专利名称：腐蚀用或洗涤用溶液的制造方法
技术领域：
本发明涉及腐蚀用或洗涤用溶液的制造方法。
背景技术：
以前，使用各种含有氢氟酸盐及有机溶剂的腐蚀用或洗涤用组合物(特开2000-164585、特开2000-164586、特愿2001-326948)。
但是，由于氢氟酸和胺类、特别是与氨形成的盐难以溶于有机溶剂，因此，水含量低的浓溶液的配制特别困难。
本发明的目的在于，提供容易调制腐蚀用或洗涤用溶液的方法。
发明内容
本发明提供以下腐蚀用或洗涤用溶液的制造方法。
1.腐蚀用或清洗用溶液的制造方法，所述溶液含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水，所述方法包括工序1将氢氟酸水溶液和具有杂原子的有机溶剂中的至少一种混合；以及工序2将工序1得到的混合物和选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐混合。
2.腐蚀用或清洗用溶液的制造方法，所述溶液含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水，所述方法包括工序1将氢氟酸水溶液和选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐混合；工序2将工序1得到的混合物和具有杂原子的有机溶剂中的至少一种混合；以及根据需要工序3将工序2得到的混合物过滤。
3.腐蚀用或清洗用溶液的制造方法，所述溶液含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水，所述方法包括如下工序在含有具有杂原子的有机溶剂中的至少一种和水的混合液中，添加由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐的固态物，并使其溶解。
4.如第1或2项所述的方法，其中选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐是水溶液形式。
5.如第4项所述的方法，其中选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐的水溶液是氟化铵的水溶液。
6.如第3项所述的方法，其中前述固态物是氟化氢铵(NH4F·HF)。
7.如第1～6项中任一项所述的方法，其中得到的溶液是含有选自氟化氢铵、一、二或三乙醇胺氟化氢盐以及乙胺氟化氢盐构成的组中的至少一种；选自乙醇、异丙醇(IPA)以及丙酮构成的组中的至少一种具有杂原子的有机溶剂的含水溶液。
8.如第1～7项中任一项所述的方法，其中选自氟化氢铵、一乙醇胺氟化氢盐以及乙胺氟化氢盐构成的组中的至少一种为0.001～5质量％，选自乙醇、异丙醇(IPA)以及丙酮构成的组中的至少一种具有杂原子的有机溶剂为92～99.9989质量％，水为0.0001～3质量％。
9.腐蚀用或清洗用组合物的制造方法，所述组合物含有氟化氢铵及具有杂原子的的有机溶剂，所述方法包括以下工序将具有杂原子的有机溶剂和氢氟酸水溶液混合，然后与氟化铵溶液混合。
10.腐蚀用或清洗用组合物的制造方法，所述组合物含有氟化氢铵及具有杂原子的的有机溶剂，所述方法包括以下工序将氢氟酸水溶液和氟化铵溶液混合形成的混合液与具有杂原子的有机溶剂混合，并过滤析出的氟化氢铵。
通过本发明的方法得到的溶液，适合作为腐蚀用或洗涤用溶液。
腐蚀用的溶液适合作为特开2000-164585或特开2000-164586中记载的腐蚀液使用。特开2000-164585及特开2000-164586的记载作为参考在本说明书中引用。
