移动的X轴线性电动机(省略图示)、并设在X轴气动滑块74的线性刻度尺75所构成。液滴喷头31的主扫描是由于线性电动机的驱动，吸附工件W的吸附工作台72和θ工作台73以X轴气动滑块74为向导，在X轴方向的往复移动来进行。
Y轴工作台81包括吊挂主输送架22的桥路板82、两边支承桥路板82并在Y轴方向滑动自由的一对Y轴滑块83、设在Y轴滑块83的Y轴线性刻度尺84、一对Y轴滑块83为向导使桥路板82向Y轴方向移动的Y轴球形螺杆85和正反向转动Y轴球形螺杆85的Y轴电动机(省略图示)。Y轴电动机由伺服电动机来构成，如果Y轴电动机正、反向转动，则通过Y轴球形螺杆85、螺纹联接在此的桥路板82以一对Y轴滑块83为向导，在Y轴方向移动。即，伴随桥路板82的移动，主输送架22(喷头单元21)进行Y轴方向的往复移动而进行液滴喷头31的副扫描。另外，图4中省略了Y轴工作台81和θ工作台73。
这里，简单说明描绘机构2的一系列动作。首先，作为向工件W喷出功能液的描绘作业前的准备，依靠喷头识别相机来进行喷头单元21位置矫正之后，利用工件识别相机来进行安装在吸附工作台72的工件W的位置矫正。其次，利用X轴工作台71使工件W在主扫描(X轴)方向上往复移动的同时，驱动多个液滴喷头31，对工件W进行液滴的选择性的喷出动作。然后，后退移动工件W后，利用Y轴工作台81使喷头单元21向副扫描方向(Y轴)移动，再度进行工件W的主扫描方向的往复移动和驱动液滴喷头31。另外，本实施例中虽然是相对于喷头单元21工件W做主扫描方向的移动，也可以构成为使喷头单元21做主扫描方向的移动。另外，也可以构成为固定工件W，使喷头单元21做主扫描方向和副扫描方向的移动。
下面，说明保养机构3的各构成单元。保养机构3大体上由上述的公用机座19上的吸引单元91、擦拭单元92、检测漏点单元93和接收液滴单元94所构成。在停止描绘作业时，喷头单元21移动到机架13上方的保养位置，在这个状态，通过移动工作台18移动公用机座19的方法，把吸引单元91、擦拭单元92和接收液滴单元94选择性地接近喷头单元21的正下方。
吸引单元91强制性从液滴喷头31吸引功能液的同时，具有接收液滴喷头31所喷出的功能液的冲洗槽的功能。吸引单元91具有当公用机座19(移动工作台18)位于起始位置(图4、图5所示位置)时，面对位于保养位置的喷头单元21正下方的升降自由的帽单元101。
帽单元101是与装在喷头单元21的十二个液滴喷头31的配置相对应，把十二个帽102配置在帽座103的单元；是每一个帽102可以密接在对应的液滴喷头31的结构。
向喷头单元21的液滴喷头31充填功能液时或清除液滴喷头31内部的增大粘度后的功能液时，使每一个帽102密接在液滴喷头31的喷嘴面44，进行泵吸引，把吸引的功能液回收在容纳室14的再利用箱子203。另外，装置的非运转时，使每一个帽102密接在液滴喷头31的喷嘴面44，进行液滴喷头31的维护(防止功能液的干燥)。并且，由于更换工件，停止描绘作业时，使每一个帽102稍微离开液滴喷头31的喷嘴面44，进行冲洗(预备喷出)。
这里，液滴喷头31的冲洗动作(预备喷出)是在描绘作业中也进行的。因此，在X轴工作台71的θ工作台73上设有带有一对冲洗槽95aa的、夹住吸附工作台71而固定的冲洗单元95(参照图4)。主扫描时，因为冲洗槽95a和θ工作台73一起移动，没有必要为了冲洗动作而专门移动喷头单元21。即，因为冲洗槽95a和工件W一起向喷头单元21移动，可以从靠近冲洗槽95a的液滴喷头31的喷嘴42按顺序进行冲洗动作。另外，冲洗槽95a所接收的功能液积存在容纳室14里配置的废液箱子204。另外，在石平板12的机架13的另一侧的侧面，配置具有与喷头单元21的两个喷头列30L、30R对应的带有一对冲洗槽96a的预备冲洗单元96。
