专利名称：链式扩散设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池制造设备，尤其涉及链式扩散设备。
背景技术：
磷扩散广泛应用于晶体硅电池的生产工艺中。掺杂微量磷到硅片表面可形成晶体 硅电池的PN结。这一工艺通过两个工艺过程来实现首先，在硅片正面沉积磷蒸汽或涂敷 磷涂层；然后，将硅片在800°c iooo°c的温度范围内进行热处理来使磷扩散进硅片形成 PN结。上述工艺过程通常是在间歇操作式的管状炉或连续作业的链式扩散设备中完成。与 间歇式炉相比，链式扩散设备的均勻性好、碎片率低、产能更高、所需的工艺时间短，而且连 续式扩散的成本只有管状炉扩散的三分之一。由此，链式扩散设备在业界的使用日益受到青睐。链式扩散设备的使用，就上料过 程而言，操作人员需要从放置在物料台上的承载盒内取出硅片，放置到放片区，进而通过放 片区将硅片传送到链式扩散设备的网带；而下料过程，操作人员需要直接从网带上取硅片， 然后将硅片插入承载盒内，所述承载盒放置在物料台上。图1所示为现有链式扩散设备示意图。如图所示，操作人员的上料操作空间是在 链式扩散设备四个侧面区域中的A区域13中，A区域13与链式扩散设备10的放片单元14 相对；物料台12设置在链式扩散设备四个侧面区域中的B区域15。上料过程中，操作人员 需要从A区域13进入到B区域15，再从物料台12的承载盒中取得硅片，然后回到A区域 13，将硅片放置到放片单元14，通过该放片单元14将硅片送入链式扩散设备12的网带16。 可见，现有的链式扩散设备的上料结构需要操作人员碾转于链式扩散设备的两个不同侧面 区域，增加了操作人员的劳动强度且降低了产量。此外，当前链式扩散设备的上料结构中， 物料台的面积较小，一般只能放下一个承载盒，所以操作人员在取完一盒中的片子后，就得 再从传递窗取一个承载盒放至物料台上。继续参考图1，如图所示，链式扩散设备10的四个侧面区域的C区域23为操作人 员的下料操作空间，其中C区域23与A区域13是相对应的。操作人员通过网带16接收已 经过扩散处理的硅片，并从C区域23进入到B区域15，以便将硅片插入放置在下料台24上 的承载盒中。与上料结构一样，当前的下料台同样只能放置一个承载盒，所以操作人员在放 满一个承载盒后，就得再取一个承载盒放到下料台上。由于下料台设置在B区域15或D区 域，而未设置在操作人员直接面对的C区域23中，使得操作人员为完成下料操作，不得不碾 转于链式扩散设备的两个不同侧面区域，增加了操作人员的劳动强度且降低了产量。综上，可见当前链式扩散设备还存在有待改进之处。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供链式扩散设备，其包括包括链式扩散设备本体，该链式 扩散设备本体进片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第一物料台。优选地，该第一物 料台为上料台。优选地，该第一物料台横向设置在网带上方，其至少容纳两个承载盒。[0008]本实用新型还提供一种链式扩散设备，其包括链式扩散设备本体，该链式扩散设 备本体出片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第二物料台。优选地，该链式扩散设备 本体出片侧设置有接片台，该接片台与该链式扩散设备本体中的网带相邻接，且与该网带 平齐或略低于该网带；该第二物料台横向设置在网带上方且至少容纳两个承载盒，该第二 物料台为下料台。本实用新型另外还提供一种链式扩散设备，其包括链式扩散设备本体，该链式扩 散设备本体进片侧的网带上方设置用于放置承载盒的第一物料台，该链式扩散设备本体出 片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第二物料台。优选地，该第一物料台为上料台，该第二物料台为下料台。优选地，该链式扩散设备本体出片侧设置有接片台，该接片台与该链式扩散设备 本体中的网带相邻接，且与该网带平齐或略低于该网带。优选地，所述第一物料台和第二物料台均横向设置在网带上方，均至少容纳两个