腐蚀用的溶液，适合在半导体制造过程中使用。具体地，在STI、金属栅、接触孔、通孔、电容器等的洗涤、抗蚀剂产生的聚合物剥离或CMP后洗涤时，可以作为不引起表面粗糙的洗涤剂使用。该洗涤剂能够适合制造IC和LSI等半导体器件或液晶面板器件。
通过本发明方法制造的溶液，其特征在于，其含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种(以下称为“含氮碱成分”)和氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水。
(1) 含氮碱成分含氮碱成分，具体例如有氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐。
羟胺类具体例如有N，N’-二甲基羟胺、N-乙基羟胺、N，N’-二乙基羟胺、N-丙基羟胺、N-苯基羟胺等用具有直链或分支的碳数为1～4的烷基或苯基进行了一取代或二取代的羟胺。
脂肪族胺类具体例如有乙胺、丙胺、异丙胺、丁胺、己胺、辛胺、癸胺、十二烷胺、二甲胺、二乙胺、二丙胺、二异丙胺、二丁胺、三甲胺、三乙胺、三丙胺、三异丙胺、三丁胺等用具有直链或分支的碳数为1～12的烷基进行了一、二或三取代的脂肪族胺；一氟甲胺、二氟甲胺、三氟甲胺、全氟乙胺、全氟丙胺、全氟异丙胺、全氟丁胺、全氟己胺、全氟辛胺、二(全氟甲基)胺、二(全氟乙基)胺、二(全氟丙基)胺、二(全氟异丙基)胺、二(全氟丁基)胺、三(全氟甲基)胺、三(全氟乙基)胺、三(全氟丙基)胺、三(全氟异丙基)胺、三(全氟丁基)胺等用具有直链或支链的含有至少一个氟原子的C1～8烷基进行了一、二或三取代的脂肪族胺；乙醇胺、乙二胺、2-(2-氨基乙胺基)乙醇、二乙醇胺、2-乙胺基乙醇、二甲胺基乙醇、乙基二乙醇胺、环己胺、二环己胺等。
芳香族胺类具体例如有苯胺、N-甲基苯胺、N，N-二甲基苯胺、苄胺、二苄胺、N-甲基苄胺等。
脂肪族或芳香族季铵盐具体例如有四乙铵、四丙铵、四异丙铵、四丁铵、四苯铵等脂肪族或芳香族季铵的盐酸盐、氢溴酸盐、硫酸盐、硝酸盐等的无机酸盐。
这些含氮碱成分，可以单独或两种以上组合使用。
(2) 由含氮碱成分和氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐由含氮碱成分和氢氟酸形成的氟化物盐，例如可以举出含氮碱成分和氢氟酸(HF)按1∶1的摩尔比结合的化合物，例如氨和氢氟酸形成的氟化物盐是氟化铵，羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类和氢氟酸也同样，形成两者以1∶1的比率结合的氟化物盐〔(含氮碱成分)·HF〕。
脂肪族或芳香族季铵和氢氟酸形成的氟化物盐，用(脂肪族或芳香族季铵)·F表示。
同样地，由含氮碱成分和氢氟酸形成的氟化氢盐，例如可以举出含氮碱成分和氢氟酸(HF)按1∶2的摩尔比结合的化合物，例如氨和氢氟酸形成的氟化氢盐是氟化氢铵，羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类和氢氟酸形成的氟化氢盐也同样，形成两者以1∶2的比率结合的氟化氢盐〔(含氮碱成分)·2HF〕。
脂肪族或芳香族季铵和氢氟酸形成的氟化氢盐，用(脂肪族或芳香族季铵)F·HF表示。
脂肪族或芳香族季铵和氢氟酸形成的氟化氢盐，用(脂肪族或芳香族季铵)F·HF表示。
通过本发明的制造方法，可以优选制造含有水溶解度更低氟化氢盐(hydrogenfluoride)溶液。
本发明中优选使用的氟化物盐及氟化氢盐具体例如有氟化铵、氟化氢铵、一乙醇胺氟化物盐、一乙醇胺氟化氢盐、乙胺氟化物盐、乙胺氟化氢盐、二乙醇胺氟化物盐、二乙醇胺氟化氢盐、三乙醇胺氟化物盐、三乙醇胺氟化氢盐、甲胺氟化物盐、甲胺氟化氢盐、丙胺氟化物盐、丙胺氟化氢盐等，优选氨、乙醇胺、乙胺的氟化物盐及氟化氢盐。
