在因多孔质支撑体97的挠曲而喷射点胶设备122和多孔质支撑体97表面之间的距离发生变化的情况下，所形成的层的厚度也不受到直接影响。因此，即使在多孔质支撑体97存在有制造误差的情况下，也能够将层形成为正确的厚度。
[0077]此外，在第I覆盖层形成工序中，调整了点成膜装置110的进给，以形成覆盖层104的中央部变高的凸状。即，在各覆盖层104的形成开始时，通过加大点成膜装置110的喷射点胶设备122的轴线方向的进给量，来减小所形成的点的轴线方向的重叠量，从而减薄所形成的覆盖层104。其后，通过逐渐减小喷射点胶设备122的进给量，来增大所形成的点的重叠量，从而增厚覆盖层104。在I个覆盖层104的形成完成时，通过逐渐增大喷射点胶设备122的轴线方向的进给量来减小点的轴线方向的重叠量从而减薄覆盖层104。如此，通过形成覆盖层104的中央部高的凸状，在下面的燃料极层形成工序中接触的浆料从覆盖层104之上迅速地流落到覆盖层104之外。由此，能够抑制很多的浆料在覆盖层104上堆积，导致在不需要部分上形成燃料极层。
[0078]接下来，在步骤S4中，作为燃料极层形成工序，在步骤S3中形成有覆盖层104的多孔质支撑体97上，对发电元件16a的功能层其中之一的燃料极层98进行成膜。具体而言，在第I面成膜工序即燃料极层形成工序中，用于形成燃料极的浆料从覆盖层104之上与多孔质支撑体97接触，从而燃料极层98被面成膜在没有覆盖层104的部分上。S卩，将在步骤S3中形成有覆盖层104的多孔质支撑体97固定于面成膜装置130的固定夹具132，一边使多孔质支撑体97旋转一边由覆盖层104之上对从下方的面成膜喷嘴136吐出的浆料进行涂布。因而，在燃料极层形成工序中，面成膜装置130作为燃料极层形成装置而发挥作用。
[0079]该燃料极层形成工序为在最下侧进行面成膜的下层面成膜工序，且为对在I根多孔质支撑体97上形成的全部的发电元件16a的各燃料极层98同时进行面成膜的面成膜工序。如此，由于在燃料极层形成工序中，通过面成膜而形成燃料极层98，因此能够平滑地形成燃料极层98的表面，而不会残留点成膜的点痕。
[0080]在本实施方式中，在燃料极层形成工序中所使用的浆料为在醇系溶剂中悬浊有N1粉末及10YSZ粉末的混合物的液体，另一方面，形成覆盖层104的覆盖形成剂为疏油性。因此，虽然浆料从覆盖层104之上与多孔质支撑体97整体接触，但覆盖层104上的浆料因覆盖形成剂而被排斥(弹回)，从而在覆盖层104之上不堆积。其结果，如图10(b)所示，燃料极层的膜仅形成在无覆盖层104的部分上。而且，如图4所示，由于在多孔质支撑体97上堆积的浆料因疏油性的覆盖形成剂而被排斥，从而不附着在覆盖层104上，因此边缘部因浆料的表面张力而以变圆的方式堆积。此外，虽然在本实施方式中作为覆盖形成剂而使用了疏油性的材料，但根据使用的浆料，也可以使用疏水性的覆盖形成剂。
[0081]而且，在燃料极层形成工序中，在燃料极层的膜被形成在多孔质支撑体97上后，实施有使堆积的浆料干燥的干燥工序(未图示)。在本实施方式中，在干燥工序中，使浆料在约100°C下干燥约5分钟。此外，在多孔质支撑体97上形成的覆盖层104在干燥工序后也维持原状。
[0082]接下来，在步骤S5中实施有煅烧工序。在煅烧工序中，利用加热炉(未图示)加热在步骤S4中形成了燃料极层的膜的多孔质支撑体97，并进行煅烧。如图10(c)所示，通过煅烧工序，在多孔质支撑体97上形成的覆盖层104蒸发并消失，从而覆盖层104之下的多孔质支撑体97被露出。在本实施方式中，燃料极层98通过加热炉在约1000°C下被加热约2小时，并被固化。该煅烧的N1/YSZ制的燃料极层98的颜色为大致淡绿色。
[0083]接下来，在步骤S6中作为第I互连器形成工序，在步骤S5中被煅烧的燃料极层98之上通过点成膜装置110形成互连层。具体而言，在第I互连器形成工序中，互连层102的一部分即第I互连层102a通过点成膜而被形成。S卩，第I互连器形成工序为点成膜工序，通过将用于形成第I互连层102a的浆料形成为液滴状并连续喷射于应形成第I互连层102a的区域，而在燃料极层98上的规定的区域中形成浆料的点，通过该点的聚集来形成第I互连层102a。因而，在第I互连器形成工序中，点成膜装置110作为互连器形成装置而发挥作用。此外，在本实施方式中，作为用于形成第I互连层102a的浆料，可以使用在醇系溶剂中悬浊有LSTNF的粉末的液体。
