专利名称：清洁装置及结合此装置的设备清洁方法
技术领域：
本发明涉及一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法；尤其涉及一种供 快速清洁涂布机针头设备内壁残留物质的装置及清洁方法。
背景技术：
目前的平面显示装置工艺中，由于面板组装(Cell)段工艺框胶涂布机所使 用的针头设备价格昂贵之故，实务上都是使用溶剂清洗后一再地重复使用；此 外，由于框胶涂布机所使用的针头设备其孔径较小，因此必须于换线时进行更 换并加以清洁，以避免针头处发生凝胶阻塞针孔而影响涂布。图1所示为目前框胶涂布机针头设备的清洗方式。在图1所示的实施例中， 待清洁物20 (如针头设备等)摆放于清洁载具40的清洁孔内，且清洁载具40 置放于盛有丙酮溶剂的流体容器30中。如图1所示，待清洁物20需浸泡于丙 酮溶剂中并搭配超音波震荡器使用震荡约2小时以上，才可将待清洁物20内 壁的胶材洗净。除清洗时间较长外，也容易造成换线时针头设备来不及清洗完 成而使生产线停机的情况。此外，由于清洁后的针头设备通常利用气枪将其吹 干，因此，有可能在吹气瞬间将针头设备吹飞走，轻微者造成针尖撞击后缺角 而报废，严重者甚至可能发生针尖射伤人的情形。发明内容本发明所要解决的技术问题在于提供一种清洁装置及结合此装置的设备 清洁方法，可加速设备清洗效果并降低因清洁时的操作不慎所产生的设备报废 成本。本发明的另一目的在于提供一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法， 使用较少量的溶剂清洗待清洁物，以达到溶剂使用的最大效率。本发明的另一目的在于提供一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法， 针头设备在吹干的过程中仍固定设置于座部内，可有效避免针头设备吹飞的情
形发生。为实现上述目的，本发明所提供的清洁装置包含清洁载具及压力控制系 统，两者是与流体相互配合使用，而于清洁载具内产生流体力借以移除如针头 设备的类的待清洁物上的残留材料。清洁载具具有座部及外壳体彼此接合形成 清洗腔，供流体充填于其间以清洁装载于座部内的待清洁物；其中，外壳体顶 端进一步设有导孔，座部内进一步包含流体通道与待清洁物连通，且导孔、清 洗腔及流体通道相互连通。压力控制系统则具有给压部与导孔压力相连，而使 压力控制系统与清洁载具压力连通，压力控制系统藉正负压的转换，于清洗腔 及流体通道产生流体力而将残留材料移除的。在较佳实施例中，座部进一步包 含底面、侧壁及装载面，装载面设有轴孔及至少一膛孔，且装载面与侧壁顶端 共同围成凹槽供待清洁物装载于其间，其中装载面与底面间进一步设有至少一 导槽，至少一导槽与轴孔连通形成流体通道，当待清洁物固定设置于至少一膛 孔内，待清洁物的侧孔与至少一导槽连通并容许流体自流体通道进出待清洁 物。本发明同时提供一种设备清洁方法，包含下列步骤首先，盛载流体于容 器内；其次，装载待清洁物于清洁载具内，并将装载有待清洁物的清洁载具浸 泡于流体中；接着，将压力控制系统连接至清洁载具，使其与压力控制系统压 力相连，其中压力控制系统用以转换正负压而于清洁载具内产生流体力；最后， 转换正负压以控制流体自至少一开孔进出待清洁物以移除残留材料。采用本发明可加速设备清洗效果并降低因清洁时的操作不慎所产生的设 备报废成本。并且针头设备在吹干的过程中仍固定设置于座部内，不会出现针 头设备吹飞的情形。
