专利名称：喷嘴、干洗机和干洗机系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于把被吐出物体上的附着物除去的干洗机所使用的喷 嘴、具备该喷嘴的干洗机和具备该干洗机的干洗机系统。
背景技术：
在液晶屏的组装制造工序中，使用向液晶显示装置用屏所使用的两块 玻璃基板之间均匀散布球状的粉(衬垫料)并且把两块玻璃基板的间隙保 持均匀的方法。由于当衬垫料以凝集的状态散布在玻璃基板上时，两块玻 璃基板的间隙就不均匀，所以需要把散布的衬垫料除去而重新散布衬垫料。 于是，作为把玻璃基板上散布的衬垫料除去的装置而提案有这样的除尘装
置具备具有超声波发生器的第一、第二喷出喷嘴和配置在它们之间的一 个吸引喷嘴，从第一、第二喷出喷嘴向玻璃基板的表面喷出超声波空气， 由中央的吸引喷嘴来吸引衬垫料(例如参照日本国登录实用新案第3009694 号、日本国专利申请公开平7-60211号公报)。
这种除尘装置中，吸引喷嘴不能以高效率来吸引从第一、第二喷出喷 嘴喷出的超声波空气，其结果是存在附着在玻璃基板的衬垫料没被完全除 去干净的情况。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够把附着在被吐出物体表面的附着物例 如衬垫料和小粒径灰尘类良好除去的干洗机所使用的喷嘴、具备该喷嘴的 干洗才几和具备该干洗才几的干洗4几系统。
本发明的喷嘴被配置成与被吐出物体具有规定的间隔且用于向与所述 被吐出物体大致正交的方向吐出压缩空气，其中，具有在内部贮存所述压 缩空气的贮存部，具备与该贮存部连通的窄缝状吐出口，在形成所述吐出 口位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率的凸形状， 所述吐出口被设置在与所述凸形状的所述被吐出物体最接近的位置。根据本发明的喷嘴，由于在形成吐出口位置的与吐出口延伸方向正交 的截面形状具有规定曲率的凸形状，所以通过压缩空气从吐出口被向与被 吐出物体大致正交的方向吐出，而使被吐出物体表面的附着物剥离，包含 有剥离的附着物的压缩空气利用附壁效应而沿具有规定曲率的凸形状行 进。因此，能够防止一次剥离的附着物再次向被吐出物体附着。
本发明的喷嘴被配置成与被吐出物体具有规定的间隔且用于向与所述 被吐出物体大致正交的方向吐出压缩空气，其中，具有在内部贮存所述压 缩空气的贮存部，具备与该贮存部连通的窄缝状吐出口，在形成所述吐出 口位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状具有平面形状和与之连续 形成的具有规定曲率的凸形状，所述吐出口被设置在所述平面形状的大致 中央部。
根据本发明的喷嘴，由于在形成吐出口位置的与吐出口延伸方向正交 的截面形状具有平面形状和与之连续形成的具有规定曲率的凸形状，所以 通过压缩空气从吐出口被向与被吐出物体大致正交的方向吐出，而使被吐
出物体表面的附着物剥离，包含有剥离的附着物的压缩空气利用平面形状 和附壁效应而沿具有规定曲率的凸形状行进。因此，能够防止一次剥离的 附着物再次向被吐出物体附着。
本发明的干洗机用于把被吐出物体上的附着物除去，其中，包括喷 嘴，其被配置成与所述被吐出物体具有规定的间隔且具有在内部贮存压缩 空气的贮存部，具备与该贮存部连通的窄缝状吐出口，在形成所述吐出口 位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率的凸形状，所 述吐出口被设置在与所述凸形状的所述被吐出物体最接近的位置；壳体， 其在内部收容所述喷嘴，具有从所述喷嘴的所述吐出口向与所述^L吐出物 体大致正交的方向吐出的所述压缩空气和吹扫所述被吐出物体表面的所述 压缩空气通过的开口部，形成沿所述喷嘴的具有规定曲率的凸形状行进的 所述压缩空气的通路；排气部，其用于把沿具有所述规定曲率的凸形状行
