一种热场中心轴线对称的装置的制作方法

文档序号:8028873阅读:184来源:国知局
专利名称:一种热场中心轴线对称的装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及晶体生长技术领域,属于一种用于熔体中晶体生长的热场装置。
背景技术
熔体中晶体的生长,将热场中央坩埚装有的固体原料融化为熔体,然后将设置在热场中心轴线上的籽晶下降,插入熔体中,合适的条件下,籽晶和熔体良好的接触,晶体按籽晶晶向进行生长,生长的晶体质量直接受热场中心轴线对称程度的影响,而目前使用的圆筒形加热器,不能满足采用热交换法等从熔体中生长高温晶体的热系统对温场轴对称的严格要求,所以,生长高质量的晶体需要对热场的轴对称性进行改进。

发明内容
本实用新型的目的是提供一种热场中心轴对称的装置,其可以明显提高加热器内热场的中心轴对称性,形成符合晶体生长要求的轴对称温场,以提高晶体的生长质量。
为实现上述目的,本实用新型采取以下设计方案一种热场中心轴线对称的装置,它包括有一个筒形的加热器,在筒形加热器的中央设置有一个坩埚,其特征在于在筒形加热器和坩埚的之间设置有一个中心轴线对称性很好的内筒。
所述的内筒的材料是导热性良好、耐高温、对坩埚内的生长晶体无污染的材料。
所述的内筒的材料是石墨或是钨等高温热导材料。
由于在筒形加热器和坩埚的之间设置了一个中心轴线对称性很好的内筒,内筒外部轴对称性不好的热场,通过内筒时,在内筒的筒体内表面形成一个等温面,使坩埚内的熔体得到一个中心轴线对称性很好的热场。
本实用新型的优点是结构简单、使用方便,可提高晶体生长热场的中心轴线对称性,从而提高了晶体的成晶率和晶体的质量。


图1为本实用新型的主视结构示意图图2为本实用新型的俯视结构示意图图3为本实用新型的主视剖视结构示意图具体实施方式
参见图1、图2、图3所示一种热场中心轴线对称的装置,它包括有一个筒形的加热器1,用石墨材料制成,在下部两端有电极接头2,在筒形加热器1的中部设置有一个坩埚3,在筒形加热器1和坩埚3的之间设置有一个中心轴线对称性很好的内筒4。
所述的内筒4的材料是导热性良好、耐高温、对坩埚内的生长晶体无污染的石墨或是钨等高温材料制成。
由于在筒形加热器1和坩埚3之间设置了一个中心轴线对称性很好的内筒4,使内筒4外部不太均匀和中心轴线对称性不好的热场,通过内筒4时,在内筒4的筒体内形成一个等温面,使坩埚内的熔体得到一个中心轴对称性很好的热场,在晶体生长时,沿籽晶5的晶向往熔体6内四周结晶生长,从而提高了晶体的成晶率和晶体的质量。
权利要求1.一种热场中心轴线对称的装置,它包括有一个筒形的加热器(1),在筒形加热器的中部设置有一个坩埚(3),其特征在于在筒形加热器和坩埚的之间置有一个中心轴对称性很好的高热导内筒(4)。
2.根据权利要求1所述的热场中心轴线对称的装置,其特征在于所述的内筒的材料是导热性良好、耐高温、对坩埚内的生长晶体无污染的材料。
3.根据权利要求2所述的热场中心轴线对称的装置,其特征在于所述的内筒的材料是石墨或钨高温热导材料。
专利摘要一种热场中心轴线对称的装置,它包括有一个筒形的加热器,在筒形加热器的中央置有一个坩埚,其特点是,在筒形加热器和坩埚的之间设置有一个中心轴线对称性很好的内筒。所述的内筒的材料是导热性良好、耐高温、对所生长晶体无污染的石墨或钨等高温材料。由于在筒形加热器和坩埚之间设置了一个中心轴线对称性很好的内筒,大大提高了温场的轴对称性,内筒可看成一个二级发热体,内筒的筒体内表面形成一个等温面,因而内筒内轴对称性大大改善,使坩埚内的熔体得到一个中心轴线对称性很好的热场。本实用新型的优点是结构简单、使用方便,可提高晶体生长热场的中心轴线对称性,从而提高了晶体的成晶率和晶体的质量。
文档编号C30B15/00GK2848884SQ200520145338
公开日2006年12月20日 申请日期2005年12月21日 优先权日2005年12月21日
发明者黎建明, 苏小平, 余怀之, 杨海, 霍承松, 李楠 申请人:北京有色金属研究总院, 北京国晶辉红外光学科技有限公司
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