层压装置及包括其的显示装置制造设备的制作方法

本发明涉及层压装置以及利用该层压装置的显示装置制造设备。

背景技术：

近来，显示装置市场以易于实现大面积且能够进行薄型化和轻量化的平板显示器(flatpaneldisplay；fpd)为主处于急速的变化之中。

这种平板显示器包括液晶显示装置(liquidcrystaldisplay；lcd)、等离子显示面板(plasmadisplaypanel；pdp)、有机发光显示装置(organiclightemittingdisplay；oled)等。然而，现有的液晶显示装置、等离子显示面板、有机发光显示装置等由于使用玻璃衬底而导致柔性下降，因而在应用和使用中存在着局限性。

因此，最近，作为下一代显示装置，正在广泛地开发着使用诸如塑料、箔等具有柔性的材料衬底来代替玻璃衬底从而制造成可弯曲的柔性显示装置。

此外，相应地产生了对与柔性衬底或柔性面板相关的各种评估装置或制造装置的需求。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题在于提供能够准确地确认层压对象的对齐的层压装置。

本发明要解决的另一技术问题在于提供工艺效率得到提升的显示装置制造设备。

本发明的技术问题不限于以上提及的技术问题，并且本领域技术人员将通过下文中的记载明确地理解未提及的或者其他的技术问题。

用于解决上述技术问题的根据本发明一实施方式的层压装置包括具有视孔的第一腔室、收纳在上述第一腔室中并具有与上述视孔对应的透视窗的第一台、与上述视孔对应地布置在上述第一腔室外部的第一对齐测量部、与上述第一腔室相对的第二腔室以及收纳在上述第二腔室中的第二台。

另外，还可包括布置于上述视孔中的观察窗。

另外，上述视孔可在上述第一腔室的上表面形成为“x”字形状。

另外，上述视孔可为多个，并且上述第一对齐测量部可包括多个摄像机以对应于上述多个视孔。

另外，上述视孔可包括在第一方向上延伸的第一视孔、在第二方向上延伸的第二视孔、在第三方向上延伸的第三视孔以及在第四方向上延伸的第四视孔。

另外，上述多个摄像机可包括对应于上述第一视孔的第一摄像机、对应于上述第二视孔的第二摄像机、对应于上述第三视孔的第三摄像机以及对应于上述第四视孔的第四摄像机。

另外，上述第一摄像机可沿着第一方向移动，上述第二摄像机可沿着第二方向移动，上述第三摄像机可沿着第三方向移动，并且上述第四摄像机可沿着上述第四方向移动。

另外，上述第一摄像机至上述第四摄像机可在彼此远离或彼此靠近的方向上移动。

另外，上述第一方向与上述第三方向可以是彼此相反的方向。

另外，上述第一方向与上述第四方向所形成的第一角和上述第一方向与上述第二方向所形成的第二角可以不相同。

另外，上述透视窗包括对应于上述第一视孔的第一透视窗、对应于上述第二视孔的第二透视窗、对应于上述第三视孔的第三透视窗以及对应于上述第四视孔的第四透视窗。

另外，还包括布置在上述第一腔室与上述第二腔室之间的第二对齐测量部。

用于解决上述技术问题的根据本发明一实施方式的显示装置制造设备包括具有第一粘合部的第一工艺腔室、向上述第一粘合部提供第一膜部件的第一托盘以及向上述第一粘合部提供第二膜部件的第二托盘，其中，上述第一粘合部包括具有视孔的第一腔室、收纳在上述第一腔室中并具有与上述视孔对应的透视窗的第一台、与上述视孔对应地布置在上述第一腔室外部的第一对齐测量部、与上述第一腔室相对的第二腔室以及收纳在上述第二腔室中的第二台。

