专利名称：晶锭冲洗机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶锭冲洗装置，尤其是用高压水流冲洗表面杂质的晶
锭冲洗机。
背景技术：
在晶片车间，在晶锭开方以后，表面粘附着大量的沙浆和少量的碎硅 屑杂质。沙浆粘附在晶棒表面影响寿命以及硬点的测量精度；且砂浆粘附 影响磨角，影响机台模具使用寿命，也影响加工速度。因此需要对晶锭进 行冲洗，目前还没有专用设备对晶锭冲洗，因此工作效率低，劳动强度大。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是为了克服上述技术缺陷，本实用新 型提供了一种晶锭冲洗机，采用高压水流冲洗表面杂质，既能快速除去表 面杂质，又能迅速吹干表面的水残留。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是 一种晶锭冲洗机， 具有放置晶锭的晶托，晶锭周圈设置有对晶锭冲洗的高压水路和对晶锭吹 干的压縮气路，高压水路中依次设置有高压水泵和水路调压阀并由管道连 通输送，压縮气路内充由气路调压阀调节的压縮气源并通过管道连通输送， 压縮气路管道与高压水路管道交汇连通，并通过自动喷头对晶锭整个表面 依次进行冲洗、吹干，晶托下方设置有排水装置。
为了使晶锭局部表面清洗方便、干净，在高压水路中设置有分水管道， 分水管道末端设置有手动水喷头，压縮气路中设置有分气管道，分气管道 末端设置有手动气喷头。所述的排水装置具有缓冲液槽，缓冲液槽中设置有过滤网，缓冲液槽 下端为排水管道，便于将过滤后的水循环利用，节约用水。
本实用新型的有益效果是用高压水清洗能快速除去表面杂质，用压 縮气体可快速吹干表面水残留；冲洗水压可调，冲洗点分布均匀，覆盖整 个可能的有沙浆的表面；有手动气喷头和手动水喷头，可局部清洗。以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图中1.晶托，2.高压水路，21.高压水泵，22.水路调压阀，23.分水 管道，24.手动水喷头，3.压縮气路，31.气路调压阀，32.分气管道，33. 手动气喷头，4.自动喷头，5.缓冲液槽，6.排水管道。
具体实施方式
，
如
图1所示一种晶锭冲洗机，具有放置晶锭的晶托1，晶锭周圈设置有 对晶锭冲洗的高压水路2和对晶锭吹干的压縮气路3，高压水路2中依次设 置有高压水泵21和水路调压阀22并由管道连通输送，压縮气路3内充由 气路调压阀31调节的压縮气源并通过管道连通输送，压縮气路3管道与高 压水路2管道交汇连通，并通过自动喷头4对晶锭整个表面依次进行冲洗、 吹干，高压水路2中设置有分水管道23，分水管道23末端设置有手动水喷 头24，压縮气路3中设置有分气管道32，分气管道32末端设置有手动气 喷头33,晶托1下方设置有排水装置，排水装置具有缓冲液槽5，缓冲液 槽5中设置有过滤网，缓冲液槽5下端为排水管道6。
在清洗时，先由高压水对晶锭表面进行清洗，然后再由压縮气体对晶 锭表面的水残留吹干，如果有局部清洗不干净的可用手动水喷头24和手动气喷头33对局部进行清洗、吹干；清洗之后，需要将废水排出，通过缓冲
液槽5中的过滤网对杂质过滤，过滤后的水可由排水管道6排出或可再利
用即输送到前道操作中作为水源循环利用。
权利要求1. 一种晶锭冲洗机，其特征是具有放置晶锭的晶托(1)，晶锭周圈设置有对晶锭冲洗的高压水路(2)和对晶锭吹干的压缩气路(3)，高压水路(2)中依次设置有高压水泵(21)和水路调压阀(22)并由管道连通输送，压缩气路(3)内充由气路调压阀(31)调节的压缩气源并通过管道连通输送，压缩气路(3)管道与高压水路(2)管道交汇连通，并通过自动喷头(4)对晶锭整个表面依次进行冲洗、吹干，晶托(1)下方设置有排水装置。
2. 根据权利要求1所述的一种晶锭冲洗机，其特征是所述的高压水 路(2)中设置有分水管道(23)，分水管道(23)末端设置有手动水喷头(24)，压縮气路(3)中设置有分气管道(32)，分气管道(32)末端设置 有手动气喷头(33)。
3. 根据权利要求1所述的一种晶锭冲洗机，其特征是所述的排水装 置具有缓冲液槽(5)，缓冲液槽(5)中设置有过滤网，缓冲液槽(5)下 端为排水管道(6)。
专利摘要本实用新型涉及晶锭冲洗装置，尤其是用高压水流冲洗表面杂质的晶锭冲洗机。它具有放置晶锭的晶托，晶锭周圈设置有对晶锭冲洗的高压水路和对晶锭吹干的压缩气路，高压水路中依次设置有高压水泵和水路调压阀并由管道连通输送，压缩气路内充由气路调压阀调节的压缩气源并通过管道连通输送，压缩气路管道与高压水路管道交汇连通，并通过自动喷头对晶锭整个表面依次进行冲洗、吹干，晶托下方设置有排水装置。用高压水清洗能快速除去表面杂质，用压缩气体可快速吹干表面水残留；冲洗水压可调，冲洗点分布均匀，覆盖整个可能的有沙浆的表面；有手动气喷头和手动水喷头，可局部清洗。
文档编号B08B3/02GK201295684SQ20082021607
公开日2009年8月26日 申请日期2008年11月14日 优先权日2008年11月14日
发明者王仁杰, 韩红江 申请人:常州天合光能有限公司