[0084]如图10 (d)所示，第I互连层102a被形成在各燃料极层98上的一侧的端部上。形成该第I互连层102a的部位的定位是基于图像解析而执行的。S卩，用照相机126对被固定于点成膜装置110的固定夹具116的多孔质支撑体97进行拍摄，并通过图像解析来特定多孔质支撑体97上的形成有燃料极层98的部分和未形成部分的边界线。基于该特定的边界线的位置，第I互连层102a被点成膜在燃料极层98上的规定的区域内。该边界线的特定是对每个在多孔质支撑体97上形成的各燃料极层98而执行的。
[0085]虽然在图9的步骤S3的第I覆盖形成工序中，以固定夹具116为基准而进行定位，但在第I互连器形成工序中，作为第I定位工序，使用图像解析并基于各燃料极层98的位置而进行定位。因此，无论因煅烧而产生的多孔质支撑体97的收缩或多孔质支撑体97的安装位置的变化，都能够将第I互连层102a正确地与各燃料极层98对齐。此外，用于形成燃料极层98的覆盖层104被形成为与多孔质支撑体97的旋转中心线A正交。因此，燃料极层98的边缘被形成为与旋转中心线A正交，即使在任意的旋转位置上拍摄多孔质支撑体97，燃料极层98和多孔质支撑体97的边界线的位置也都固定，从而能够将第I互连层102a的形成位置定位成单值。此外，在本实施方式中，由于多孔质支撑体97为大致白色，燃料极层98为淡绿色，因此亮度的对比度高，即使通过黑白的拍摄图像也能够正确地进行图像解析。此外，通过基于黑白图像而进行的图像解析，能够缩短图像解析所需的处理时间。
[0086]而且，在第I互连器形成工序中，在第I互连层102a的膜被形成后，实施有使堆积的浆料干燥的干燥工序(未图示)。在本实施方式中，在干燥工序中，在约100°C下使浆料干燥约10分钟。
[0087]接下来，在步骤S7中实施有煅烧工序。在煅烧工序中，在步骤S6中形成有第I互连层102a的膜的多孔质支撑体97通过加热炉(未图示)被加热，并被煅烧。通过该煅烧工序，在各燃料极层98上形成的第I互连层102a的膜被固化。在本实施方式中，第I互连层102a通过加热炉在约1000°C下被加热约2小时。该煅烧后的LSTNF制的第I互连层102a的颜色为大致茶色。
[0088]接下来，在步骤S8中作为第2覆盖形成工序，在步骤S7中煅烧后的第I互连层102a上通过点成膜装置110涂布覆盖形成剂，形成覆盖层106。S卩，第2覆盖形成工序为点成膜工序，通过将覆盖形成剂形成为液滴状并连续喷射到应形成覆盖层106的区域内，而在第I互连层102a上形成覆盖形成剂的点，通过该点的聚集来形成覆盖层106。
[0089]如图10 (e)所示，在第I互连层102a上，覆盖层106被形成为覆盖第I互连层102a，但残留其两侧的端部。作为第2定位工序，形成该覆盖层106的位置的定位是使用点成膜装置110的照相机126，通过图像解析而执行的。由于第I互连层102a为茶色，多孔质支撑体97为大致白色，燃料极层98为淡绿色，因此亮度的对比度高，能够根据拍摄图像来正确地进行定位。该点成膜后的覆盖层106在覆盖形成剂涂布后被自然干燥。在第2覆盖形成工序中使用的覆盖形成剂与在第I覆盖形成工序中使用的覆盖形成剂相同。
[0090]接下来，在步骤S9中，作为电解质层形成工序，发电元件16a的功能层其中之一的电解质层100被成膜在步骤S8中形成有覆盖层106的多孔质支撑体97上。具体而言，在第2面成膜工序即电解质层形成工序中，通过面成膜装置130，用于形成电解质层的浆料从覆盖层106之上与多孔质支撑体97接触，进而电解质层100被面成膜在无覆盖层106的部分上。因而，在电解质层形成工序中，面成膜装置130作为电解质层形成装置而发挥作用。该电解质层形成工序为在面成膜后的燃料极层98之上进行面成膜的上层面成膜工序，且为在I根多孔质支撑体97上形成的全部的发电元件16a的各电解质层100被同时面成膜的面成膜工序。