(3) 具有杂原子的有机溶剂本发明组合物中所含的具有杂原子的有机溶剂具体例如有N，N’-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、二甲亚砜、N-甲基-2-吡咯烷酮、1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；甲醇、乙醇、异丙醇(IPA)、1-丙醇、1-丁醇、2-丁醇、叔丁醇、2-甲基-1-丙醇、1-正戊醇、1-己醇、1-庚醇、4-庚醇、1-辛醇、1-壬醇、1-癸醇、1-十二烷醇等醇类；乙二醇、1，2-丙二醇、丙二醇、2，3-丁二醇、丙三醇等多元醇类；丙酮、乙酰丙酮、甲基乙基酮、1，3-二羟基丙酮等酮类；乙腈、丙腈、丁腈、异丁腈、苄腈等腈类；甲醛、乙醛、丙醛等醛类；乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚、二乙二醇一丁醚等亚烷基二醇一烷基醚类；四氢呋喃、二氧六环等环状醚类；三氟乙醇、五氟丙醇、2，2，3，3-四氟丙醇等氟醇；1，1，2，2-四氟-1-(2，2，2-三氟乙氧基)乙烷等氢氟醚类；乙酸、丙酸、丁酸、异丁酸、戊酸、己酸、辛酸、一氯乙酸、二氯乙酸、三氯乙酸、一氟乙酸、二氟乙酸、三氟乙酸、α-氯丁酸、δ-氯丁酸、γ-氯丁酸、乳酸、乙醇酸、丙酮酸、乙醛酸、丙烯酸等一元羧酸；甲磺酸、甲苯磺酸等磺酸；草酸、琥珀酸、己二酸、酒石酸、柠檬酸等多元羧酸；环丁砜及硝基甲烷。更优选由醇类、一元羧酸及酮类构成的含氧有机溶剂。具体地，更优选列举甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇(IPA)等醇类，丙酮、甲基乙基酮、1，3-二羟基丙酮等酮类，乙酸、丙酸等一元羧酸类。这些具有杂原子的有机溶剂可以单独或两种以上组合使用。
(4) 本发明的制造方法以下，将含氮碱成分和氢氟酸形成的氟化物盐只记载为氟化物盐，将含氮碱成分和氢氟酸形成的氟化氢盐只记载为氟化氢盐。
氢氟酸优选使用55质量％以下、更优选约50质量％的水溶液。
氟化物盐及氟化氢盐在具有杂原子的有机溶剂中的溶解度低。例如在具有杂原子的有机溶剂中添加氟化物盐的水溶液后，即使加入氢氟酸水溶液，也有沉淀析出，该沉淀不溶解形成残留。
在添加氟化物盐及氟化氢盐的固态物时，必须添加到水或含水有机溶剂中。在非水有机溶剂中添加氟化物盐及氟化氢盐后，即使加水，也不能使氟化物盐及氟化氢盐的固态物溶解。
因此，本发明中，各成分的配合顺序非常重要。
作为含有氟化氢盐为主要成分的溶液的制造方法的实施方式之一，例如，将具有杂原子的有机溶剂和氢氟酸水溶液混合，然后，加入含氮碱成分或其氟化物盐的水溶液的方法。变更该添加顺序，将具有杂原子的有机溶剂和含氮碱成分或其氟化物盐的水溶液混合，然后即使加入氢氟酸水溶液也不溶解，析出沉淀。
作为含有氟化物盐为主要成分的溶液的制造方法的实施方式之一，例如，将具有杂原子的有机溶剂和氢氟酸水溶液混合，然后，加入含氮碱成分或其水溶液的方法。变更该添加顺序，将具有杂原子的有机溶剂和含氮碱成分或其水溶液混合，然后加入氢氟酸水溶液时，析出沉淀。
作为含有氟化氢盐的溶液的制造方法的其它实施方式，例如，将氢氟酸水溶液和氟化物盐的水溶液，优选按HF∶氟化物盐＝1∶1(摩尔比)的比例混合成氟化氢盐水溶液，然后将该水溶液和具有杂原子的有机溶剂混合的方法。在该方法中，如果相对地减少有机溶剂的使用量，就可以得到氟化氢盐的浓缩溶液，根据其浓度的不同氟化氢盐析出，但由于该析出物是纯氟化氢盐，因此适用于半导体制造等的必须使用高纯度氟化氢盐的场合。滤液适合作为腐蚀或洗涤用途的溶液使用。由于该滤液是氟化氢盐的浓厚溶液，因此，在使用时，加入具有杂原子的有机溶剂调整浓度后，可以使用。NH4F·HF等的氟化氢盐的含水溶液，由于达到平衡需要时间，因此，即使没有变成饱和溶解度，也存在氟化氢盐析出的倾向。滤液中的氟化氢盐的浓度，可以通过测定电导率确定，可以通过稀释等配制成必要组成的溶液等。