图1所示为现有技术涂布机针头清洁装置；图2a所示为本发明清洁装置一较佳实施例的组合立体图；图2b所示为本发明清洁装置一较佳实施例的分解图；图2c所示为本发明清洁装置另一较佳实施例的分解图；图3a所示为本发明清洁装置另一较佳实施例的组合立体图；图3b所示为本发明清洁装置另一较佳实施例的分解图3c为图3b所示另一较佳实施例其座部的放大图； 图3d所示为本发明清洁装置另一较佳实施例的剖面视图； 图4a所示为本发明清洁装置压力控制系统的一较佳实施例； 图4b所示为本发明清洁装置压力控制系统的一较佳实施例； 图5所示为本发明清洁装置压力控制系统的另一较佳实施例; 图6所示为本发明设备清洁方法的步骤流程图。其中，附图标记现有技术20:待清洁物 30:流体容器40:清洁载具本发明100 :流体200 :待清洁物201:侧孔210:至少一开孔300:容器400:清洁载具410:导孔420:清洗腔430:流体通道500:外壳体510:帽部511:流体导槽600:座部601:凹槽610:底面620:侧壁630:装载面631:轴孔632:开口633:定位槽孔640:导槽650:膛孔660:城垛部661:凸缘662:间隙670:环状垫片680:螺孔681:螺栓700:压力控制系统710:给压部720:透明导管730:定时器800:通气阀
具体实施方式
本发明提供一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法，可加速设备清洗 效果并降低因清洁时的操作不慎所产生的设备报废成本。本发明的清洁装置及 结合此装置的设备清洁方法，较佳为使用较少量的溶剂清洗如针头设备等的待 清洁物，以达到溶剂使用的最大效率。在此，待清洁物包含但不限于面板组装(Cell)段工艺中框胶涂布机所使用的针头设备，举凡具有较小孔径的针头设备 如晶片针测机，甚或内壁易于堆积残留材料的其它设备机具，如喷油嘴或其它 涂布喷嘴(nozzle)等，都有适用本发明清洁装置及设备清洁方法的可能。本发明的清洁装置较佳包含清洁载具及压力控制系统，两者与呈流体状态 的清洁溶剂配合使用，可于密闭的清洁载具内产生流体力将残留于待清洁物 (如针头设备等)孔径内的胶状材料或其它附着物加以移除。在此，清洁溶剂是 指如丙酮溶剂等可溶解框胶材料的有机溶剂，然而在不同实施例中，也可使用 其它如环己酮、二丙酮醇等可溶解残留胶材的溶剂。如图2a及图2b的实施例所示，本发明清洁装置的清洁载具400较佳包含 座部600及外壳体500，座部600供装载待清洁物200，外壳体500则连接于 座部600上方形成密闭的清洁载具。如图2a的较佳实施例所示，外壳体500 顶端设有导孔410，外壳体500底端与座部600接合形成清洗腔420，供流体 充填于其间以清洁装载于座部600内的待清洁物。如图2a及图2b所示，外壳 体500较佳为于底端内缘设有螺纹而与座部600螺接，然而在不同实施例中， 也可于外壳体500与座部600接合处的两侧设置卡合扣夹，或直接将外壳体 500与座部600套接以形成清洗腔420。如图2a的较佳实施例所示，压力控制系统700具有给压部710，清洁装 置则另包含有透明导管720连结设置于清洁载具400与给压部710间，供显现 流体于清洁载具400的作动状态。如图2a及图2b所示，透明导管720的一端 部较佳连接至通气阀800而与给压部710压力相连，且其另一端部进一步螺接 至外壳体500的导孔410而使压力控制系统700与清洁载具400压力连通。然 而在其它不同实施例中，透明导管720也可为于清洁载具400的部分外壳体 500形成透明管壁。此透明管壁可邻设于清洁载具400的导孔410附近，以显 现流体于清洁载具400的作动状态，如图2c所示。 如图2b的较佳实施例所示，待清洁物200具有侧孔201及至少-一开孔210， 侧孔201在待清洁物200内部与开孔210连通。