检测漏点单元93是检测液滴喷头31的所有喷嘴42是否确实喷出液滴，即检测液滴喷头31是否发生堵塞的单元。检测漏点单元93由与喷头单元21的两个喷头列30L、30R对应设置的一对光学式检测器111L、111R所构成。每一个检测器111L、111R是使激光二极管等的发光元件112和受光元件113互相面向，喷出的液滴是否遮断两个元件112与113之间的光路来检测漏点(不良喷出)的。并且，为了每一个喷头列30L、30R的液滴喷头31通过每一个检测器111L、111R的正上方，使喷头单元21一边向Y轴方向移动一边让每一个喷嘴42按顺序喷出液滴，进行漏点的检查。
接收液滴单元94是使用于喷头单元21为单位测定液滴喷出量(重量)的单元，包括当公用机座19从起始位置移动到图4、图5左侧时，按照到达位于保养位置的喷头单元21正下方那样配置的装载放置台121；和装载放置台121上并与喷头单元21的十二个液滴喷头31相适应装载放置的十二个接收容器122。测定液滴喷出量时，从每一个液滴喷头31向每一个接收容器122喷出给定次数的液滴之后，把每一个接收容器122转放在图外的电子天平来测定每一个接收容器122内的液滴重量。
擦拭单元92是利用擦拭片130(参照图14)来擦拭由于液滴喷头31的吸引(清洗)而引起的功能液附着来弄脏的液滴喷头31的喷嘴面44的单元，包括各自独立构成的拭片供给单元131和抹拭单元132。这些拭片供给单元131和抹拭单元132是在公用机座19上使抹拭单元132位于吸引单元91侧的位置状态，在X轴方向上排列配置；由于移动工作台18的面向位于保养位置的喷头单元21的运动，抹拭单元132和拭片供给单元131作为一体，向作为擦拭方向的X轴方向(图4、图5的右方)移动，对喷头单元21的十二个所有液滴喷头31的喷嘴面44进行擦拭。
如图8、图9和图10所示，拭片供给单元131包括在Y轴方向一个侧边竖立安装的架141上可拆装地安装在悬臂轴上的上面输送轮142和下面的卷绕轮143；以及卷绕转动卷绕轮143的卷绕电动机144。另外，支架145固定在架141的上面，在这个支架145上面，两侧支承速度检测滚筒146和导向滚筒147，以便位于输送轮142的前方位置。这些构成零件的下面，配置接收洗涤液的洗涤液盆148。
输送轮142里插入滚筒状的擦拭片130，输送轮142所输送的擦拭片130通过速度检测滚筒146和导向滚筒147送入到抹拭单元132。卷绕轮143与卷绕电动机144之间，套装齿形皮带149，由卷绕电动机144转动卷绕轮143来卷绕擦拭片130。
虽然后面要叙述，在抹拭单元132上装有输送擦拭片130的电动机(送入电动机164)；输送轮142利用安装在这里的扭矩限制器150来抵抗送入电动机164而制动转动。速度检测滚筒146是自由转动的上、下两个滚筒146a、146b所构成的夹式滚筒，设在这里的速度检测器151来控制卷绕电动机144。即，输送轮142是在拉擦拭片130的状态来送出，卷绕轮143是卷绕擦拭片130，以免发生松弛。
另外，在输送轮142与速度检测滚筒146之间的拭片输送路部分的下面，配置光学式拭片检测器152，由拭片检测器152检测出输送轮142所输送的擦拭片130末端通过时，提出交换输送轮142和卷绕轮143的指令。
如图11、图12和图13所示，抹拭单元132包括Y轴方向两侧竖立设置的一对立柱161、161之间可以自由升降支承的升降框162、升降框162的两边可以自由转动支承的压力滚轮163、转动驱动压力滚轮163的送入电动机164和向送入到压力滚轮163的擦拭片130供给功能液溶剂组成的洗涤液的洗涤液喷头(洗涤液喷出部件)165。
升降框162的Y轴方向两侧，垂直设有一对支脚166，使每一个支脚166在安装在每一个立柱161的内侧面的导向杆167上自由上、下运动配合。然后，每一个立柱161的底座部位里竖立设置气缸168，将其活塞杆168a联接在每一个支脚166，依靠气缸168的动作，可以使升降框162和支承在这些的压力滚轮163或洗涤液喷头165升降。
压力滚轮163是由送入电动机164通过齿形皮带169来转动驱动的。另外，在升降框162上，沿着压力滚轮163的下面，利用轴来支承压送轮170，如图14A所示，从压力滚轮163向卷绕轮143输送的擦拭片130的部分被夹在压送轮170之间，不发生擦拭片130对压力滚轮163的打滑，用压力滚轮163的转动，把擦拭片130可靠地送入到压力滚轮163。