另外，还包括具有第二粘合部的第二工艺腔室以及向上述第二粘合部提供第三膜部件的第三托盘，其中上述第一工艺腔室与上述第二工艺腔室可彼此连接。

另外，上述视孔可在上述第一腔室的上表面形成为“x”字形状。

另外，上述视孔可为多个，并且上述第一对齐测量部可包括多个摄像机以对应于上述多个视孔。

另外，上述视孔可包括在第一方向上延伸的第一视孔、在第二方向上延伸的第二视孔、在第三方向上延伸的第三视孔以及在第四方向上延伸的第四视孔。

另外，上述多个摄像机可包括对应于上述第一视孔的第一摄像机、对应于上述第二视孔的第二摄像机、对应于上述第三视孔的第三摄像机以及对应于上述第四视孔的第四摄像机。

另外，上述第一摄像机可沿着第一方向移动，上述第二摄像机可沿着第二方向移动，上述第三摄像机可沿着第三方向移动，并且上述第四摄像机可沿着上述第四方向移动。

另外，上述第一摄像机至上述第四摄像机可在彼此远离或彼此靠近的方向上移动。

根据本发明的实施方式至少具有如下所述的效果。

能够准确地确认层压对象的对齐。

能够将两个腔室连接为一个整体，因此有助于工艺效率。

根据本发明实施方式的效果并不限于上文中所例示的内容，并且本说明书中包含了更加多样的效果。

附图说明

图1是根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的剖视图。

图2是根据图1的实施方式的显示装置制造设备的部分配置图。

图3是用于说明根据图1的实施方式的显示装置制造设备的概念图。

图4是根据图1的实施方式的显示装置制造设备的部分配置图。

图5是根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的配置图。

图6是根据图5的变型实施方式的显示装置制造设备的配置图。

图7是用于说明根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的运作的剖视图。

图8是用于说明根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的运作的剖视图。

图9是用于说明根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的运作的剖视图。

图10是用于说明根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的运作的平面图。

图11是根据本发明另一实施方式的显示装置制造设备的工艺流程图。

图12是根据本发明另一实施方式的显示装置制造设备的工艺流程图。

图13是根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的产物的剖视图。

图14是根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的产物的剖视图。

具体实施方式

参照下文中结合附图详细描述的实施方式，本发明的优点和特征以及实现所述优点和特征的方法将变得明确。但是，本发明不限定于下文中所公开的实施方式，而是可实现为彼此不同的多种形态，这些实施方式只是为了使本发明的公开完整并且为了将发明的范围完整地告知给本发明所属技术领域的技术人员而提供的，并且本发明仅由权利要求书的范围来定义。

应明确，虽然第一、第二等用于叙述多种构成要素，但这些构成要素并不受这些措辞限制，并且这些措辞仅用于将一个构成要素与其它构成要素区分开。因此，应明确，在不背离本发明的技术思想的情况下，下文中提及的第一构成要素也可称为第二构成要素。

下面，将参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的剖视图。图2是根据图1的实施方式的显示装置制造设备的部分配置图。图3是用于说明根据图1的实施方式的显示装置制造设备的概念图。图4是根据图1的实施方式的显示装置制造设备的部分配置图。

参照图1至图4，根据本发明一实施方式的显示装置制造设备包括层压装置。根据一实施方式的层压装置包括具有视孔op的第一腔室uc、收纳在第一腔室uc中并具有与视孔op对应的透视窗ws的第一台us、与视孔op对应地布置在第一腔室uc外部的第一对齐测量部ca、与第一腔室uc相对的第二腔室lc、以及安置于第二腔室lc中的第二台ls。

第一腔室uc可划分出一定的空间，并且提供用于布置待后述的第一台us的空间。第一腔室uc的一侧(即，图1中的下侧)可被完全开口，并且与待后述的第二腔室lc相对。第一腔室uc的另一侧(即，图1中第一腔室uc的上侧)可形成有视孔op。在一实施方式中，视孔op可连接第一腔室uc的内部与外部。即，视孔op可贯穿第一腔室uc以使第一腔室uc的内部与外部连通。

在一实施方式中，视孔op中可布置有观察窗wc。观察窗wc可由透明材料构成，且由此可通过观察窗wc从第一腔室uc的外部观察第一腔室uc的内部。在一实施方式中，观察窗wc可构成为包括选自由玻璃、石英和透明塑料组成的群中的一个以上的材料。然而，这仅仅是示例性的，观察窗wc的材料并不限于此。即，只要是具有透光性并且可确保对第一腔室uc内部的视野的材料即可用作观察窗wc的材料。

