一种基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明属于光电子器件领域，具体设及一种基于级联禪合微腔的溫度/折射率双 参数传感器。
【背景技术】
[0002] 折射率和溫度在物理、化学、生物等学科领域是两个非常重要的参数指标。液体折 射率与液体的物质成分、组成浓度有着直接密切的关系，通过测量液体样本的折射率来推 断其组分浓度已成为一种常用的分析测量方法;溫度是反映生物物质活性和生化反应速 率、过程的重要指标。因此对折射率和溫度的精确测量在化工生产、食品检测、生物医药、环 境监测等领域有着相当重要的意义。
[0003] 微型化、集成化、便携化、多功能化已经成为新型光学传感器的主要发展趋势，针 对W上几点，基于集成平面光波导的微纳传感器因具有响应快速、灵敏度高、电磁干扰免 疫、易于大规模集成制造等优点而受到广泛关注并在近年来取得了飞速的发展。然而由于 热光效应的存在，介质的折射率会随环境溫度的变化而变化。因此为了避免折射率和溫度 的交叉敏感问题，在使用集成平面光波导传感器进行高精度测量时就往往需要对溫度产生 的影响进行额外的补偿，运就给集成平面光波导传感器的实际应用带来了很大的不便。
【发明内容】
[0004] 本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种基于级联禪合微腔的溫度/折 射率双参数传感器。对于传感器来讲，溫度的影响至关重要，因此本发明的目的在于消除溫 度对于折射率传感的影响，或者是在实现折射率测量的同时，得到其溫度响应曲线。
[0005] -种基于级联禪合微腔的溫度/折射率双参数传感器，包括宽带光源、总线波导、 第一禪合微腔、第二禪合微腔和光探测器;且宽带光源、总线波导、第一禪合微腔、第二禪合 微腔和光探测器自左向右依次禪合连接，第一禪合微腔、第二禪合微腔设置在总线波导的 同一侧，且通过倏逝场效应分别与总线波导相禪合。
[0006] 所述的宽带光源采用外接的发光二极管。
[0007] 所述的总线波导为单模传输平面集成光波导。
[000引所述的光探测器为外接的光谱仪，用于测量最终输出光的光谱响应。
[0009]所述的第一禪合微腔、第二禪合微腔均与待测物质直接接触，且均为一维光子晶 体纳米梁腔。将第一禪合微腔和第二禪合微腔共同组成的传感单元放入到待测物质环境 中，输入光信号沿着总线波导中传输时通过倏逝场效应与第一禪合微腔和第二禪合微腔相 禪合，在第一禪合微腔对应的谐振波长、处侧向激发第一禪合微腔发生谐振，并在第二禪 合微腔对应的谐振波长^处激发第二禪合微腔发生谐振。在光谱仪上得到的输出光谱上就 会包含与Al和A2相对应的两处谐振波谷。由于谐振波长Al和A2会随所处待测物质的溫度和 折射率的变化而变化，所W通过光谱仪测量输出光谱中两处谐振波谷的波长漂移量，其中 第一禪合微腔的谐振波长偏于短波方向且其光场能量在待测物质中的分布占比较大，因此 具有相对更高的折射率响应灵敏度;第二禪合微腔的谐振波长偏于长波方向且其光场能量 在忍层物质中的分布占比较大，因此具有相对更高的溫度响应灵敏度。从而能够更好的计 算得到待测物质的溫度和折射率。
[0010]当第一禪合微腔、第二禪合微腔共同组成的传感单元放入到待测物质环境中进行 传感测量时，输入光信号在总线波导中传输时通过倏逝场效应与第一禪合微腔相禪合，在 第一禪合微腔对应的谐振波长、处激发侧向第一禪合微腔发生谐振，总线波导的输出光谱 上就会出现与、对应的满足洛伦兹线型的谐振波谷：
[0012] 式（1)中，Tl为经过第一禪合微腔后的透射系数，Al为归一化系数，Al为侧向第一禪 合微腔的谐振波长，Afwhmi为侧向第一禪合微腔的谐振半极大全宽度，A为入射波长；