待清洁物200装载于清洗腔 420及座部600内，座部600进一步包含至少一膛孔650供装载待清洁物200。 如图2b所示，座部600内较佳进一步包含流体通道430。流体通道430较佳 设置于座部600的中央，并为多个膛孔650所包围。流体信道430与平行的膛 孔650、导孔410及清洗腔420均相互连通。在此实施例中，流体通道430并 与充填于至少一膛孔650内的待清洁物200内部空腔连通。待清洁物200借侧 孔201与流体通道430压力连通，以容许流体受压力控制系统700作用时，自 至少一开孔210进出流体通道430及装载于清洁载具400座部600内的待清洁 物200。座部600较佳进一步包含底面610、侧壁620及装载面630，侧壁620具 有内表面，且侧壁620底端围绕底面610连结设置于底面610上方。如图2b 的较佳实施例所示，装载面630进一步与侧壁620顶端共同围成凹槽601，除 供装载待清洁物200于其间，并进一步提供待清洁物200的清洗空间。此外， 如图2b所示，为固定待清洁物200于清洗腔420内的相对位置，清洁装置较 佳另包含环状垫片670设置于座部600与外壳体500间，其中环状垫片670 部份卡合设置于凹槽601内，并借自该卡合部份延伸的凸缘压制设置于至少一 膛孔650内的待清洁物200。然而在其它较佳实施例中，如图2b所示，清洁 装置较佳也包含于清洁载具400的侧壁620设置至少一螺孔680并与螺栓681 配合使用，其中每一螺孔680相应设置于每一膛孔650的径向上，当待清洁物 200装载于至少一膛孔650内，螺栓681与至少一螺孔680螺接以固定待清洁 物200。图3a至图3c所示为本发明清洁装置其清洁载具400的另一较佳实施例。 在如图3a及图3b所示的实施例中，清洁载具400的外壳体500较佳为进一步 包含帽部510，且帽部510内设有流体倒槽511。如图3a及图3b的较佳实施 例所示，当帽部510底端与侧壁620顶端接合，流体导槽511与凹槽601连通 形成清洗腔420，供流体充填于其间以清洁装载于座部600内的待清洁物200。 如图3b及图3c所示，座部600较佳进一步包含底面610、侧壁620及装载面 630，其中侧壁620具有内表面，且侧壁620底端围绕底面610连结设置于底 面610上方。
如图3c的剖面视图所示，装载面630较佳相邻设置于底面610上方并与 侧壁62Q的内表面相连。在此较佳实施例中，装载面630具有轴孔631，且装 载面630与底面610间设有至少一导槽640与轴孔631相连通以形成流体通道 430。如图3c所示，轴孔631较佳与至少一导槽640彼此连通而于底面610 与装载面630间形成倒T型流体通道。然而在不同实施例中，至少一导槽640 也可与水平夹一角度而与轴孔631连通形成倒Y型流体通道或其它利于流体流 通的管道。
如图3b及图3c的较佳实施例所示，座部600另包含至少一膛孔650供装 载待清洁物200，其中待清洁物200具有侧孔201及位于顶端及底端开孔210， 侧孔201及开孔210均分别连通待清洁物200内部的空腔。膛孔650自底面 610向装载面630延伸导通底面610及装载面630，且与导槽640压力相连(请 同时参阅图3d)。如图3b及图3c的较佳实施例所示，膛孔650于装载面630 形成至少一开口 632供装载待清洁物200。当待清洁物200固定设置于至少一 膛孔650内，侧孔201与至少一导槽640连通并容许流体自流体通道430进出 待清洁物200 (请同时参阅图3d)。如图3b及图3c所示，至少一膛孔650较 佳成对地布设于装载面630的周缘附近，并与至少一导槽640相互连通。在较 佳实施例中，至少一膛孔650的设置数量可因应待清洁物200的使用需求及孔 径大小而作弹性调整与设计。如图3d所示，至少一导槽640较佳于轴孔631 的径向上向外延伸而成形为管状导槽，且其端部与至少一膛孔650相连通。然 而在不同实施例中，至少一导槽640也可包含夹于装载面630及底面610间形 成盘状导槽(图中未绘示)，而与至少一膛孔650相连通。