在一实施方式中，观察窗wc可使视孔op密闭。即，观察窗wc可防止空气通过视孔op出入。如待后述的，当第一腔室uc与第二腔室lc结合时，可在第一腔室uc和第二腔室lc所划分的空间中形成真空。这时，观察窗wc可填充视孔op，从而通过观察窗wc来阻断空气出入至第一腔室uc和第二腔室lc内部。

第一腔室uc的内部可布置有第一台us。第一台us可安置在第一腔室uc内部。具体地，可安置并固定在第一腔室uc中形成有视孔op的上侧。

第一台us上可布置有作为层压对象的第一膜部件fi1。即，第一膜部件fi1可安置并固定于第一台us上。

第一膜部件fi1可具有薄膜形态。在一实施方式中，第一膜部件fi1上可安装有电子元件。例如，电子元件可包括电极和/或信号线。

在一实施方式中，第一膜部件fi1可以是选自用于显示装置中的窗、面板和粘性带中的任何一个。然而，这仅仅是示例性的，第一膜部件fi1的种类并不限于此。

第一台us可包括透视窗ws。透视窗ws可由透明材料形成，且由此可从透视窗ws的一侧观察透视窗ws的另一侧。在一实施方式中，透视窗ws可构成为包括选自由玻璃、石英和透明塑料组成的群中的一个以上的材料。然而，这仅仅是示例性的，透视窗ws的材料并不限于此。即，只要是具有透光性并且可确保对相反侧的视野的材料即可用作透视窗ws的材料。

在一实施方式中，第一腔室uc的观察窗wc/视孔op与第一台us的透视窗ws可至少部分地重叠。因此，待后述的第一对齐测量部ca可通过观察窗wc/视孔op和透视窗ws观察第一腔室uc的内部。

在一实施方式中，透视窗ws的大小可小于或等于观察窗wc的大小。然而，并不限于此，并且在另一实施方式中，透视窗ws的大小也可大于观察窗wc的大小。

第一对齐测量部ca可布置在第一腔室uc外部。具体地，第一对齐测量部ca可布置在第一腔室uc上方，并且可通过第一腔室uc的观察窗wc和第一台us的透视窗ws可确认第一腔室uc的内部，具体地可确认第一膜部件fi1的对齐。将在下文中对此进行详细说明。

第一对齐测量部ca可确认第一膜部件fi1的对齐。为此，第一对齐测量部ca可包括多个摄像机。例如，多个摄像机可包括ccd摄像机。将在下文中参照图2至图3对多个摄像机的布置进行详细说明。

在一实施方式中，第一对齐测量部ca的上方可布置有第一驱动部200。第一驱动部200可使第一腔室uc移动。在一实施方式中，第一驱动部200可使第一腔室uc上下移动，即，使其在图1中的z轴方向上移动。

在一实施方式中，第一驱动部200与第一腔室uc可通过支承部su连接。即，在一实施方式中，当第一驱动部200上下移动时，通过支承部su连接至第一驱动部200的第一腔室uc可上下移动。

