一种射频电源的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及电源装置领域，公开一种射频电源，该射频电源包括：壳体，所述壳体内形成第一腔室、第二腔室以及用于安装电源组件的容置室；所述容置室的腔壁上设有连通所述容置室和第一腔室的散热入风口、和连通所述容置室和所述第二腔室的散热出风口；所述第一腔室设有入风口，所述第二腔室设有出风口；使所述第一腔室内的气体干燥的第一气体干燥装置。上述射频电源工作时受其工作环境中湿度的限制较小，适用性较高。
【专利说明】_种射频电源
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电源装置领域，尤其是涉及一种射频电源。
【背景技术】
[0002]射频电源是PECVD设备中重要的组成部分，它是生成等离子体的能量来源，广泛应用于TFT，半导体和光伏行业中。
[0003]但是，现有技术中的射频电源工作时受工作环境中湿度的限制较大，当射频电源工作环境中的湿度大于一个额定值时，射频电源将无法正常工作；如，根据厂家提供数据，当射频电源工作环境中的湿度大于70 %时，射频电源无法正常工作。
[0004]尤其是在光伏行业中，工艺条件相对比较简单，厂区条件较差，射频电源工作环境的湿度等很难控制，而且每年到了夏天雨季，射频电源工作环境中的湿度最高可达到95 %，在此环境中，射频电源无法维持正常工作。
实用新型内容
[0005]本实用新型提供了一种射频电源，该射频电源工作时受其工作环境中湿度的限制较小，适用性较高。
[0006]为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案:
[0007]一种射频电源，包括:
[0008]壳体，所述壳体内形成第一腔室、第二腔室以及用于安装电源组件的容置室；所述容置室的腔壁上设有连通所述容置室和第一腔室的散热入风口、和连通所述容置室和所述第二腔室的散热出风口 ；所述第一腔室设有入风口，所述第二腔室设有出风口 ；
[0009]使所述第一腔室内的气体干燥的第一气体干燥装置。
[0010]上述射频电源在工作时，气体从第一腔室通过散热入风口进入到容置室内，流经电源组件后从容置室的散热出风口进入到第二腔室内，然后从第二腔室的出风口吹出，以实现对电源组件的散热；由于第一气体干燥装置可以使第一腔室内的气体干燥，所以通过散热入风口进入容置室的气体为干燥气体，且容置室的散热出风口不与外界直接相通，外界空气很难从散热出风口进入到容置室内，因此，容置室内的电源组件不会受到外界气体湿度的影响。
[0011]因此，上述射频电源工作时受其工作环境中湿度的限制较小，适用性较高。
[0012]优选地，所述第一气体干燥装置包括干燥气源设备，所述干燥气源设备的出风口与所述第一腔室的入风口通过通风管道密封连通。
[0013]优选地，所述第一气体干燥装置包括设置于所述第一腔室内的干燥模块。
[0014]优选地，所述干燥模块位于所述第一腔室的入风口处。
[0015]优选地，所述第一气体干燥装置还包括出风口与所述第一腔室的入风口连通的气源。
[0016]优选地，所述射频电源还包括使第二腔室内气体干燥的第二气体干燥装置。
[0017]优选地，所述第二气体干燥装置为设置于所述第二腔室内、且设置于所述第二腔室出风口处的干燥模块。
[0018]优选地，所述第二气体干燥装置包括干燥气源设备，所述干燥气源设备的出风口与所述第二腔室连通。
[0019]优选地，所述壳体内形成第一腔室、第二腔室以及用于安装电源组件的容置室，具体包括:
[0020]所述壳体包括电源主体壳体、第一护罩和第二护罩；所述电源主体壳体内部形成所述容置室，所述第一护罩位于所述电源主体壳体的一侧、且与所述电源主体壳体密封配合以形成所述第一腔室，所述第二护罩位于所述电源主体壳体背离所述第一护罩的一侧、且与所述电源主体壳体密封配合以形成所述第二腔室。
[0021]优选地，所述第一护罩和所述第二护罩的材料为铝。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1为本实用新型实施例提供的一种射频电源结构示意图；
[0023]图2为本实用新型实施例提供的另一种射频电源结构示意图；
[0024]图3为本实用新型实施例提供的另一种射频电源结构示意图；
[0025]图4为本实用新型实施例提供的另一种射频电源结构示意图。
【具体实施方式】
[0026]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0027]请参考图1、图2和图3，图1为本实用新型实施例提供的一种射频电源结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的另一种射频电源结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的另一种射频电源结构示意图。
[0028]如图1所示，本实用新型实施例提供的一种射频电源，包括:
[0029]壳体1，壳体I内形成第一腔室2、第二腔室3以及用于安装电源组件的容置室4 ;容置室4的腔壁上设有连通容置室4和第一腔室2的散热入风口 41、和连通容置室4和第二腔室3的散热出风口 42 ;第一腔室2设有与入风口 21，第二腔室3设有与出风口 31 ；
[0030]使第一腔室2内的气体干燥的第一气体干燥装置5。
[0031]本实用新型对上述射频电源中的散热入风口 41、散热出风口 42、入风口 21、出风口 31的形状和具体位置不进行限制。