如图3c所示，至少一开口 632的周围较佳设有具有方向性的定位槽孔 633。此处所言的方向性，指定位槽孔633具有防呆设计，当待清洁物200置 入错误时会卡住而无法推到底，因此必须在正确置入时，待清洁物200顶端始 能与定位槽孔633接合而固定设置于膛孔650内，且待清洁物200的侧孔201 始能与导槽640相连通。如图3c所示，座部600较佳另包含城垛部660环绕 连结于底面610下方，其中城垛部660具有多个凸缘661彼此夹一间隙662 且依序环绕设置于底面610内缘。当压力控制系统700控制流体进出待清洁物 200，城垛部660的间隙662提供流体易于流动的管道，并避免重复使用局部 区域的清洁溶剂。如图4a、图4b及图5所示，清洁载具400较佳与压力控制系统700压力 相连，并置放于盛满清洁溶剂的容器300中。如图4a、图4b及图5的较佳实 施例所示，容器300供承载流体100 (即呈流体状态的清洁溶剂)于其间，清 洁载具400则浸泡于流体100中。如此，容器300便与流体通道430连通设置， 待清洁物200与流体通道430压力连通以容许流体100自开孔210及侧孔201 进出清洁载具400。如图4a及图4b所示，容器300较佳具有底部及侧壳体围 绕连结于底部上方形成槽体以供盛载流体100，因此如图4a及图4b所示，容 器300较佳包含烧杯，然而在不同实施例中，容器300也可包含盆体、水槽或 其它清洗槽。如图4a、图4b及图5所示，压力控制系统700较佳具有给压部710，且 给压部710与导孔410压力相连，而使压力控制系统700与清洁载具400压力 连通(请同时参阅图2a及图2b)。压力控制系统700借正负压的转换，于清洗 腔420及流体通道430产生流体力以移除待清洁物200内的残留材料。此处所 言的流体力，指吸力及推力其中之一，也即，随着压力控制系统700的正负压 转换，将于清洗腔420及流体通道430内间次产生吸力及推力以移除残留材料。如图4a的较佳实施例所示，压力控制系统700包含气压控制系统，当气 压控制系统提供负压，(请同时参阅图2a及图2b)将于清洗腔420及流体通 道430产生吸力以带动流体100自底端的开孔210进入待清洁物200。此外， 如图4b的较佳实施例所示，当气压控制系统持续提供正压，气压控制系统将 于清洗腔420及流体通道430产生推力自待清洁物200底端的开孔210向外排 出残留材料并可进一歩干燥待清洁物200。在此较佳实施例中，压力控制系统 700进一歩包含至少一定时器730，供调控正负压的切换频率。如图5所示， 压力控制系统700较佳也包含液压控制系统，当液压控制系统提供负压，液压 控制系统于清洗腔420及流体通道430产生吸力以带动流体100自至少一开孔 210进入待清洁物200，并于移除待清洁物200的残留材料后，自清洁载具400 的导孔410排出。如图6所示，本发明同时提供一种结合此清洁装置的设备清洁方法，包含 下列步骤首先，在步骤1510中，盛载流体于容器内。接着，在步骤1530 中装载待清洁物于清洁载具内，并将装载有待清洁物的清洁载具浸泡于流体 中。以图3a及图3b所示的实施例而言，清洁载具400进一歩包含外壳体500 及座部600，其中装载待清洁物歩骤进一歩包含装载待清洁物200至座部600 内，以及接合装载有待清洁物200的座部600与外壳体500形成清洗腔420。 