虽然图1例示了布置有多个支承部su的情况，但是支承部su的数量不限于此。在另一实施方式中，支承部su可为一个或者两个以上。

第二腔室lc可布置成面对第一腔室uc。

第二腔室lc可划分出一定的空间，并且提供用于布置待后述的第二台ls的空间。

第二腔室lc的一侧(即，图1中的上侧)可被完全开口，并且与第一腔室uc相对。

第二腔室lc的内部可布置有第二台ls。第二台ls可安置在第二腔室lc的内部。

第二台ls上可布置有作为层压对象的第二膜部件fi2。即，第二膜部件fi2可安置并固定于第二台ls上。

第二膜部件fi2可具有薄膜形态。在一实施方式中，第二膜部件fi2上可安装有电子元件。例如，电子元件可包括电极和/或信号线。

在一实施方式中，第二膜部件fi2可以是选自用于显示装置中的窗、面板和粘性带中的任何一个。然而，这仅仅是示例性的，第二膜部件fi2的种类并不限于此。

在一实施方式中，第二腔室lc的下方可布置有第二驱动部100。第二驱动部100可使第二腔室lc移动。

在一实施方式中，第二驱动部100可使第二腔室lc上下移动，即，使其在图1中的z轴方向上移动。

在一实施方式中，第二驱动部100可使第二腔室lc水平移动。即，第二驱动部100可使其在图2中的x轴方向和/或y轴方向上水平移动。

在一实施方式中，第二驱动部100可使第二腔室lc旋转移动。即，第二驱动部100可使第二腔室lc在图2中的xy平面上旋转。

第一腔室uc与第二腔室lc之间可布置有第二对齐测量部cb。

在一实施方式中，第二对齐测量部cb可确认第二膜部件fi2的对齐。

为此，第二对齐测量部cb可包括多个摄像机。例如，多个摄像机可包括ccd摄像机。

第二对齐测量部cb可在彼此远离或彼此靠近的方向上运动。具体地，一个第二对齐测量部cb可在图1中的x轴正方向上移动，而另一第二对齐测量部cb可在x轴负方向上移动，从而彼此远离或彼此靠近。

下面将参照图2对根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的若干结构进行更详细的说明。

图2示出了第一腔室uc的上表面。

参照图2，形成于第一腔室uc中的视孔op可形成为多个。具体地，视孔op可包括第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4。

在一实施方式中，第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4可在彼此不同的方向上延伸。首先，可以定义腔室中央部cc。腔室中央部cc可以是第一腔室uc上表面的中心部。即，腔室中央部cc可以是第一腔室uc上表面的几何中心。以腔室中央部cc为基准，第一视孔op_1可在第一方向d1上延伸，第二视孔op_2可在第二方向d2上延伸，第三视孔op_3可在第三方向d3上延伸，并且第四视孔op_4可在第四方向d4上延伸。

即，视孔op可在第一腔室uc的上表面形成为“x”字形状。

图2示出了第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4形成为彼此分离的情况，但是并不限于此，并且在另一实施方式中，第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4可形成为一体。在这种情况下，视孔op可具有完整的“x”字形状。

在一实施方式中，第一对齐测量部ca可包括多个摄像机。具体地，第一对齐测量部ca可包括第一摄像机ca_1、第二摄像机ca_2、第三摄像机ca_3以及第四摄像机ca_4。

第一摄像机ca_1、第二摄像机ca_2、第三摄像机ca_3以及第四摄像机ca_4可布置成分别对应于第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4。

第一摄像机ca_1、第二摄像机ca_2、第三摄像机ca_3以及第四摄像机ca_4可分别沿着第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4移动。具体地，第一摄像机ca_1、第二摄像机ca_2、第三摄像机ca_3以及第四摄像机ca_4可分别沿着第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4在彼此远离或彼此靠近的方向上移动。

接下来，将参照图3对第一方向d1至第四方向d4进行更详细的说明。

图3示出了xy坐标系。这时，将腔室中央部cc定义为xy坐标系的原点。接下来，以如下方式定义方向。

第一方向d1可以是在第一象限从腔室中央部cc远离的方向。

第二方向d2可以是在第二象限从腔室中央部cc远离的方向。

第三方向d3可以是在第三象限从腔室中央部cc远离的方向。

第四方向d4可以是在第四象限从腔室中央部cc远离的方向。

另外，出于说明的便利，将第一方向d1与第四方向d4所形成的角定义为第一角θ1，将第一方向d1与第二方向d2所形成的角定义为第二角θ2，将第二方向d2与第三方向d3所形成的角定义为第三角θ3，并且将第三方向d3与第四方向d4所形成的角定义为第四角θ4。

在一实施方式中，第一角θ1和第三角θ3可彼此相同，并且第二角θ2和第四角θ4可相同。即，第一方向d1与第三方向d3可以是在一条直线上彼此相反的方向。同样地，第二方向d2与第四方向d4可以是在一条直线上彼此相反的方向。

