专利名称：倾倒式多晶硅真空拉锭炉的制作方法
技术领域：
本发明属于真空冶炼行业领域，特别是一种在真空状态下冶炼后直接倒入 拉锭机构进行拉锭的设备。
技术背景目前的真空冶炼炉由于高温阀门的难以设计和控制，往往无法实现在真空 状态下冶炼和拉锭体化，本发明将冶炼炉设计成可倾到的方式，既解决了制 造真空高温阀门的高额成本和难度，又操作方便。 发明内容本发明主要是将真空冶炼炉设计成可倾倒式，在冶炼炉的两侧设计两根转 动轴， 一头连接在真空炉体的外部与减速机相连接，减速机的转速通过红外线探测仪与自动控制PLC系统相连接，当冶炼的倾倒液面升高时，由红外线探测 仪通知PLC停止倾倒。反之倾倒运行，从而来实现自动倾倒拉锭的目的。
具体实施方式
该设备主要有水冷双壁炉体、感应加热系统、坩埚、坩埚和感应线圈倾倒转 动系统、拉锭机构、和电控系统等组成。当多晶硅在真空炉内冶炼完毕后，通 过坩埚和线圈倾倒转动系统将冶炼液体根据流量的需要将冶炼溶液慢慢倾倒致 拉锭机构的漏斗内，通过水冷却系统，将多晶硅拉锭成型。
权利要求
1.在真空状态将熔炼好的多晶硅直接倒入拉锭机构进行拉锭成型。
全文摘要
倾倒式多晶硅真空拉锭炉属于真空冶炼行业领域，特别是一种在真空状态下冶炼后直接倒入拉锭机构进行拉锭的设备。该设备主要是将真空冶炼炉设计成可倾倒式，在冶炼炉的两侧设计两根转动轴，一头连接在真空炉体的外部与减速机相连接，减速机的转速通过红外线探测仪与自动控制PLC系统相连接，当冶炼的倾倒液面升高时，由红外线探测仪通知PLC停止倾倒。反之倾倒运行，从而来实现自动倾倒拉锭的目的。其结构主要有水冷双壁炉体、感应加热系统、坩埚、坩埚和感应线圈倾倒转动系统、拉锭机构、和电控系统等组成。当多晶硅在真空炉内冶炼完毕后，通过坩埚和线圈倾倒转动系统将冶炼液体根据流量的需要将冶炼溶液慢慢倾倒致拉锭机构的漏斗内，通过水冷却系统，将多晶硅拉锭成型。
文档编号C30B15/00GK101250748SQ200710190889
公开日2008年8月27日 申请日期2007年11月29日 优先权日2007年11月29日
发明者李荣华 申请人:苏州市万泰真空炉研究所有限公司