如图3b至图3d所示，待清洁物200另包含侧孔201，座部600另包含至少一 膛孔650与成形于座部600内的流体通道430相互连通，其中装载待清洁物步 骤进一步包含填充待清洁物200至至少一膛孔650内以及对齐侧孔201与流体 通道430，当待清洁物200固定设置于至少一膛孔650内，侧孔201与流体通 道430连通并容许流体进出待清洁物200。当实施于图3b至图3d所示的装置上时，装载待清洁物步骤较佳另包含于 座部600与外壳体500间设置环状垫片670，其中环状垫片670部份卡合设置 于凹槽601内，以固定装载于座部600内的待清洁物200。如图3b所示，在 此较佳实施例中，由于至少一膛孔650于装载面630形成至少一开口 632，因 此装载待清洁物步骤较佳进一步于至少一开口 632周围设置定位槽孔633具有 方向性，供待清洁物200顶端与定位槽孔633接合而固定设置于至少一膛孔 650内，以确保待清洁物200的侧孔201与流体通道430的至少一倒槽640相 连通。此外，为加强待清洁物200的固定性，装载待清洁物步骤较佳也包含于 座部600的侧壁620设置至少一螺孔，其中至少一螺孔相应设置于至少一膛孔 650的径向上，当待清洁物200装载于至少一膛孔650内，可螺接螺栓至该至 少一螺孔以固定待清洁物200。在此步骤中必须详加注意的是，若待清洁物200 的装载量较座部600内所具有的至少一膛孔650数目为少而有空位出现时，较 佳可以插鞘填补以免造成清洗效果变差。另外，为加强待清洁物200的清洁效 果，前述的步骤较佳另包含于座部600下方环绕连结城哚部660，城垛部660 具有多个凸缘661彼此夹间隙662且依序环绕设置于底面610内缘，其中城垛 部660的该间隙662提供流体易于流动的管道，并避免重复使用局部区域的清 洁溶剂，如图3a及图3b所示。随后，在歩骤1550中，连接压力控制系统至清洁载具使其与压力控制系 统压力相连，其中压力控制系统用以转换正负压而于清洁载具内产生流体力。 在较佳实施方式中，外壳体500进一步包含导孔410，连接压力控制系统步骤 进一步包含接合压力控制系统700与导孔410，当压力控制系统于清洁载具400 内产生流体力，流体100自至少一开孔201进出待清洁装置200及清洗腔420。 当实施于图4所示的装置上时，连接压力控制系统步骤进一步包含连接气压控 制系统至清洁载具400，当气压控制系统提供负压以产生流体力，流体力带动流体IOO自至少一开孔201进入待清洁物200;此外，当气压控制系统提供正 压，充填于待清洁物400的流体100将自至少一开孔201排出。在此较佳实施 例中，步骤1550较佳另包含于移除待清洁物的残留材料后，借气压控制系统 持续对清洁载具400提供正压而于清洁载具400内形成气流自至少一开孔201 向外排出而干燥待清洁物200，由于针头设备等待清洁物200在吹干的过程中 仍固定设置于座部600内，因此可有效避免针头设备吹飞的情形发生。此外，当实施于如图5的装置上时，连接压力控制系统步骤也进一步包含 连接液压控制系统至清洁载具400。当液压控制系统提供负压以产生流体力， 流体力带动流体100自至少一开孔201进入待清洁物200后自导孔401排出； 同样地，当液压控制系统提供正压以产生流体力，流体力将带动流体IOO自导 孔401充填清洁载具400并于进入待清洁物200后自至少一开孔201排出。步 骤1570并进一步转换正负压以控制流体自至少一开孔进出待清洁物以移除残 留材料。前述的正负压转换步骤较佳进一歩包含借设置于压力控制系统的至少 一定时器，调控正负压的切换频率以转换正负压，且其频率的切换较佳为可由 手动及自动设定等两种方式来加以实施。