在一实施方式中，第一角θ1与第二角θ2可以彼此不同。即，虽然第一角θ1和第二角θ2之和恒定为180度，但是两者的大小可以彼此不相同。在这种第一角θ1与第二角θ2的大小彼此不同的情况下，可以更容易地确认具有矩形形状的层压对象的对齐。

即，在对象具有矩形形状的情况下，在由两个对角线形成的角中相邻的两个角的大小彼此不同，在如上所述第一角θ1和第二角θ2与此对应地彼此不同的情况下，能够更容易地确认具有矩形形状的对象的对齐。

图4示出了第一台us。如上文所述，第一台us的透视窗ws可布置成与第一腔室uc的视孔op对应。即，在第一腔室uc的视孔op为多个的实施方式中，透视窗ws也可为多个以与此对应。

在一实施方式中，透视窗ws可包括第一透视窗ws_1、第二透视窗ws_2、第三透视窗ws_3以及第四透视窗ws_4。

第一透视窗ws_1可布置成与第一视孔op_1对应。即，第一透视窗ws_1可形成为在第一方向d1上延伸。

第二透视窗ws_2可布置成与第二视孔op_2对应。即，第二透视窗ws_2可形成为在第二方向d2上延伸。

第三透视窗ws_3可布置成与第三视孔op_3对应。即，第三透视窗ws_3可形成为在第三方向d3上延伸。

第四透视窗ws_4可布置成与第四视孔op_4对应。即，第四透视窗ws_4可形成为在第四方向d4上延伸。

在一实施方式中，第一透视窗ws_1、第二透视窗ws_2、第三透视窗ws_3以及第四透视窗ws_4可布置成分别与第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4至少部分地重叠。

另外，如上文所述，在一实施方式中，第一透视窗ws_1、第二透视窗ws_2、第三透视窗ws_3以及第四透视窗ws_4的大小可小于或等于第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4的大小。

然而，并不限于此，并且在另一实施方式中，第一透视窗ws_1、第二透视窗ws_2、第三透视窗ws_3以及第四透视窗ws_4的大小也可大于第一视孔op_1、第二视孔op_2、第三视孔op_3以及第四视孔op_4的大小。

接下来，将参照图5对根据本发明一实施方式的显示装置制造设备中第一腔室uc、第一台us、第一膜部件fi1、视孔op以及透视窗ws的关系进行说明。

图5是根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的配置图。

参照图5，第一膜部件fi1上表面(安置于第一台us的表面)的角落部co1、co2、co3、co4的位置可通过视孔op和透视窗ws来确认。

在一实施方式中，第一膜部件fi1可具有四边形形状。在一实施方式中，第一对齐测量部ca可通过视孔op和透视窗ws确认第一膜部件fi1上表面(安置于第一台us的表面)的角落部co1、co2、co3、co4的位置。根据装置的特性或由于第一膜部件fi1的特性，存在着难以从第一膜部件fi1的下表面确认第一膜部件fi1的对齐的情况。即，根据本发明若干实施方式的显示装置制造设备的优点在于能够从上方确认第一膜部件fi1安置面的对齐。

具体地，第一膜部件fi1的第一角落部co1的对齐可通过第一视孔op_1和第一透视窗ws_1来确认。即，如图2所示，第一摄像机ca_1可通过第一视孔op_1和第一透视窗ws_1确认第一角落部co1。

另外，第一膜部件fi1的第二角落部co2的对齐可通过第二视孔op_2和第二透视窗ws_2来确认。即，如图2所示，第二摄像机ca_2可通过第二视孔op_2和第二透视窗ws_2确认第二角落部co2。

另外，第一膜部件fi1的第三角落部co3的对齐可通过第三视孔op_3和第三透视窗ws_3来确认。即，如图2所示，第三摄像机ca_3可通过第三视孔op_3和第三透视窗ws_3确认第三角落部co3。