[0013] 同理，输入光信号在总线波导中传输时通过倏逝场效应与第二禪合微腔相禪合， 在第二禪合微腔对应的谐振波长^处激发第二禪合微腔发生谐振，连接波导的输出光谱上 就会出现与^2对应的满足洛伦兹线型的谐振波谷：
[001引式(2)中，T2为经过侧向第二禪合微腔后的透射系数，A2为归一化系数山为侧向第 二禪合微腔的谐振波长，AFWHM2为侧向第二禪合微腔的谐振半极大全宽度，A为入射波长。
[0016] 所述的传感器，其特征在于第一禪合微腔、第二禪合微腔通过总线波导形成级联， 输入光信号再通过整个级联侧向禪合微腔组成的传感单元在光谱仪上所得到的总透射系 数T应为Tl与T2的乘积：
[0017] T = TiXTs (3)
[0018] 即在光谱仪上得到的输出光谱上会包含与、和A2相对应的两处谐振波谷；
[0019] 同时谐振波长Al和A2会随所处待测物质的溫度和折射率的变化而变化，其变化关 系满足： (么夫 1 =哀7',""，1 X 么 T + X 么 n U A 2 = X A T + 'S;,,耐2 X A n W 123456 其中A Al和A A2为两处谐振波谷的波长漂移量，St, Cavl和Sn, Cavl为侧向第一禪合微 腔的溫度和折射率灵敏度，St, eav2和Sn, eav2为侧向第二禪合微腔的溫度和折射率灵敏度，A T 和A n为待测物质的溫度和折射率变化量； 2 最后在利用光谱仪测得输出光谱中两处谐振波谷的波长漂移量后，就能够求解计 算得到待测物质的溫度和折射率： 3
4 本发明具有的有益效果是： 5 (1)基于级联禪合微腔的溫度/折射率双参数传感器结合平面光波导的集成化优 势及禪合微腔的高灵敏度特性，具有结构紧凑、制作方法简便、方便携带和成本低的特点。 6 (2)利用两级禪合微腔级联的方案，通过调整禪合微腔在忍层和待测物质中的光 场能量占比，从而使得两级微腔分别对于折射率和溫度变化灵敏，从而实现溫度折射率双 参数测量。
[0027] (3)与传统的测量参考传感器的响应来进行补偿的方案相比，本发明只需一次测 量，并且具有更高的集成度，从而更具有工程应用价值。
【附图说明】
[0028] 图1为本发明的结构示意图。
[0029] 图2(a)为第一禪合微腔结构示意图；
[0030] 图2(b)为第二禪合微腔结构示意图；
[0031] 图3为本发明的输出光谱响应。
[0032] 图4(a)谐振波长随待测物质溫度变化示意图；
[0033] 图4(b)谐振波长随待测物质折射率变化示意图。
[0034] 图中：宽带光源1、总线波导2、第一禪合微腔3、第二禪合微腔4、光探测器5。
【具体实施方式】
[0035] 下面结合附图对本发明的具体实施作进一步的说明。
[0036] 图1给出了基于级联禪合微腔的溫度/折射率双参数传感器的结构示意图，包括宽 带光源1、总线波导2、第一禪合微腔3、第二禪合微腔4和光探测器5;且宽带光源1、总线波导 2、第一禪合微腔3、第二禪合微腔4和光探测器5自左向右依次禪合连接，第一禪合微腔3、第 二禪合微腔4设置在总线2的同一侧，且通过倏逝场效应分别与总线波导相禪合。
[0037] 所述的宽带光源1采用外接的发光二极管。
[0038] 所述的总线波导2为单模传输平面集成光波导。
[0039] 所述的光探测器5为外接的光谱仪，用于测量最终输出光的光谱响应。
[0040] 所述的第一禪合微腔3、第二禪合微腔4均与待测物质直接接触，且均为一维光子 晶体纳米梁腔。
[0041] 将第一禪合微腔3、第二禪合微腔4共同组成的传感单元放入到待测物质环境中进 行传感测量时，输入光信号在总线波导中传输时通过倏逝场效应与第一禪合微腔3相禪合