承载盒。与现有技术中上料台和下料台均设置设备本体侧边且容量较小，导致上下料作业 不方便和产量较低相比，本实用新型所述的链式扩散设备通过将第一物料台和第二物料台 分别设置在设备本体进片侧和出片侧的网带上方，使得操作人员在上下片时无需在链式扩 散设备的两个侧面区域活动，大大提高了操作人员操作的便利性和产量。
图1是现有的链式扩散设备的结构示意图；图2是本实用新型所述的链式扩散设备的第一示例的示意图；图3是第一示例中第一物料台与链式扩散设备本体连接的示意图；图4是本实用新型所述的链式扩散设备的第二示例的示意图；以及图5是根据本发明所述的链式扩散设备的第三示例的示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点更加明显易懂，
以下结合附图和具体实 施方式，进一步详细说明本实用新型。需要说明的是，附图中的各结构只是示意性说明，用以使本领域普通技术人员了 解到本实用新型所述链式扩散设备的结构，并不表明实际应用中链式扩散设备的各结构单 元必需如图示的形状、比例等。例如，链式扩散设备本体的实际构造和图示的本体相比，要 复杂很多，但由于该本体的未图示的其它部件与本实用新型的改进之处并无直接关系，所 以没有示意在图中，以下描述中，相关的描述也已省略。图2是本实用新型所述的链式扩散设备的第一示例的示意图。如图所示，链式扩 散设备包括链式扩散设备本体30、第一物料台32、放片单元34。放片单元34与链式扩散设 备本体30内的网带36相连接，用于将放在其上的硅片传送到网带36，以便在链式扩散设备 本体30内进行扩散处理；作为示例，放片单元34可以是一段滚轮。第一物料台32横向设 置在网带36与放片单元34连接的这一侧的上方，用于放置多个硅片承载盒，比如6个硅片 承载盒。需要说明的是，本实施方式中，第一物料台为上料台。[0022]图3是第一示例中第一物料台与链式扩散设备本体连接的一个示意图。如图，第 一物料台32设置在网带36的上方，而网带36与放片单元34连接。参考图2和图3，简单说明硅片上料操作过程。操作人员在A区域33中，从第一物 料台32上的承载盒320中取出硅片，放入放片单元34，由放片单元34将硅片传送到网带 36，从而进入链式扩散设备本体30内接受扩散处理。由于第一物料台32与放片单元34在 同一侧，所以操作人员只需要在A区域33中即可，而无需像现有技术中那样上料时必需在 链式扩散设备本体的两个侧面区域之间移动。此外，本示例中的第一物料台32上放置了多 个承载盒，所以操作人员不需要在一个承载盒空了之后，即要前往传递窗取出一个承载盒。图4是本实用新型所述的链式扩散设备的第二示例的示意图。链式扩散设备包括 链式扩散设备本体40、第二物料台42、接片台49。本例中第二物料台42即为下料台，其横 向设置在网带46出片侧的上方，操作人员会将从网带46出来的硅片插入放置在第二物料 台42上的承载盒内。接片台49与链式扩散设备本体40内的网带46相邻接，用于接收没 来得及放入第二物料台42上的承载盒内的硅片，以防止这些未放入承载盒的硅片污损或 破裂等；接片台网带46平齐或略低于网带46。由于下料台就设置在网带出片侧，所以操作人员只需在面对网带的区域50内，即 可进行下片操作，而无需像现有技术那样必需在多个区域之间活动。图5是本实用新型所述的链式扩散设备的第三示例的示意图。本例中，链式扩散 设备包括链式扩散设备本体60、第一物料台62、放片单元64、第二物料台72、接片台79。放 片单元64与链式扩散设备本体60内的网带66相连接，用于将放在其上的硅片传送到网带 66，以便在链式扩散设备本体60内进行扩散处理；作为示例，放片单元64可以是一段滚轮。 第一物料台62横向设置在网带66与放片单元64连接的这一侧的上方，用于放置多个硅片 承载盒，比如6个硅片承载盒。本实施方式中，第一物料台为上料台。第二物料台72即为 下料台，其横向设置在网带66出片的这一侧的上方，操作人员会将从网带66出来的硅片插 入放置在第二物料台72上的承载盒内。接片台79与链式扩散设备本体60内的网带66相 连接，用于接收未来得及被放入第二物料台72上的承载盒内的硅片，以防止这些未来得及 放入承载盒的硅片污损或破裂等。