另外，第一膜部件fi1的第四角落部co4的对齐可通过第四视孔op_4和第四透视窗ws_4来确认。即，如图2所示，第四摄像机ca_4可通过第四视孔op_4和第四透视窗ws_4确认第四角落部co4。

虽然将角落部作为用于确认对齐的基准点进行了示例性说明，但是本发明的范围并不限于此。在一实施方式中，用于确认对齐的基准点可以是第一膜部件fi1的一边或者是形成在第一膜部件fi1上的对齐标记。

图6是根据图5的变型实施方式的显示装置制造设备的配置图。参照图6，第一膜部件fi1的上表面上可布置有第一对齐标记am1至第四对齐标记am4。

在一实施方式中，第一膜部件fi1的上表面上可布置有第一对齐标记am1至第四对齐标记am4。如前文所述，可能难以从第一膜部件fi1的下方确认布置在第一膜部件fi1上表面上的对齐标记。根据本发明的若干实施方式的显示装置制造设备可从第一膜部件fi1的上方确认如上所述地布置在第一膜部件fi1上表面的对齐标记。

具体地，第一膜部件fi1的第一对齐标记am1可通过第一视孔op_1和第一透视窗ws_1来确认。即，如图2所示，第一摄像机ca_1可通过第一视孔op_1和第一透视窗ws_1确认第一对齐标记am1。

另外，第一膜部件fi1的第二对齐标记am2可通过第二视孔op_2和第二透视窗ws_2来确认。即，如图2所示，第二摄像机ca_2可通过第二视孔op_2和第二透视窗ws_2确认第二对齐标记am2。

另外，第一膜部件fi1的第三对齐标记am3可通过第三视孔op_3和第三透视窗ws_3来确认。即，如图2所示，第三摄像机ca_3可通过第三视孔op_3和第三透视窗ws_3确认第三对齐标记am3。

另外，第一膜部件fi1的第四对齐标记am4可通过第四视孔op_4和第四透视窗ws_4来确认。即，如图2所示，第四摄像机ca_4可通过第四视孔op_4和第四透视窗ws_4确认第四对齐标记am4。

接下来，将参照图7至图10对根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的运作进行说明。

图7至图9是用于说明根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的运作的剖视图。

图10是用于说明根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的运作的平面图。

首先，参照图7，第二对齐测量部cb可进入第一腔室uc与第二腔室lc之间，并确认布置在第二台ls上的第二膜部件fi2的对齐。第二对齐测量部cb可在xy平面上移动，并掌握第二膜部件fi2的对齐基准点的相对位置。

在一实施方式中，对齐基准点可以是第二膜部件fi2的角落部、一边或者对齐标记。然而，这仅仅是示例性的，对齐基准点的种类不限于此。

通过第二对齐测量部cb测量的第二膜部件fi2的对齐基准点的相对位置可与在下文中通过第一对齐测量部ca测量的第一膜部件fi1的对齐基准点的相对位置进行比较。即，可通过确认两者的对齐基准点的位置来确认对齐与否。此外，在对齐基准点的位置彼此不一致的情况下，可使第一腔室uc或者第二腔室lc相对移动从而使对齐基准点的位置一致。将在下文中对此进行详细说明。

接下来，参照图8，第二对齐测量部cb可朝着第一腔室uc和第二腔室lc的外侧移动。当第二对齐测量部cb退出至第一腔室uc和第二腔室lc外部时，第一腔室uc和第二腔室lc可彼此靠近。即，第一腔室uc与第二腔室lc可通过使第一腔室uc下降或使第二腔室lc上升而彼此靠近。

接下来，参照图9，第一腔室uc与第二腔室lc可彼此靠近并结合。在第一腔室uc与第二腔室lc结合的情况下，第一腔室uc和第二腔室lc所划分的空间可被密闭。也就是说，第一腔室uc和第二腔室lc可通过结合来在内部形成密闭的空间。

另外，虽然未在附图中示出，但是根据一实施方式的显示装置制造设备还可包括真空形成部，真空形成部在由第一腔室uc和第二腔室lc划分的空间中形成真空。在这种情况下，第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的粘合工艺可在真空状态下进行。