进的所述压缩空气排出。
根据本发明的干洗机，由于从喷嘴的吐出口把压缩空气对于被吐出物 体向大致正交的方向吹出，所以能够把附着在被吐出物体的附着物可靠地 剥离。在形成喷嘴吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截面形状具有规 定曲率的凸形状，所以从吐出口向与被吐出物体大致正交的方向^皮吐出而吹扫被吐出物体的表面，包含有从被吐出物体剥离的附着物的压缩空气利 用附壁效应而沿具有规定曲率的凸形状在壳体内行进。因此，能够防止被 剥离的附着物向壳体外飞散，能够防止一次剥离的附着物再次向被吐出物
体附着。
本发明的干洗机用于把被吐出物体上的附着物除去，其中，包括喷
空气的贮存部，具备与该贮存部连通的窄缝状吐出口，在形成所述吐出口 位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状而具有平面形状和与之连续 形成的规定曲率的凸形状，所述吐出口被设置在所述平面形状的大致中央
部；壳体，其在内部收容所述喷嘴，具有从所述喷嘴的所述吐出口向与所
述被吐出物体大致正交的方向吐出的所述压缩空气和吹扫所述被吐出物体 表面的所述压缩空气通过的开口部，形成沿所述喷嘴的具有规定曲率的凸
形状行进的所述压缩空气的通路；排气部，其用于把沿具有所述规定曲率 的凸形状行进的所述压缩空气排出。
根据本发明的干洗机，由于从喷嘴的吐出口把压缩空气对于被吐出物 体向大致正交的方向吹出，所以能够把附着在被吐出物体的附着物可靠地 剥离。在形成喷嘴吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截面形状具有规 定曲率的凸形状，所以/人吐出口向与净皮吐出物体大致正交的方向净皮吐出而 吹扫被吐出物体的表面，包含有从被吐出物体剥离的附着物的压缩空气利 用平面形状和附壁效应而沿具有规定曲率的凸形状在壳体内行进。因此， 能够防止被剥离的附着物向壳体外飞散，能够防止一次剥离的附着物再次 向被吐出物体附着。
本发明的干洗机把所述排气部沿所述喷嘴的所述吐出口延伸方向而配 置在所述喷嘴的上方，且具备在上部具有窄缝状开口的圆管状部件，所述 压缩空气行进的所述通路是由大致一定高度的通路把所述壳体的所述开口 部和所述圆管状部件的开口连通。
根据本发明的干洗机，从壳体的开口部吸入的包含有从被吐出物体剥 离的附着物的空气在通路内以大致一定的流速行进，由于是从圆管状部件 上部的窄缝状开口向圆管状部件内吸入，所以相对宽度方向而能够均匀地 进行吸引。由于包含有从被吐出物体剥离的附着物的空气在通路内以大致 一定的流速行进，所以能够防止一次剥离的附着物再次向通路的内壁附着，且即使假定有附着物再次向通路的内壁附着的情况，也难于下落。
本发明的干洗机系统具备所述的干洗机和承载被吐出物体的承载部， 所述干洗机的喷嘴和所述被吐出物体相互保持一定的间隔，且向与所述喷 嘴的所述吐出口的长度方向正交的方向相对移动。
本发明的干洗机系统具备把所述干洗机向与所述喷嘴的所述吐出口 的长度方向正交的方向搬运的搬运机构或把所述被吐出物体向与所述喷嘴 的所述吐出口的长度方向正交的方向搬运的搬运机构。
根据本发明的干洗机系统，由于被吐出物体和喷嘴向与喷嘴的吐出口 的长度方向正交的方向相对移动，所以即使是大型的被吐出物体也能够迅 速地进行附着物的除去。