[0091]在本实施方式中，在电解质层形成工序中所使用的浆料为在醇系溶剂中悬浊有LSGM粉末的液体。虽然该浆料从覆盖层106之上与多孔质支撑体97整体接触，但浆料因覆盖层106而被排斥，从而在覆盖层106之上不堆积。其结果，如图10(f)所示，电解质层100的膜仅形成在无覆盖层106的部分上。即，多孔质支撑体97及燃料极层98的全部的露出部分、及第I互连层102a的未被覆盖层106覆盖的两侧的边缘部分被电解质层100的膜覆至
ΠΠ ο
[0092]此外，如图4所示，由于燃料极层98的边缘部被形成为圆形，因此在其上层叠的电解质层100的浆料无间隙地进入到燃料极层98和多孔质支撑体97的边界部，从而能够防止电解质层100之下的空隙的发生。而且，由于应形成电解质层100的浆料因覆盖层106而被排斥，从而不附着于覆盖层106，因此边缘部因表面张力而以变圆的方式堆积。在电解质层形成工序中，由于通过面成膜而形成电解质层100，因此能够得到不产生点痕、且平滑的表面。此外，由于电解质层100被形成在面成膜后的燃料极层98之上，因此也不存在因下层的表面的凹凸而损害平滑性的现象。
[0093]而且，在电解质层形成工序中，在电解质层100的膜被形成在多孔质支撑体97上后，实施有使堆积的浆料干燥的干燥工序(未图示)。在本实施方式中，在干燥工序中，在约100°C下使浆料干燥约5分钟。此外，在多孔质支撑体97上形成的覆盖层106在干燥工序后也维持原状。
[0094]接下来，在步骤SlO中实施有煅烧工序。在煅烧工序中，在步骤SlO中形成有电解质层100的膜的多孔质支撑体97通过加热炉(未图示)而被加热，并被煅烧。如图10(g)所示，通过煅烧工序，在第I互连层102a上形成的覆盖层106蒸发且消失。由此，第I互连层102a的被覆盖层106覆盖的部分露出。在本实施方式中，电解质层100通过加热炉在约1000°C下被加热约2小时，并被固化。该煅烧后的LSGM制的电解质层100的颜色为大致肤色。
[0095]接下来，在步骤Sll中，作为第2互连器形成工序，以与步骤SlO中的通过煅烧而露出的第I互连层102a进行电连接的方式而形成第2互连层。具体而言，如图10(h)所示，在第2互连器形成工序中，通过点成膜装置110形成有第2互连层102b，以覆盖露出的第I互连层102a、及与露出部分邻接的电解质层100的边缘部。S卩，第2互连器形成工序为点成膜工序，其通过将用于形成第2互连层102b的浆料形成为液滴状并连续喷射到应形成第2互连层102b的区域内，而在规定的区域内形成浆料的点，并通过该点的聚集来形成第2互连层102b。因而，在第2互连器形成工序中，点成膜装置110作为互连器形成装置而发挥作用。
[0096]在本实施方式中，作为用于形成第2互连层102b的浆料，可以使用在醇系溶剂中悬浊有SLT的粉末的液体。如此，在本实施方式中，第I互连层102a和第2互连层102b由不同的材料形成。而且，在第2互连器形成工序中，在形成第2互连层102b的膜后，实施有使堆积的浆料干燥的干燥工序(未图示)。在本实施方式中，在干燥工序中，在约100°C下使浆料干燥约10分钟。此外，作为第3定位工序，第2互连器形成工序中的形成第2互连层102b的部分的定位是使用图像解析而执行的。在第3定位工序中，基于煅烧后的第I互连层102a与电解质层100的颜色的差异而特定了它们的边界线。
[0097]接下来，在步骤S12中实施有第I烧成工序。在第I烧成工序中，到步骤Sll为止形成的多孔质支撑体97、燃料极层98、电解质层100、第I互连层102a、及第2互连层102b通过加热炉(未图示)而被加热，并被烧成。由此，多孔质支撑体97、及在其上形成的各功能层被一体化。在本实施方式中，在第I烧成工序中，通过加热炉在约1300°C下加热约2小时。此外，在本实施方式中，在第I烧成工序后电解质层100为大致黑色，第2互连层102b也为黑色，但在电解质层100上重叠的第2互连层102b端部为大致白色。
[0098]接下来，在步骤S13中，作为空气极层形成工序，在