接下来，参照图10，在第一腔室uc与第二腔室lc结合的状态下，第一摄像机ca_1至第四摄像机ca_4可分别沿着第一视孔op_1至第四视孔op_4移动并确认第一膜部件fi1的对齐基准点。即，可确认对齐基准点的相对位置。如在前文的图5至图6中所描述的，对齐基准点可以是角落部或者对齐标记。

通过第一摄像机ca_1至第四摄像机ca_4确认的对齐基准点的位置可与前文中通过第二对齐测量部cb测量的第二膜部件fi2的对齐基准点的位置进行比较。由此，可确认第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的对齐。

在如根据本发明的若干实施方式的显示装置制造设备那样在第一腔室uc与第二腔室lc靠近的状态下确认对齐时，能够更准确地测量第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的对齐。即，由于对象之间的距离越远发生对齐误差的可能性更高，因此，如上所述，在使第一腔室uc与第二腔室lc靠近的状态下确认对齐时，能够减小发生对齐误差的可能性。

在第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的对齐不一致的情况下，可以附加地执行使第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的对齐一致的步骤。

在一实施方式中，为使对齐一致，第一腔室uc和/或第二腔室lc可相对地移动来使对齐一致。

例如，第二腔室lc可在选自x、y、z、θ方向中的任何一个方向上移动来使对齐一致。

当第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的对齐一致时，可进行第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的粘合工艺。

接下来，将对根据本发明另一实施方式的显示装置制造设备进行说明。在下面的实施方式中，用相同的附图标记指代与已说明的结构相同的结构，并且将省略或简化重复的说明。

图11是根据本发明另一实施方式的显示装置制造设备的工艺流程图。

参照图11，根据本发明另一实施方式的显示装置制造设备包括工艺腔室ch、供给第一膜部件fi1的第一托盘tr1、第一预对齐部pa1、粘合部la、供给第二膜部件fi2的第二托盘tr2以及第二预对齐部pa2。

工艺腔室ch提供用于布置待后述的各种结构的空间。根据本发明一实施方式的显示装置制造设备可在一个工艺腔室ch内进行。

第一托盘tr1可连接至工艺腔室ch并向工艺腔室ch内部供给第一膜部件fi1。第一膜部件fi1例如可以是用于显示装置中的窗。

第一膜部件fi1可以以安置于第一台us上的状态提供至第一预对齐部pa1。第一预对齐部pa1可确认第一膜部件fi1与第一台us的对齐。第一预对齐部pa1中的对齐可以以利用器具来调整第一台us与第一膜部件fi1的对齐的方法或者利用视觉确认第一台us与第一膜部件fi1的对齐的方法来执行。然而，这仅仅是示例性的，在第一预对齐部pa1中确认对齐的方法不限于此。

第一膜部件fi1可从第一预对齐部pa1提供至粘合部la。粘合部la可包括前述的根据本发明若干实施方式的显示装置制造设备。即，安置在第一台us上的第一膜部件fi1可安置于第一腔室uc中。

第二托盘tr2可连接至工艺腔室ch并向工艺腔室ch内部供给第二膜部件fi2。第二膜部件fi2例如可以是粘性带。在一实施方式中，粘性带可以是oca(光学透明粘合剂)带。

第二膜部件fi2可以以安置于第二台ls上的状态提供至第二预对齐部pa2。第二预对齐部pa2可确认第二膜部件fi2与第二台ls的对齐。第二预对齐部pa2中的对齐可以以利用器具调整第二台ls与第二膜部件fi2的对齐的方法或者利用视觉确认第二台ls与第二膜部件fi2的对齐的方法来执行。然而，这仅仅是示例性的，在第二预对齐部pa2中确认对齐的方法不限于此。

第二膜部件fi2可从第二预对齐部pa2提供至粘合部la。粘合部la可包括前述的根据本发明一实施方式的显示装置制造设备。即，安置在第二台ls上的第二膜部件fi2可安置于第二腔室lc中。

