技术特征：
技术总结
本发明提供一种电容式MEMS传感器阵列，包括至少3个纵向排列乘以至少3个横向排列的电容式MEMS传感器，所述电容式MEMS传感器包括聚焦层、上电极、上电极引出线、上电极引出板、上电极数据复合引入板、震动薄膜、间隙空腔、支撑层、绝缘层、下电极、下电极引出线、下电极引出板、下电极数据复合引入板、阵列基底层、自动切换单元、成像信号整合单元，所述自动切换单元控制电容式MEMS传感器在触压功能状态与超声功能状态之间切换，控制电容式MEMS传感器采集触压信号或者超声信号，成像信号整合单元整合上述数据信号，输出立体的三维形态数据信号。
技术研发人员：王洪超;宋军华;曹健;卢狄克;王晓琴;陈金
受保护的技术使用者：北京先通康桥医药科技有限公司
技术研发日：2017.08.16
技术公布日：2017.11.10