根据本发明的喷嘴，在形成吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截 面形状具有规定曲率的凸形状，所以从吐出口向与被吐出物体大致正交的 方向被吐出且吹扫被吐出物体的表面，包含有从被吐出物体剥离的附着物 的压缩空气利用附壁效应而沿具有规定曲率的凸形状行进。因此，能够防 止被剥离的附着物向壳体外飞散，能够防止一次剥离的附着物再次向被吐 出物体附着。
根据本发明的干洗机，由于从喷嘴的吐出口把压缩空气对于被吐出物 体向大致正交的方向吹出，所以能够把附着在被吐出物体的附着物可靠地 剥离。在形成喷嘴吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截面形状具有规 定曲率的凸形状，所以从吐出口向与净支吐出物体大致正交的方向被吐出而 吹扫被吐出物体的表面，包含有从被吐出物体剥离的附着物的压缩空气利 用附壁效应而沿具有规定曲率的凸形状在壳体内行进。因此，能够防止一 次剥离的附着物再次向被吐出物体附着。
根据本发明的干洗机系统，由于被吐出物体和喷嘴向与喷嘴的吐出口 的长度方向正交的方向相对移动，所以即使是大型的被吐出物体也能够迅 速地进行附着物的除去。
图1是表示第一实施例干洗机系统结构的图； 图2是表示第一实施例干洗机结构的剖视图； 图3是用于说明从第 一 实施例的喷嘴吐出的压缩空气流动的图；图4是表示第二实施例干洗机结构的剖视图5是用于说明从第二实施例的喷嘴吐出的压缩空气流动的图6是表示第三实施例干洗机结构的剖视图7是用于说明从第三实施例的喷嘴吐出的压缩空气流动的图8是表示压缩空气的吹出压力与排气装置的吸引动力的关系的曲线；
图9是表示不利用附壁效应的干洗机结构的剖视图。
具体实施例方式
以下参照
本发明第一实施例的干洗机。图1是表示具备第一 实施例干洗机的干洗机系统结构的图。在以下的说明中，设定图1中所示 的直角坐标系， 一边参照该XYZ直角坐标系一边说明各部件的位置关系。 XYZ直角坐标系把X轴和Y轴设定成与基板承载部的表面平行，把Z轴设 定成是与基板承载部的表面正交的方向。图中的XYZ直角坐标系实际上把 XY平面设定成与水平面平行的面，把Z轴设定成是垂直方向。
如图1所示，干洗机系统2具备设置于干洗机设置部3的干洗机4 和承载被吐出物体即液晶显示装置用屏的基板10的基板承载部8。在此， 基板10是具有大型矩形形状的玻璃基板，基板承载部8为了能够承载大型 基板10而具有比基板10大的矩形形状的基板承载面。
干洗机4从空气压缩机5经由供给管6而被供给压缩空气。供给的压 缩空气从喷嘴16 (参照图2)的窄缝状吐出口 16b被吐出，并向基板承载 部8所承载的液晶显示装置用屏的基板10表面吹出，把基板10上散布的 附着物即村垫料(和小粒径的灰尘类，以下相同)除去。即，^fe压缩空气 从喷嘴16的窄缝状吐出口 16b吐出而向基板IO表面吹出，使基板10上散 布的附着物即村垫料从基板10剥离，把包含被剥离的衬垫料的压缩空气经 由排气管12由具备鼓风机的排气装置14进行排气，这样来把基^反10上的 衬垫料除去。这时，基板承载部8由传送带等被向图l所示的箭头方向(Y 方向)，即，与吐出口 16b的长度方向正交的方向拍殳运，通过口土出口 16b与 基板10相互保持一定间隔地相对移动而对基板10的整个面来除去衬垫料。