作为含有氟化物盐的溶液的制造方法的其它实施方式，例如，将氢氟酸水溶液和含氮碱成分或其水溶液，优选按HF∶含氮碱成分＝1∶1(摩尔比)的比例混合成氟化物盐水溶液，然后将该水溶液和具有杂原子的有机溶剂混合的方法。在该方法中，如果相对地减少有机溶剂的使用量，就可以得到氟化物盐的浓缩溶液，根据其浓度的不同氟化物盐析出，但由于该析出物是纯氟化物盐，因此适用于半导体制造等的必须使用高纯度氟化物盐的场合。滤液适合作为腐蚀或洗涤用途的溶液使用。由于该滤液是氟化物盐的浓厚溶液，因此，在使用时，加入具有杂原子的有机溶剂调整浓度后，可以使用。NH4F等的氟化物盐的含水溶液，由于达到平衡需要时间，因此，即使没有变成饱和溶解度，也存在氟化物盐析出的倾向。滤液中的氟化物盐的浓度，可以通过测定电导率确定，可以通过稀释等配制成必要组成的溶液等。
作为含有氟化氢盐的溶液的制造方法的其它实施方式，例如，在将具有杂原子的有机溶剂和水混合成的含水溶液中，将氟化氢盐的固态物加入溶解的方法。在该方法中，由于将氟化氢盐加入到具有杂原子的有机溶剂中后，即使加入水也不完全溶解，因此有必要在含水有机溶剂中加入氟化氢盐。
作为含有氟化物盐的溶液的制造方法的其它实施方式，例如，在将具有杂原子的有机溶剂和水混合成的含水溶液中，将氟化物盐的固态物加入溶解的方法。在该方法中，由于将氟化物盐加入到具有杂原子的有机溶剂中后，即使加入水也不完全溶解，因此有必要在含水有机溶剂中加入氟化物盐。
在用本发明的制造方法得到的腐蚀用或洗涤用的溶液中，氟化氢铵等含氮碱成分的氟化氢盐的含量，优选为约0.001～约10质量％范围，更优选为约0.001～约5质量％范围。另外，氟化铵等含氮碱成分的氟化物盐的含量，优选为约0.001～约10质量％范围，更优选为约0.001～约5质量％范围，进一步优选为约0.001～约4质量％范围。
水含量优选为10质量％以下，更优选为3质量％以下，且优选为0.0001质量％以上，更优选为0.0005质量％以上。
具有杂原子的有机溶剂的含量优选为80质量％以上，更优选为92质量％以上。
通过本发明方法制造的溶液，通常含有(1)氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种0.001～10质量％；(2)具有杂原子的有机溶剂80～99.9989质量％；以及(3)水0.0001～10质量％；优选含有(1)氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种0.001～5质量％；(2)具有杂原子的有机溶剂85～99.9985质量％；以及(3)水0.0005～10质量％。
本发明的优选溶液的配比如下所示。
·氟化氢铵∶IPA∶水＝0.001～5质量％∶92～99.999质量％∶大于0～3质量％以下；优选0.001～5质量％∶92～99.9989质量％∶0.0001～3质量％；更优选0.001～5质量％∶92～99.9985质量％∶0.0005～3质量％；·氟化氢铵∶乙醇∶水＝0.001～5质量％∶92～99.999质量％∶大于0～3质量％以下；优选0.001～5质量％∶92～99.9989质量％∶0.0001～3质量％；更优选0.001～5质量％∶92～99.9985质量％∶0.0005～3质量％；·氟化氢铵∶丙酮∶水＝0.001～5质量％∶92～99.999质量％∶大于0～3质量％以下；优选0.001～5质量％∶92～99.9989质量％∶0.0001～3质量％；更优选0.001～5质量％∶92～99.9985质量％∶0.0005～3质量％；·氟化铵∶IPA∶水＝0.001～4质量％∶86～99.999质量％∶大于0～10质量％以下；优选0.001～4质量％∶86～99.9989质量％∶0.0001～10质量％；更优选0.001～4质量％∶86～99.9985质量％∶0.0005～10质量％；