压力滚轮163是轴部163a的外周套装橡胶等弹性体163b的弹性滚轮。并且，将抹拭单元132(升降框162)提升到上升端位置状态，围绕压力滚轮163转的擦拭片130的最上部位置稍微高于安装在喷头单元21的液滴喷头31的喷嘴面44，由于擦拭单元132的X轴方向一个方向的前进移动，压力滚轮163横穿过喷嘴形成面44的正下方时，擦拭片130和压力滚轮163被压缩向下，依靠其弹性恢复力擦拭片130压在喷嘴面44(参照图14B)。
洗涤液喷头165配置在相对于压力滚轮163位于擦拭片130的送入一侧，并近距离面向压力滚轮163。并且，如图14A所示，使经由上述的导向滚筒147输送过来的擦拭片130，从下面通过压力滚轮163与洗涤液喷头165之间的间隙，送入到压力滚轮163。这里，面向洗涤液喷头165的压力滚轮163侧的前面部分里，多个喷嘴孔(图中未示)适应擦拭片130的宽度横向排列，另一方面，在洗涤液喷头165的后面，设有多个管路用接头171。
另外，容纳室14里容纳洗涤液箱子205的同时，在公用机座19上配置位于拭片供给单元131的前面侧方位置的配置管道用分配盘172(参照图5)。并且，从洗涤液箱子205经过分配盘172和接头171向洗涤液喷头165供给洗涤液，洗涤液喷头165的喷嘴孔对通过压力滚轮163与洗涤液喷头165之间间隙的擦拭片130喷出洗涤液。
这里，擦拭片130由受洗涤液溶剂的溶出影响比较少的100％的聚酯或100％的聚丙烯的擦拭材料(布材料)，为了确保擦拭污垢的吸收性，其厚度最好是0.4mm以上(优选0.4mm～0.6mm)。此时，如果从擦拭片130的里面涂抹洗涤液，则，洗涤液渗入到擦拭片130的表面(与喷嘴面44接触的面)需要时间。
因此，为了洗涤液遍布擦拭片130的表面而有效擦拭喷嘴面44的污垢，有必要加长压力滚轮163与洗涤液喷头165之间距离。因此，擦拭喷嘴面44时，洗涤液喷头165来涂抹洗涤液的擦拭片130部分到达压力滚轮163为止，使擦拭片130空行程输送，之后，开始擦拭作业的必要，如果加长压力滚轮163与洗涤液喷头165之间距离，则，由于空行程输送而浪费的擦拭片的长度变长。
与此相反，使擦拭片130从下面通过压力滚轮163与洗涤液喷头165之间间隙的本实施例中，擦拭片130的表面面向洗涤液喷头165，洗涤液喷头165喷出的洗涤液直接涂抹在擦拭片130的表面。因此，即使是洗涤液喷头165尽可能靠近配置在压力滚轮163的附近，使洗涤液遍布在擦拭片130的表面，可以有效擦拭喷嘴面44的污垢。其结果，可以尽可能缩短擦拭片130的空行程输送长度(利用洗涤液喷头165涂抹洗涤液的擦拭片130的部分到达压力滚轮163最上部为止的输送长度)，可以减少擦拭片130的消费量。
另外，为了不干涉喷嘴面44，洗涤液喷头165，在擦拭片130被压在喷嘴面44状态，配置在喷嘴面44所在水平面H(参照图14B)的下方。另外，位于压力滚轮163的下方位置，在升降框162上也设置洗涤液盆173，和拭片供给单元131的洗涤液盆148一起可以接收擦拭片130滴出的洗涤液。
下面，结合图15说明利用擦拭单元92的喷嘴面44的擦拭作业顺序。如果结束了吸引单元91对喷头单元21的液滴喷头3 1的吸引，则由于移动工作台18用电动机16的动作，使抹拭单元132和拭片供给单元131作为一体，从起始位置向位于保养位置的喷头单元21，向X轴方向做前进移动。如果压力滚轮163移动到喷头单元21的一个喷头列30L的液滴喷头31正前(图15的t1时刻)，则，暂停抹拭单元132前进移动，由气缸168的动作来使抹拭单元132提升到上升端位置。
提升之后，重新开始抹拭单元132的前进移动，同时，驱动卷绕电动机144和输送电动机164，开始擦拭片130的输送，同时开始洗涤液喷头165的洗涤液喷出。根据这样的结构，压力滚轮163到达喷头列30L的液滴喷头31喷嘴面44时刻为止(图15的t2时刻)，结束空行程输送，在表面上遍布洗涤液的状态，擦拭片130压在喷嘴面44，开始喷嘴面44的擦拭。以后，压力滚轮163沿着喷嘴面44横穿过喷嘴面前进的同时，由于擦拭片130的输送，向喷嘴面44接触部分总是供给新的拭片，可以有效擦拭喷嘴面44的污垢。
