专利名称：一种均温拉晶炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种拉晶炉，具体地说是涉及半导体生产技术领域的设备。
背景技术：
拉晶炉的结构是这样的，它是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，使用时，拉晶管就放置在这个孔之间，这样的拉晶炉具有使拉晶管受热不均勻、晶棒产品质量不高的缺点。
发明内容本实用新型的目的就是针对上述缺点，提供一种能够使拉晶管受热更均勻、从而提高晶棒质量的拉晶炉——一种均温拉晶炉。本实用新型的技术方案是这样实现的一种均温拉晶炉，包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，其特征是在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖。本实用新型的有益效果是这样结构的均温拉晶炉具有能够使拉晶管受热更均勻、从而提高晶棒质量的优点。
图1是本实用新型的剖面结构示意图。其中1、炉体 2、耐火砖3、套体。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步的描述。如图1所示，一种均温拉晶炉，包括炉体1，所述的炉体1是由多个带孔的耐火砖 2叠放而成的，所述各个耐火砖2的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，其特征是在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体3，所述的套体3的上端和下端覆盖着耐火砖。
权利要求1. 一种均温拉晶炉，包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，其特征是在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖。
专利摘要本实用新型涉及一种拉晶炉，具体地说是涉及半导体生产技术领域的设备。一种均温拉晶炉，它包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖，这样结构的均温拉晶炉具有能够使拉晶管受热更均匀、从而提高晶棒质量的优点。
文档编号C30B15/00GK202246988SQ201120285469
公开日2012年5月30日 申请日期2011年8月8日 优先权日2011年8月8日
发明者刘宝成 申请人:河南恒昌电子有限公司