·氟化铵∶乙酸∶水＝0.001～4质量％∶94.5～99.999质量％∶大于0～1.5质量％以下；优选0.001～4质量％∶94.5～99.9989质量％∶0.0001～1.5质量％；更优选0.001～4质量％∶94.5～99.9985质量％∶0.0005～1.5质量％；·氟化铵∶乙醇∶水＝0.001～5质量％∶85～99.999质量％∶大于0～10质量％以下；优选0.001～5质量％∶85～99.9989质量％∶0.0001～10质量％以下；更优选0.001～5质量％∶85～99.9985质量％∶0.0005～10质量％以下；·一乙醇胺氟化氢盐∶乙醇∶水＝0.001～5质量％∶92～99.999质量％∶大于0～3质量％以下；优选0.001～5质量％∶92～99.9989质量％∶0.0001～3质量％；更优选0.001～5质量％∶92～99.9985质量％∶0.0005～3质量％；·一乙醇胺氟化氢盐∶IPA∶水＝0.001～5质量％∶92～99.999质量％∶大于0～3质量％以下；优选0.001～5质量％∶92～99.9989质量％∶0.0001～3质量％；更优选0.001～5质量％∶92～99.9985质量％∶0.0005～3质量％。
通过本发明的制造方法得到的腐蚀或洗涤用途的溶液，由于其保存稳定性优良，因此可以使用大量制造贮藏的溶液，也可以在进行腐蚀或洗涤的工厂内等使用时调制必要量马上使用。另外，以氟化物盐或氟化氢盐浓度高的浓缩溶液的形式制造该溶液，在使用时加入具有杂原子的有机溶剂稀释到必要的浓度使用也可以。
根据本发明，可以简便地调制可以在腐蚀或洗涤用途中使用的溶液。
具体实施例方式
下面，用实施例及比较例对本发明作更详细的说明。
需要说明的是，在实施例的判定中，结晶的析出状态用目测判定。
另外，电导率(μS/cm)表示用东亚电波工业制(CM-40S)在25℃的测定值。
实施例1～2、比较例1～2在1L有机溶剂(IPA)中，如表1所示分别添加50％HF(HF0.0067摩尔)和40％NH4F(NH4F0.0067摩尔)时，因向IPA中的添加顺序不同而导致的结晶析出的状态和做成的腐蚀液的电导率如表1所示。
向IPA中的添加方法如下。
在搅拌有机溶剂(IPA)1L的条件下，将50％HF水溶液缓缓滴下。然后将40％NH4F水溶液缓缓滴下。
表1由50％HF、40％NH4F添加顺序得到的腐蚀液调制结果
实施例3～5
将50％HF水溶液与40％NH4F水溶液以50％HF水溶液(32.0g)与40％NH4F水溶液(73.6g)混合，调制HF和NH4F等摩尔水溶液。
将有机溶剂(IPA)1L和先前的HF/NH4F等摩尔水溶液全部混合。IPA和HF/NH4F由于不完全溶解，故分离，析出结晶，搅拌溶解至上清液的电导率为400μS/cm以上。
在上清液的电导率达到400μS/cm以上时，过滤分离上清液和结晶部分。
混合IPA和上清液，通过监测电导率，调整腐蚀溶液的浓度。结果如表2所示。
表2由高浓度NH4FHF·IPA上清液得到的腐蚀溶液调整结果
实施例6及比较例3在有机溶剂(IPA)1L中添加粉末NH4F·HF和水时，由于向IPA中的添加顺序不同而导致的结晶析出的状态和做成的腐蚀液的电导率如表3所示。
在有机溶剂(IPA)1L中添加水5.0g搅拌后，添加粉末NH4F·HF0.38g并充分搅拌。
另外，在有机溶剂(IPA)1L中添加粉末NH4F·HF 0.38g搅拌后，添加水5.0g并充分搅拌。
表3由粉末NH4F·HF和水的添加顺序而得到的腐蚀液调制结果
权利要求