如果压力滚轮163结束横穿过喷头列30L的所有液滴喷头31的喷嘴面44(图15的t3时刻)，则在继续抹拭单元132的前进移动的状态，暂停擦拭片130的输送和洗涤液喷出，然后，压力滚轮163移动到喷头单元21的另一个喷头列30R的液滴喷头31的正前时(图15的t4时刻)，重新开始擦拭片130的输送和洗涤液的喷出，压力滚轮163到达喷头列30R的液滴喷头31喷嘴面44时刻(图15的t5时刻)为止，结束空行程输送，和上述同样，进行喷头列30R的液滴喷头31喷嘴面44的擦拭。这样，位于一个喷头列30L和另一个喷头列30R之间的抹拭单元132的移动区间中，停止擦拭片130的输送和洗涤液的喷出，从而可以防止擦拭片130和洗涤液的浪费。
如果压力滚轮163结束横穿过喷头列30R的所有液滴喷头3 1的喷嘴面44(图15的t6时刻)，在继续抹拭单元132的前进移动的状态，暂停擦拭片130的输送和洗涤液的喷出，与此同时，停止抹拭单元132的前进移动，下降抹拭单元132。然后，下降后，使抹拭单元132向X轴方向的另一方做后退移动，回到起始位置。这样，因为下降抹拭单元132的状态进行后退移动，移动时，擦拭片130不接触喷嘴面44，可以防止被擦拭的污垢重新附着在喷嘴面44。
另外，上述的本实施例中，拭片供给单元131和抹拭单元132是个别独立构成，但是，也可以将拭片供给单元131和抹拭单元132组成一体，让拭片供给单元131和抹拭单元132作为一体升降。
下面，对上述的描绘装置1适用于液晶显示装置的情形，进行说明。图16是表示液晶显示装置301的断面结构。如图16所示，液晶显示装置301由以玻璃基板321为主体，面对形成了透明导电膜(ITO膜)322和取向膜323的上基板311和下基板312、在这个上基板311与下基板312之间安装的多个隔片331、密封上基板311和下基板312的密封件332、充填在上基板311和下基板312之间的液晶333所构成，与此同时，在上基板311的背面，层叠相位基板341和偏振片342，并且，在下基板312的背面，层叠偏振片342b和背光装置343。
在平常的制造工艺中，各自进行透明导电膜322的图案形成和取向膜323的涂敷而分别制作上基板311和下基板312之后，下基板312里制作装入隔片331和密封件332，在这个状态，粘合上基板311。然后，从密封件332的注入口注入液晶333并封闭注入口。再后，层叠相位基板341、两个偏振片342a、342b和背光装置343。
实施例的描绘装置1可以在隔片331的形成和液晶333的注入中利用。具体讲，作为功能液，引入构成单元间隙的隔片材料(例如，紫外线硬化树脂或热硬化树脂)或液晶，把这些均匀喷出(涂敷)在给定的位置。首先，环状印刷有密封件332的下基板312设置在吸附工作台上，在这个下基板312上，以粗糙的间隔喷出隔片材料，照射紫外线而凝固隔片材料。接着，下基板312的密封件332的内侧均匀喷出注入给定量的液晶333。然后，将别的途径准备的上基板311和涂敷给定量液晶的下基板312引入到真空中，进行粘合。
这样，因为粘合上基板311和下基板312之前，把液晶333均匀涂敷(充填)在单元中，可以解除液晶333不遍布到单元的角落等细部的不良现象。
另外，作为功能液(密封件材料)通过采用紫外线硬化树脂或热硬化树脂，可以利用描绘装置1来进行上述密封件332的印刷。同样，作为功能液(取向膜材料)引入聚酰亚胺，可以利用描绘装置1来可以制作取向膜323。利用本实施例的描绘装置1来还可以形成透明导电膜322。
这样，液晶显示装置301的制造上利用描绘装置1时，因为可以可靠擦拭液滴喷头31的喷嘴形成面44的污垢，可以防止喷嘴形成面44的污垢落到工件上而产生不良产品的情况。
然而，上述描绘装置1除了搭载在手机、个人用电脑等的电子器械上的上述液晶显示装置301以外，还可以在各种电光学装置(器件)的制造中使用。即，可以在有机EL装置、FED装置、PDP装置和电泳动显示装置的制造中适用。