当定时器处于手动模式，可通过选择 钮手动选择输出为正压或负压；若定时器切换至自动设定状态，则正负压将自 动地切换正负压的输出并于一段时间，如10至15分钟后结束。当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情 况下，熟悉本领域的普通技术人员当可根据本发明做出各种相应的改变和变 形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
权利要求
1、 一种清洁装置，供以一流体将残留材料自一待清洁物加以移除，该待 清洁物具有至少一开孔，其特征在于，该清洁装置包含一清洁载具，具有一座部供装载该待清洁物及一外壳体连接于该座部上 方，其中该外壳体顶端设有一导孔，该外壳体底端与该座部接合形成一清洗腔， 该座部包含一流体通道与该待清洁物连通，该导孔、该清洗腔及该流体通道相 互连通；以及一压力控制系统，具有一给压部与该导孔压力相连，而使该压力控制系统 与该清洁载具压力连通，其中该压力控制系统借正负压的转换，于该清洗腔及 该流体通道产生一流体力。
2、 根据权利要求1所示的清洁装置，其特征在于，另包含一容器与该流 体通道连通设置，该容器供承载该流体于其间，该清洁载具则浸泡于该流体中， 该待清洁物与该流体通道压力连通以容许该流体自该至少一开孔进出该清洁 载具。
3、 根据权利要求2所示的清洁装置，其特征在于，该容器具有一底部及 一侧壳体围绕连结于该底部上方形成一槽体，供盛载该流体。
4、 根据权利要求1所示的清洁装置，其特征在于，该座部具有 一底面；一侧壁，具有一内表面，该侧壁底端围绕该底面连结设置于该底面上方；以及一装载面，相邻设置于该底面上方并与该内表面相连，该装载面与该底面 间设有至少一导槽，该装载面具有一轴孔，该至少一导槽与该轴孔连通形成该 流体通道；该装载面与该侧壁顶端共同围成一凹槽，供装载该待清洁物于其间。
5、 根据权利要求4所示的清洁装置，其特征在于，另包含一环状垫片设 置于该座部与该外壳体间，该环状垫片部份卡合设置于该凹槽内，以固定该待 清洁物。
6、 根据权利要求4所示的清洁装置，该座部另包含至少一膛孔，该至少 一膛孔自该底面向该装载面延伸导通该底面及该装载面且与该至少一导槽压 力相连，该至少一膛孔于该装载面形成至少一开口供装载该待清洁物，而该待 清洁物包含-一侧孔，当该待清洁物固定设置于该至少一膛孔内，该侧孔与该至 少一导槽连通并容许该流体自该流体通道进出该待清洁物。
7、 根据权利要求6所示的清洁装置，其特征在于，该至少一开口周围设 有一定位槽孔具有方向性，该待清洁物顶端与该定位槽孔接合而固定设置于该 至少一膛孔内。
8、 根据权利要求4所示的清洁装置，其特征在于，另包含一城垛部环绕连结于该底面下方，该城垛部具有多个凸缘彼此夹一间隙且依序环绕设置于该 底面内缘，当该压力控制系统控制该流体进出该待清洁物，该城垛部的该间隙 提供该流体易于流动的管道。
9、 根据权利要求4所示的清洁装置，其特征在于，该外壳体包含一帽部 其内设有一流体导槽，当该帽部底端与该侧壁顶端接合，该流体导槽与该凹槽 连通形成该清洗腔。
10、 根据权利要求4所示的清洁装置，其特征在于，该轴孔与该至少一导 槽彼此连通，且于该底面与该装载面间形成一倒T型流体通道。
11、 根据权利要求1所示的清洁装置，其特征在于，该压力控制系统包含 一气压控制系统，该流体力包含一吸力，当该气压控制系统提供一负压，该气 压控制系统于该清洗腔及该流体通道产生该吸力以带动该流体自该至少一开 孔进入该待清洁物。