图2是用于说明干洗机4结构的剖视图(在干洗机的宽度方向中央部 的与窄缝状吐出口正交方向的剖视图)。干洗机的截面形状即使在干洗机宽 度方向的任何位置都具有同样的形状。图中的箭头表示基板的 动方向。如图2所示，干洗机4具备用于向基板IO的表面10a吐出压缩空气 的喷嘴16和收容喷嘴16的壳体18。喷嘴16具有向基板10的宽度方向(X 方向)延伸的形状，具有比基板10的宽度方向稍微大的宽度。喷嘴16在 其内部具有把从空气压缩机5经由供给管6供给的压缩空气进行贮存的贮 存部16a。在此，贮存部16a形成于喷嘴16内的大致整个宽度。且喷嘴16 具备与贮存部16a连通的窄缝状吐出口 16b。如图2所示，喷嘴16在形成 吐出口 16b的位置的与吐出口 16b延伸方向正交的截面形状具有M^定曲率 的凸形状16c,把吐出口 16b设置在凸形状16c的大致中央部，即，在把喷 嘴16配置成与基板10的表面10a具有规定间隔的情况下把吐出口 16b设置 在与基板10的表面1 Oa最接近的位置。喷嘴16所具有的规定曲率的凸形状 16c在把吐出口 16b的-Y侧的曲率半径设定为是Rl、把吐出口 16b的Y 侧的曲率半径设定为是R2时，可以是R1二R2，也可以是R1-R2， Rl、 R2的大小能够分别适当选择最合适的。
壳体18在其内部收容喷嘴16,为了使从喷嘴16的吐出口 16b向基板 IO的表面10a吐出的压缩空气和吹扫了基板10的表面10a的压缩空气通过， 而在与吐出口 16b相对的位置具备向X方向延伸的开口部18a。壳体18形 成有使吹扫基板10的表面10a并通过开口部18a的压缩空气沿喷嘴18的具 有规定曲率的凸形状16c行进的通路18b,而且具备把该压缩空气向排气管 12排气的排气部18c。
从空气压缩机5供给的压缩空气经由贮存部16a而从窄缝状的吐出口 16b向基板10吐出，到达基板10的表面10a。在此，把吐出口 16b与基板 表面10a的距离设定成是0.01 30mm、优选0.5~5mm为好，作为从窄缝状 的吐出口 16b吐出的压缩空气例如把吹出压力设定成0.01 0.95MPa、优选 0.1 0.5MPa为好。如图3所示，从窄缝状的吐出口 16b吐出的压缩空气通 过壳体18的开口部18a而到达基板10的表面10a后，使附着在基板10的 表面10a的衬垫料剥离。然后，包含有被剥离的衬垫料的压缩空气通过开口 部18a而如图中箭头所示那样，沿喷嘴16的具有规定曲率的凸形状16c在 通路18b中行进，经由排气部18c和排气管12而被排气装置14所吸引，例 如被向工厂外部排出。这时，通过使承载有基板的基板承载部8向Y方向 移动而能够把基板10的整个表面10a的衬垫料除去。
根据本第一实施例的干洗机，由于从喷嘴的吐出口把压缩空气对于基
9板向大致正交的方向吹出，所以能够把附着在基板的附着物可靠地剥离。 在形成喷嘴吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率 的凸形状，所以从吐出口向与基板大致正交的方向被吐出而吹扫基板的表 面，包含有从基板剥离的附着物的压缩空气利用附壁效应而沿具有规定曲 率的凸形状在壳体内行进。因此，能够防止被剥离的附着物向壳体外飞散， 能够防止一次剥离的附着物再次向被吐出物体附着。由于包含有被剥离附 着物的压缩空气利用附壁效应而沿喷嘴的凸形状行进，所以能够减少排气
装置所需要的吸引动力。
下面参照
本发明第二实施例的干洗机。该干洗才几与第一实施
例同样地用于被干洗机系统。图4是用于说明干洗机30结构的剖视图(在 干洗机的宽度方向大致中央部与窄缝状吐出口正交方向的剖视图)。干洗机 的截面形状即使在干洗机宽度方向的任何位置都具有同样的形状。图中的 箭头表示基板的移动方向。