简单说明在有机EL装置制造上应用上述描绘装置1的例子。
如图17所示，有机EL装置401是在由基板421、电路元件部422、像素电极423、储存格(bank)部424、发光元件425、阴极426(对置电极)和封闭用基板427所构成的有机EL元件411上连接可挠性基板(图中未示)的布线和驱动集成电路(图中未示)的装置。电路元件部422形成在基板421上，多个像素电极423定位排列在电路元件部422上。并且，每一个像素电极423之间以格子状形成储存格部424，由储存格部424形成的凹部开口431上形成发光元件425。阴极426形成在储存格部424和发光元件425的上部全面上，在阴极426上层叠密封用基板427。
有机EL装置401制造工艺中，预先形成有电路元件部422和像素电极423的基板421(工件W)上的给定位置上形成储存格部424之后，为了适当形成发光元件425进行等离子处理，其后，形成发光元件425和阴极426(对置电极)。然后，阴极426上层叠密封用基板427而封闭，获得有机EL元件411之后，把这个有机EL元件411的阴极426与可挠性基板的布线连接，同时电路元件部422的布线与驱动集成电路连接，这样制造有机EL装置401。
描绘装置1还利用于发光元件425的形成。具体讲，在液滴喷头31里引入发光元件材料(功能液)，已形成储存格部424的基板421的对应于像素电极423的位置上喷出发光元件材料并进行干燥，由此形成发光元件425。另外，在上述的像素电极423或阴极426的形成中，也可以通过分别利用对应的液体材料，利用描绘装置1来制作。
另外，例如，在电子放出装置的制造方法中，在多个液滴喷头31里引入R、G、B颜色的荧光材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出荧光材料，电极上形成多个荧光体。
在PDP装置的制造方法中，在多个液滴喷头31里引入R、G、B颜色的荧光材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出荧光材料，在背面基板上的多个凹部中分别形成荧光体。
在电泳动显示装置的制造方法中，在多个液滴喷头31里引入R、G、B颜色的荧光材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出泳动体材料，在电极上的多个凹部上分别形成多个荧光体。另外，由带电粒子和染料组成的泳动体最好是封入在微胶囊里。
另外，作为其他的电光学装置，可以考虑金属布线形成、透镜形成、抗蚀剂形成和光扩散体形成等的装置，本实施例的液滴喷出装置1也可以适用于这些装置的各种制造方法。
例如，金属布线形成方法中，在多个液滴喷头31里引入液状金属材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出液状金属材料，基板上形成金属布线。例如，适用于上述液晶显示装置中的连接驱动器和各个电极的金属布线或上述有机EL装置中的连接TFT(ThinFilm Transisor薄膜晶体管)等和各个电极的金属布线，可以制造这些设备。另外，除了平板显示器以外，当然可以适用于一般的半导体制造技术。
在透镜的形成方法中，在多个液滴喷头31里引入透镜材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出透镜材料，在透明基板上形成多个微小透镜。例如，可以适用于上述FED装置的射线聚束用设备的制造场合。另外，也可以适用于各种光学器件的制造技术。
在透镜的制造方法中，在多个液滴喷头31里引入透光性涂覆材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出涂覆材料，在透镜表面形成涂覆膜。