12、 根据权利要求1所示的清洁装置，其特征在于，该压力控制系统包含 一液压控制系统，该流体力包含一吸力，当液压控制系统提供一负压，该液压 控制系统于该清洗腔及该流体通道产生该吸力以带动该流体自该至少一开孔 进入该待清洁物。
13、 根据权利要求1所示的清洁装置，其特征在于，另包含一透明导管连 结设置于该给压部与该清洁载具间，供显现该流体于该清洁载具的作动状态。
14、 根据权利要求1所示的清洁装置，其特征在于，该清洁载具进一步包 含一透明管壁邻设于该导孔附近，供显现该流体于该清洁载具的作动状态。
15、 根据权利要求1所示的清洁装置，其特征在于，该压力控制系统包含 至少一定时器，供调控正负压的切换频率。
16、 一种设备清洁方法，供以一流体将残留材料自一待清洁物加以移除， 该待清洁物具有至少一开孔，其特征在于，该清洁方法包含下列步骤 盛载该流体于一容器内；装载该待清洁物于一清洁载具内，并将装载有该待清洁物的该清洁载具浸 泡于该流体中；连接一压力控制系统至该清洁载具使其与该压力控制系统压力相连，该压力控制系统用以转换一正负压而于该清洁载具内产生-流体力；以及转换该正负压以控制该流体自该至少一幵孔进出该待清洁物以移除残留 材料。
17、 根据权利要求16所示的设备清洁方法，其特征在于，该清洁载具包 含一外壳体及一座部，该装载待清洁物步骤进一步包含装载该待清洁物至该座 部内，以及接合装载有该待清洁物的该座部与该外壳体形成一清洗腔。
18、 根据权利要求17所示的设备清洁方法，其特征在于，另包含下列歩骤于该座部下方环绕连结一城垛部，该城哚部具有多个凸缘彼此夹一间隙且 依序环绕设置于该底面内缘；以及自该压力控制系统控制该流体进出该待清洁物，该城垛部的该间隙提供该 流体易于流动的管道。
19、 根据权利要求16所示的设备清洁方法，其特征在于，该连接压力控 制系统步骤进一步包含连接一气压控制系统至该清洁载具，当该气压控制系统 提供一负压以产生该流体力，该流体力带动该流体自该至少一开孔进入该待清 洁物。
20、 根据权利要求19所示的设备清洁方法，其特征在于，当该气压控制 系统提供一正压，充填于该待清洁物的该流体自该至少一开孔排出。
21、 根据权利要求20所示的设备清洁方法，其特征在于，另包含于移除 该待清洁物的残留材料后，借该气压控制系统持续对该清洁载具提供该正压而 于该清洁载具内形成一气流自该至少一开孔向外排出而干燥该待清洁物。
22、 根据权利要求16所示的设备清洁方法，其特征在于，该清洁载具进 一歩包含一导孔，该连接压力控制系统步骤进一步包含连接一液压控制系统至 该清洁载具，当液压控制系统提供一负压以产生该流体力，该流体力带动该流 体自该至少一开孔进入该待清洁物后自该导孔排出。
23、根据权利要求22所示的设备清洁方法，其特征在于，当该液压控制 系统提供一正压以产生该流体力，该流体力带动该流体自该导孔充填该清洁载 具并于进入该待清洁物后自该至少一开孔排出。
全文摘要
本发明公开了一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法。清洁装置包含清洁载具及压力控制系统，清洁载具具有座部及外壳体彼此接合形成清洗腔，外壳体顶端设有导孔，座部内包含流体通道与待清洁物连通；压力控制系统则具有给压部与导孔压力相连，而使压力控制系统与清洁载具压力连通，其中压力控制系统借正负压的转换，于清洗腔及流体通道产生流体力而将残留材料移除。
文档编号B08B3/10GK101121171SQ200710153019
公开日2008年2月13日 申请日期2007年9月18日 优先权日2007年9月18日
发明者倪明福, 彭哲夫, 陈明鑫, 黄世欣 申请人:友达光电股份有限公司