如图4所示，干洗机30具备用于向基板10的表面10a吐出压缩空 气的喷嘴32和收容喷嘴32的壳体34。喷嘴32具有向基板10的宽度方向 (X方向)延伸的形状，具有比基板10的宽度方向稍微大的宽度。喷嘴32 具有在内部把从空气压缩机5经由供给管6供给的压缩空气进行贮存的贮 存部32a。在此，贮存部32a形成于喷嘴32内的大致整个宽度。且喷嘴32 具备与贝i存部32a连通的窄缝状吐出口 32b。如图4所示，喷嘴32在形成 吐出口 32b的位置的与吐出口 32b延伸方向正交的截面形状而具有平面形 状32c和与之连续形成的规定曲率的凸形状32d，把吐出口 32b设置在平面 形状32c的大致中央部。喷嘴32所具有的是规定曲率的凸形状32d在把吐 出口 32b的_ Y侧的曲率半径设定为是Rl 、把吐出口 32b的Y侧的曲率半 径设定为是R2时，可以是R1:R2，也可以是R1^R2， Rl、 R2的大小能 够分别适当选择最合适的。
壳体34在其内部收容喷嘴32，为了使从喷嘴32的吐出口 32b向基板 IO的表面10a吐出的压缩空气和吹扫了基板10的表面10a的压缩空气通过， 而在与吐出口 32b相对的位置具备向X方向延伸的开口部34a。壳体34形 成有使吹扫基板10的表面10a并通过开口部34a的压缩空气沿喷嘴32的具 有规定曲率的凸形状32d行进的通路34b,而且具备4巴该压缩空气向排气管 12排气的排气部34c。从空气压缩机5供给的压缩空气经由贮存部32a而从窄缝状的吐出口 32b向基板10吐出，到达基板10的表面10a。在此，吐出口 32b与基板10 的表面10a的距离和从吐出口 32b吐出的压缩空气的压力、吹出速度则优选 与第一实施例相同。如图5所示，从窄缝状的吐出口 32b吐出的压缩空气 通过壳体34的开口部34a而到达基板10的表面10a后，使附着在基板10 的表面10a的衬垫料剥离。然后，包含有被剥离的衬垫料的压缩空气通过开 口部34a而沿喷嘴32的平面形状32c和具有规定曲率的凸形状32d在通3各 34b中行进，经由排气部34c和排气管12而被排气装置14所吸引，被向外 部排出。这时，通过使承载有基板的基板承载部8向Y方向即与吐出口 32b 的长度方向正交的方向移动而能够把基板10的整个表面10a的衬垫料除 去。
根据本第二实施例的干洗机，由于从喷嘴的吐出口把压缩空气对于基 板向大致正交的方向吹出，所以能够把附着在基板的附着物可靠地剥离。
在形成喷嘴吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率 的凸形状，所以从吐出口向与基板大致正交的方向被吐出而吹扫基板的表 面，包含有从基板剥离的附着物的压缩空气利用附壁效应而沿具有规定曲 率的凸形状在壳体内行进。因此，能够防止被剥离的附着物向壳体外飞散， 能够防止一次剥离的附着物再次向基板附着。由于包含有被剥离附着物的 压缩空气利用附壁效应而沿喷嘴的凸形状行进，所以即使在排气装置的吸 引动力低的情况下，也能够可靠地进行包含被剥离衬垫料的压缩空气的排
下面参照
本发明第三实施例的干洗机。该干洗机与第一实施 例同样地用于被干洗机系统。如图6所示，干洗机50具备用于向基板10 的表面10a吐出压缩空气的喷嘴56和收容喷嘴56的壳体58。喷嘴56具有 向基板10的宽度方向(X方向)延伸的形状，具有比基板10的宽度方向 稍微大的宽度。喷嘴56具有在内部把从空气压缩机5经由供给管6供给的 压缩空气进行贮存的贮存部56a。在此，贮存部56a形成于喷嘴56内的大 致整个宽度。且喷嘴56具备与贮存部56a连通的窄缝状吐出口 56b。如图6 所示，喷嘴56在形成吐出口 56b的位置的与吐出口 56b延伸方向正交的截 面形状具有规定曲率的凸形状56c，在把喷嘴56配置成与基板10的表面10a 具有规定间隔的情况下把吐出口 56b设置在与基板10的表面10a最接近的
