一种透气多晶铸锭炉坩埚盖板的制作方法

专利名称：一种透气多晶铸锭炉坩埚盖板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及碳碳复合材料应用技术领域，特别是涉及一种适用于多晶铸锭炉用碳碳复合材料坩埚盖板。
背景技术：
碳碳复合材料由于其高强度、轻质、耐高温等优势，广泛应用于多晶铸锭炉热场，作为连接件和坩埚盖板等。随着市场竞争的日趋激烈，多晶铸锭炉主流趋势在于节能降耗、增加产能，所以大部分用户都选择增加投料量。根据使用反馈情况，投料量的增加往往伴随着坩埚盖板寿命的缩减。目前使用的多晶硅铸锭炉坩埚如图1和2所示，由四块坩埚侧板1、一块坩埚地板
2、一个石英坩埚3和一块坩埚盖板4组成。坩埚盖板4除了中间的进气孔，没有其他的出气孔。根据我们的跟踪分析，增加投料量会压缩坩埚内的气体容量空间，侧面排气口也往往会减小，造成埚内气体排出不畅，气压变 大，对坩埚盖板的热冲击应力变大，导致盖板在硅液冷却结晶阶段内应力无法完全消除，积累若干次后出现大的变形。

实用新型内容本实用新型的目的在于改善投料量增加带来的多晶铸锭炉坩埚内气流不顺、气压过大问题，增加气流的排出口，降低埚内气压，从而减小坩埚盖板所受热应力，减小其变形。本实用新型提出一种透气多晶铸锭炉坩埚盖板，其特征在于所述盖板上开有多个通孔。较优地,所述通孔直径5_30mm。较优地，所述通孔为5-100个。本实用新型较好的解决了多晶铸锭炉坩埚盖板变形问题，提高了盖板使用寿命。

关于本实用新型的优点与精神可以通过以下的实用新型详述及所附图式得到进一步的了解。图1为现有多晶娃铸淀炉樹祸结构不意图；图2为现有多晶硅铸锭炉坩埚锅盖结构示意图；图3为本实用新型多晶硅铸锭炉坩埚锅盖结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图详细说明本实用新型的具体实施例。如图3所示，在本实用新型的一个实施例中，在坩埚盖板4上以进气口 5为中心均匀打了 24个Φ15_的通孔6，实际使用效果良好，明显缓解了坩埚盖板过早变形。通孔6的大小及个数根据坩埚实际的尺寸不同，通孔6直径通常为5-30_，个数5-100个，均布在盖板上。本实施例较好的解决了本次实际中遇到的多晶铸锭炉坩埚盖板变形问题，提高了盖板使用寿命。本说明书中所述的只是本实用新型的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型的限制。凡本领域技术人员依本实用新型的构思通过逻辑分析、推理或者有 限的实验可以得到的技术方案，皆应在本实用新型的范围之内。
权利要求1.一种透气多晶铸锭炉坩埚盖板，其特征在于所述盖板上开有多个通孔。
2.如权利要求1所述的透气多晶铸锭炉坩埚盖板，其特征在于所述通孔直径5-30_。
3.如权利要求1所述的透 气多晶铸锭炉坩埚盖板，其特征在于所述通孔为5-100个。
专利摘要本实用新型提出一种透气多晶铸锭炉坩埚盖板，其特征在于所述盖板上开有多个通孔。本实用新型较好的解决了多晶铸锭炉坩埚盖板变形问题，提高了盖板使用寿命。
文档编号C30B29/06GK203112963SQ20122052092
公开日2013年8月7日 申请日期2012年10月12日 优先权日2012年10月12日
发明者詹国彬, 周心怡 申请人:上海东洋炭素有限公司