[0032]上述射频电源在工作时，气体从第一腔室2通过散热入风口 41进入到容置室4内，流经电源组件后从容置室4的散热出风口 42进入到第二腔室3内，然后从第二腔室3的出风口 31吹出，以实现对电源组件的散热；由于第一气体干燥装置5可以使第一腔室2内的气体干燥，所以通过散热入风口 41进入容置室4的气体为干燥气体，且容置室4的散热出风口 42不与外界直接相通，外界空气很难从散热出风口 42进入到容置室4内，因此，容置室4内的电源组件不会受到外界气体湿度的影响。
[0033]因此，上述射频电源工作时受其工作环境中湿度的限制较小，适用性较高。
[0034]如图2所示，一种具体的实施例中，第一气体干燥装置5包括干燥气源设备52，干燥气源设备52的出风口与第一腔室2的入风口 21通过通风管道51密封连通。干燥气源设备52可以通过通风管道51为第一腔室2提供洁净干燥的气体，以使第一腔室2内的气体干燥。
[0035]如图3所示，一种具体的实施例中，第一气体干燥装置包括设置于第一腔室2内的干燥模块53。干燥模块53可以为吸湿器或者干燥剂，如硫酸钙、活性炭等，干燥模块53可以吸附气体中的水分子以使第一腔室2内的气体干燥。
[0036]如图3所示，在上述实施例的基础上，一种优选的实施例中，干燥模块53位于第一腔室2的入风口 21处，以方便直接对从入风口 21进入的气体进行干燥。如图4所示，另一种优选的实施例中，第一气体干燥装置5还可以包括出风口与第一腔室2的入风口 21连通的气源55，气源55通过通风管道54可以为第一腔室2提供气体。
[0037]在上述实施例的基础上，一种优选的实施例中，射频电源还包括使第二腔室3内气体干燥的第二气体干燥装置。
[0038]如图4所示，在上述实施例的基础上，一种优选的实施例中，第二气体干燥装置可以为设置于第二腔室3内、且设置于第二腔室3出风口 31处的干燥模块6。干燥模块6可以为吸湿器或者干燥剂，如硫酸钙，活性炭等，干燥模块6可以吸附气体中的水分子使进入第二腔室3内的气体干燥。另一种优选的实施例中，第二气体干燥装置还可以包括出风口与第二腔室3连通的干燥气源设备。通过干燥气源设备向第二腔室3提供洁净干燥的气体，可以使第二腔室3内的气体干燥，并且保持第二腔室3内的气压大于外界气压，以防止外界空气从第二腔室3的出风口 31进入，并最终进入到容置室4内影响电源装置工作。
[0039]如图3所示，在上述各实施例的基础上，壳体I内形成第一腔室2、第二腔室3以及用于安装电源组件的容置室4，具体可以通过以下方式实现:
[0040]壳体I包括电源主体壳体14、第一护罩12和第二护罩13 ;电源主体壳体14内部形成容置室4，第一护罩12位于电源主体壳体14的一侧、且与电源主体壳体14密封配合以形成第一腔室2，第二护罩13位于电源主体壳体14背离第一护罩12的一侧、且与电源主体壳体14密封配合以形成第二腔室3。优选地，第一护罩12和第二护罩13的材料为铝。[0041 ] 上述实施方式，可以在现有的电源主体的基础上，通过设置第一护罩12和第二护罩13来形成整个电源壳体1，实施过程方便快捷、且可以适用于任何型号和种类的电源。
[0042]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种射频电源，其特征在于，包括: 壳体，所述壳体内形成第一腔室、第二腔室以及用于安装电源组件的容置室；所述容置室的腔壁上设有连通所述容置室和第一腔室的散热入风口、和连通所述容置室和所述第二腔室的散热出风口 ；所述第一腔室设有入风口，所述第二腔室设有出风口 ； 使所述第一腔室内的气体干燥的第一气体干燥装置。
2.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述第一气体干燥装置包括干燥气源设备，所述干燥气源设备的出风口与所述第一腔室的入风口通过通风管道密封连通。
3.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述第一气体干燥装置包括设置于所述第一腔室内的干燥模块。
4.根据权利要求3所述的射频电源，其特征在于，所述干燥模块位于所述第一腔室的入风口处。
5.根据权利要求3所述的射频电源，其特征在于，所述第一气体干燥装置还包括出风口与所述第一腔室的入风口连通的气源。
6.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，还包括使第二腔室内气体干燥的第二气体干燥装置。
7.根据权利要求6所述的射频电源，其特征在于，所述第二气体干燥装置为设置于所述第二腔室内、且设置于所述第二腔室出风口处的干燥模块。
8.根据权利要求6所述的射频电源，其特征在于，所述第二气体干燥装置包括干燥气源设备，所述干燥气源设备的出风口与所述第二腔室连通。
9.根据权利要求1-8任一项所述的射频电源，其特征在于，所述壳体内形成第一腔室、第二腔室以及用于安装电源组件的容置室，具体包括: 所述壳体包括电源主体壳体、第一护罩和第二护罩；所述电源主体壳体内部形成所述容置室，所述第一护罩位于所述电源主体壳体的一侧、且与所述电源主体壳体密封配合以形成所述第一腔室，所述第二护罩位于所述电源主体壳体背离所述第一护罩的一侧、且与所述电源主体壳体密封配合以形成所述第二腔室。
10.根据权利要求9所述的射频电源，其特征在于，所述第一护罩和所述第二护罩的材料为铝。
【文档编号】H05K5/02GK204168703SQ201420683967
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年11月14日 优先权日:2014年11月14日
【发明者】牟红林, 刘桂东, 黄云岭, 李国强, 邸增奎, 吴波, 孟原, 郭铁 申请人:新奥光伏能源有限公司