操作人员在A区域63中，从第一物料台62上的承载盒640中取出硅片，放入放片 单元64，由放片单元64将硅片传送到网带66，从而进入链式扩散设备本体60内接受扩散 处理。由于第一物料台62与放片单元64在同一侧，所以操作人员只需要在A区域63中即 可，而无需像现有技术中那样上料时必需在链式扩散设备本体的两个侧面区域之间移动。 此外，本示例中的第一物料台62上放置了多个承载盒，所以操作人员无需在一个承载盒空 了之后，即要前往传递窗取出一个承载盒。经过扩散处理之后的硅片，经由网带被传送到链式扩散设备本体60的出片侧，在 该侧，操作人员将硅片插入放置在第二物料台72上的承载盒内，而没有被及时放入的硅片 则由接片台79接收，以防止这些未来得及放入承载盒的硅片污损或破裂等。本实用新型所述的链式扩散设备通过将上料台与放片单元设置在同一侧，使得操 作人员无需在上片时在链式扩散设备的两个侧面区域活动；通过将下料台设置在网带出片 侧，使得操作人员无需在下片时在链式扩散设备的两个侧面区域活动。应当说明的是，以上具体实施方式
仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制。尽管参照上述具体实施方式
对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术 人员应当理解，依然可以对本实用新型的具体实施方式
进行修改或对部分技术特征进行等 同替换，而在不脱离本实用新型的技术方案的精神下，其均应涵盖在本实用新型请求保护 的技术方案范围当中。
权利要求1.一种链式扩散设备，其特征在于，所述链式扩散设备包括链式扩散设备本体，所述链 式扩散设备本体进片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第一物料台。
2.根据权利要求1所述的链式扩散设备，其特征在于，所述第一物料台为上料台。
3.根据权利要求1或2所述的链式扩散设备，其特征在于，所述第一物料台横向设置在 网带上方，其至少容纳两个承载盒。
4.一种链式扩散设备，其特征在于，所述链式扩散设备包括链式扩散设备本体，所述链 式扩散设备本体出片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第二物料台。
5.根据权利要求4所述的链式扩散设备，其特征在于，所述链式扩散设备本体出片侧 设置有接片台，所述接片台与所述链式扩散设备本体中的网带相邻接，且与所述网带平齐 或略低于所述网带。
6.根据权利要求4或5所述的链式扩散设备，其特征在于，所述第二物料台横向设置在 网带上方且至少容纳两个承载盒，所述第二物料台为下料台。
7.一种链式扩散设备，其特征在于，所述链式扩散设备包括链式扩散设备本体，所述链 式扩散设备本体进片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第一物料台，所述链式扩散设 备本体出片侧的网带上方设置有用于放置承载盒的第二物料台。
8.根据权利要求7所述的链式扩散设备，其特征在于，所述第一物料台为上料台，所述 第二物料台为下料台。
9.根据权利要求7或8所述的链式扩散设备，其特征在于，所述链式扩散设备本体出片 侧设置有接片台，所述接片台与所述链式扩散设备本体中的网带相邻接，且与所述网带平 齐或略低于所述网带。
10.根据权利要求7或8所述的链式扩散设备，其特征在于，所述第一物料台和第二物 料台均横向设置在网带上方，均至少容纳两个承载盒。
专利摘要一种链式扩散设备，在其本体进片侧的网带上方设置第一物料台，以便操作人员将自放置在该第一物料台上的承载盒内取出硅片送入传送单元。本实用新型使得操作人员在上片时无需在链式扩散设备的两个侧面区域活动，大大提高了操作人员操作的便利性和产量。
文档编号C30B29/06GK201785548SQ201020276890
公开日2011年4月6日 申请日期2010年7月20日 优先权日2010年7月20日
发明者左凯锋, 陈彦博, 高琦 申请人:无锡尚德太阳能电力有限公司