1.腐蚀用或清洗用溶液的制造方法，所述溶液含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水，所述方法包括工序1将氢氟酸水溶液和具有杂原子的有机溶剂中的至少一种混合；以及工序2将工序1得到的混合物和选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐混合。
2.腐蚀用或清洗用溶液的制造方法，所述溶液含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水，所述方法包括工序1将氢氟酸水溶液和选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐混合；工序2将工序1得到的混合物和具有杂原子的有机溶剂中的至少一种混合；以及根据需要工序3将工序2得到的混合物过滤。
3.腐蚀用或清洗用溶液的制造方法，所述溶液含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水，所述方法包括如下工序在含有具有杂原子的有机溶剂中的至少一种和水的混合液中，添加由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种与氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐的固态物，并使其溶解。
4.如权利要求1或2所述的方法，其中选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐是水溶液形式。
5.如权利要求4所述的方法，其中选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐的水溶液是氟化铵的水溶液。
6.如权利要求3所述的方法，其中前述固态物是氟化氢铵(NH4F·HF)。
7.如权利要求1～6任一项所述的方法，其中得到的溶液是含有选自氟化氢铵、一、二或三乙醇胺氟化氢盐以及乙胺氟化氢盐构成的组中的至少一种；选自乙醇、异丙醇(IPA)以及丙酮构成的组中的至少一种具有杂原子的有机溶剂的含水溶液。
8.如权利要求1～7任一项所述的方法，其中选自氟化氢铵、一乙醇胺氟化氢盐以及乙胺氟化氢盐构成的组中的至少一种为0.001～5质量％，选自乙醇、异丙醇(IPA)以及丙酮构成的组中的至少一种具有杂原子的有机溶剂为92～99.9989质量％，水为0.0001～3质量％。
9.腐蚀用或清洗用组合物的制造方法，所述组合物含有氟化氢铵及具有杂原子的的有机溶剂，所述方法包括以下工序将具有杂原子的有机溶剂和氢氟酸水溶液混合，然后与氟化铵溶液混合。
10.腐蚀用或清洗用组合物的制造方法，所述组合物含有氟化氢铵及具有杂原子的的有机溶剂，所述方法包括以下工序将氢氟酸水溶液和氟化铵溶液混合形成的混合液与具有杂原子的有机溶剂混合，并过滤析出的氟化氢铵。
全文摘要
腐蚀用或洗涤用溶液的制造方法，所述溶液的特征在于，其含有(1)由选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种和氢氟酸形成的氟化物盐及氟化氢盐中的至少一种；(2)具有杂原子的有机溶剂中的至少一种；以及(3)水，所述方法包括工序1，将氢氟酸水溶液和具有杂原子的有机溶剂中的至少一种混合；和工序2，将工序1得到的混合物和选自氨、羟胺类、脂肪族胺类、芳香族胺类、脂肪族或芳香族季铵盐构成的组中的至少一种或其氟化物盐混合。
文档编号C11D7/06GK1759472SQ20048000679
公开日2006年4月12日 申请日期2004年3月10日 优先权日2003年3月17日
发明者陶山诚, 毛塚健彦, 板野充司 申请人:大金工业株式会社