之后的工艺可与上文的图7至图10中所描述的工艺相同。即，可进行第一膜部件fi1与第二膜部件fi2的粘合工艺。

第一膜部件fi1与第二膜部件fi2粘合的产物可移动至出口托盘ot。在移动至出口托盘ot之后，产物可移动至后续工艺所需的地方。

图12是根据本发明另一实施方式的显示装置制造设备的工艺流程图。

参照图12，根据本发明另一实施方式的显示装置制造设备可包括第一工艺腔室ch1和第二工艺腔室ch2。第一工艺腔室ch1可与上文的图11中所描述的根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的工艺腔室ch实质上相同。然而，为了与第二粘合部la2区分开，将粘合部la称作第一粘合部la1。

第一工艺腔室ch1与第二工艺腔室ch2可通过连接部ms连接。即，第一工艺腔室ch1与第二工艺腔室ch2可形成为一体。也就是说，第一工艺腔室ch1与第二工艺腔室ch2的内部气氛可通过连接部ms维持为彼此相同。

在第一粘合部la1中粘合的第一膜部件fi1和第二膜部件fi2可被安置于第一台us上并被移动至第三预对齐部pa3。

第三预对齐部pa3可确认第一台us与粘合的第一膜部件fi1和第二膜部件fi2的对齐。在第三预对齐部pa3中确认对齐的方法可与上文中第一预对齐部pa1处所描述的方法实质上相同。

粘合的第一膜部件fi1和第二膜部件fi2可从第三预对齐部pa3提供至第二粘合部la2。第二粘合部la2可包括前述的根据本发明若干实施方式的显示装置制造设备。

即，位于第一台us上的粘合的第一膜部件fi1和第二膜部件fi2可被安置于第一腔室uc中。

第三托盘tr3可连接至第二工艺腔室ch2并向第二工艺腔室ch2内部供给第三膜部件。第三膜部件例如可以是面板。在一实施方式中，面板可以是显示面板和/或触摸单元。

第三膜部件可以以安置于第二台ls上的状态提供至第四预对齐部pa4。第四预对齐部pa4可确认第二台ls与第三膜部件的对齐。在第四预对齐部pa4中确认对齐的方法可与上文中第一预对齐部pa1处所描述的方法实质上相同。

第三膜部件可从第四预对齐部pa4提供至第二粘合部la2。即，安置于第二台ls上的第三膜部件可被安置于第二腔室lc中。

之后的工艺可与上文的图7至图10中所描述的相同。即，可进行第一膜部件fi1、第二膜部件fi2和第三膜部件的粘合工艺。然而，在图7至图10中，第一膜部件fi1可被替代为粘合的第一膜部件fi1和第二膜部件fi2，并且第二膜部件fi2可被替代为第三膜部件。

第一膜部件fi1、第二膜部件fi2和第三膜部件粘合的产物可移动至出口托盘ot。在移动至出口托盘ot之后，产物可移动至后续工艺所需的地方。

图13和图14例示了第一工艺腔室ch1和第二工艺腔室ch2的产物。

图13和图14是根据本发明一实施方式的显示装置制造设备的产物的剖视图。

在一实施方式中，在第一粘合部la1中粘合的产物可以是窗w与第一粘性带ad1的堆叠物。

窗w和第一粘性带ad1可在粘合的状态下移动至第二粘合部la2。

接下来，参照图14，在第二粘合部la2中粘合的产物可以是窗w、第一粘性带ad1和面板pa的堆叠物。面板pa如上文所述可以是显示面板和/或触摸单元。即，面板pa可以是显示面板、触摸单元或显示面板与触摸单元的组合物。

虽然已在上文中参照附图对本发明实施方式进行了说明，但是本发明所属技术领域的普通技术人员将理解，本发明可在不改变本发明的技术思想或必要特征的情况下实施为其它具体形态。因此，应理解，上文中所记载的实施方式在所有方面均为例示性的，而非限定性的。

附图标记的说明

uc第一腔室

lc第二腔室

us第一台

ls第二台

wc观察窗

ws透视窗

ca第一对齐测量部

op视孔

fi膜部件

cb第二对齐测量部

200第一驱动部

100第二驱动部