在抗蚀剂的形成方法中，在多个液滴喷头31里引入抗蚀剂材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出抗蚀剂材料，在基板上形成任意形状的光致抗蚀剂。例如，上述各种显示装置的储存格的形成，原来就是成为半导体制造技术主体的光刻法中广泛适用于光致抗蚀剂的涂敷。
在光扩散体形成方法中，在多个液滴喷头31里引入光扩散材料，使多个液滴喷头31进行主扫描和副扫描，选择性地喷出光扩散材料，在基板上形成多个光扩散体。此时，当然可以适用于各种光学器件。
这样，在液滴喷出装置1里引入多种功能液的可能性，但是，把上述的液滴喷出装置1利用于各种电光学装置(器件)的制造，可以高精度、且稳定制造出电光学装置。
如上所述，根据本发明的擦拭单元和具备此单元的液滴喷出装置，不损失对液滴喷头的擦拭性且可以尽可能缩短擦拭片的空行程输送长度，可以削减运行成本。
根据本发明的电光学装置及其制造方法和电子器械，因为利用清洁管理液滴喷头的液滴喷出装置来制造，可以提供可信度高的高质量的电光学装置和电子器械。
权利要求
1.一种液滴喷头的擦拭单元，包括装有从下面向压液滴喷头向下的喷嘴面压住擦拭片的压力滚轮的抹拭单元、和经由所述压力滚轮输送所述擦拭片的拭片供给单元，在将所述擦拭片压在所述喷嘴面上的状态下，一边输送所述擦拭片一边让所述抹拭单元与所述拭片供给单元在与所述喷嘴面平行的给定抹拭方向上一体移动而进行抹拭动作，其特征在于在所述抹拭单元上，在将所述擦拭片压在所述喷嘴面上的状态下在低于与所述喷嘴面一致的水平面的下方、且相对于所述压力滚轮位于所述擦拭片的送入一侧的位置上，搭载洗涤液喷出部件；所述擦拭片从下面通过所述压力滚轮与所述洗涤液喷出部件之间的间隙送入到所述压力滚轮；从所述洗涤液喷出部件向通过所述间隙的所述擦拭片喷出洗涤液。
2.根据权利要求1所述的液滴喷头的擦拭单元，其特征在于按给定方向隔一定间隙并设多列由多个所述液滴喷头组成的喷头列，使所述抹拭方向和所述给定方向相同，使所述抹拭单元按顺序移动到这些多列喷头列，抹拭属于各喷头列的液滴喷头的喷嘴面；位于所述每一个喷头列间的所述抹拭单元的移动区间中，停止所述擦拭片的输送和所述洗涤液的喷出。
3.根据权利要求1所述的液滴喷头的擦拭单元，其特征在于所述抹拭单元可自由升降，抹拭所述喷嘴面之后，让所述抹拭单元下降的状态，向所述抹拭方向的反方向后退移动。
4.根据权利要求1所述的液滴喷头的擦拭单元，其特征在于所述擦拭片由100％的聚酯片材料和100％的聚丙烯片材料中的任一个所构成。
5.根据权利要求4所述的液滴喷头的擦拭单元，其特征在于所述擦拭片的厚度为0.4mm至0.6mm。
6.一种液滴喷出装置，其特征在于具备权利要求1所述的液滴喷头的擦拭单元、所述液滴喷头、和移动所述液滴喷头的移动工作台。
7.根据权利要求6所述的液滴喷出装置，其特征在于还包括与所述擦拭单元邻接配置并从所述液滴喷头的所有喷嘴吸引功能液的吸引单元、和使所述吸引单元以及所述擦拭单元作为一体移动并分别靠近所述液滴喷头的移动机构。
8.一种电光学装置，其特征在于利用权利要求6所述的液滴喷出装置，从所述液滴喷头向工件喷出功能液滴而形成成膜部。
9.一种电光学装置的制造方法，其特征在于利用权利要求6所述的液滴喷出装置，从所述液滴喷头向工件喷出功能液滴而形成成膜部。
10.一种电子器械，其特征在于装载权利要求8所述的电光学装置。
11.一种电子器械，其特征在于装载由权利要求9所述的电光学装置的制造方法所制造的电光学装置。
全文摘要
本发明提供一种擦拭液滴喷头的喷嘴形成面的擦拭单元，可以提高擦拭性，同时可以削减拭片消耗量。在抹拭单元(132)上，在低于与喷嘴面(44)一致的水平面(H)的下方，并且位于向压力滚轮(163)送入拭片一侧，配置洗涤液喷出部件(165)。让擦拭片(130)从下面通过压力滚轮(163)与洗涤液喷出部件(165)之间间隙，送入到压力滚轮(163)在擦拭片(130)的表面上涂敷洗涤液。
文档编号H05B33/10GK1509878SQ20031012312
公开日2004年7月7日 申请日期2003年12月19日 优先权日2002年12月20日
发明者中村真一 申请人:精工爱普生株式会社