ii位置。喷嘴56所具有的规定曲率的凸形状56c在把吐出口 56b的-Y侧的 曲率半径设定为是R1、把吐出口 16b的Y侧的曲率半径设定为是R2时， 可以是R1二R2，也可以是R1-R2， Rl、 R2的大小能够分别适当选择最合适的。
壳体58在其内部收容喷嘴56,为了使从喷嘴56的吐出口 56b向基板 10的表面10a吐出的压缩空气和吹扫了基板10的表面10a的压缩空气通过， 而在与吐出口 56b相对的位置具备向X方向延伸的开口部58a。壳体58形 成有使吹扫基板10的表面10a并通过开口部58a的压缩空气沿喷嘴56的具 有规定曲率的凸形状56c行进且具有一定高度的通路58b,而且具备用于把 该压缩空气向排气管12排气的圆管状部件60。圓管状部件60在壳体58内 的喷嘴56的上方沿喷嘴56的吐出口 56b延伸的方向配置，在上部具有窄 it状的开口 60a。
从空气压缩机5供给的压缩空气经由贮存部56a而从窄缝状的吐出口 56b向基板10吐出，到达基板10的表面10a。在此，把吐出口 56b与基板 表面10a的距离设定成是0.01 30mm、优选为0.5 5mm,作为从窄缝状的 吐出口 56b吐出的压缩空气例如把吹出压力设定成0.01 0.95MPa、优选为 0.1 0.5MPa。如图7所示，/人窄缝状的吐出口 56b吐出的压缩空气通过壳体 58的开口部58a而到达基板10的表面10a后，使附着在基板10的表面10a 的衬垫料剥离。然后，包含有被剥离的衬垫料的压缩空气通过开口部58a 而如图中箭头所示那样，沿喷嘴56的具有规定曲率的凸形状56c在通路58b 中行进，在连通开口部58a和圓管状部件60的开口 60a的大致一定高度的 通路中行进，被从开口 60a吸入到圆管状部件60内，并经由排气管12而#皮 排气装置14所吸引，例如被向工厂外部排出。这时，通过使承载有基板的 基板承载部8向Y方向移动而能够把基板10的整个表面10a的衬垫料除去。
根据本第三实施例的干洗机，由于从喷嘴的吐出口把压缩空气对于基 板向大致正交的方向吹出，所以能够把附着在基板的附着物可靠地剥离。 在形成喷嘴吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率 的凸形状，所以从吐出口向与基板大致正交的方向被吐出而吹扫基板的表 面，包含有从基板剥离的附着物的压缩空气利用附壁效应而沿具有规定曲 率的凸形状在壳体内行进。因此，能够防止被剥离的附着物向壳体外飞散， 能够防止 一 次剥离的附着物再次向被吐出物体附着。由于包含有被剥离附
12着物的压缩空气利用附壁效应而沿喷嘴的凸形状行进，所以能够减少排气
装置所需要的吸引动力。
从壳体的开口部吸入的包含有从被吐出物体剥离的附着物的空气由于 通路具有 一定的高度而在通路内以 一定的流速行进，由于是从圓管状部件 上部的窄缝状开口向圓管状部件内吸入，所以相对宽度方向而能够均匀地 进行吸引。由于包含有从被吐出物体剥离的附着物的空气在通路内以一定 的流速行进，所以能够防止一次剥离的附着物再次向通路的内壁附着，且 即使假定有附着物再次向通路的内壁附着的情况，也难于下落。
在上述实施例中，基板承载部8相对干洗机4 (30、 50)向Y方向移 动，但也可以是干洗才几4 (30、 50)相对基板岸义载部8向Y方向移动。即， 也可以通过把干洗机4 (30、 50)利用传送带等搬运机构向Y方向搬运而 使干洗机4相对基板承载部8向Y方向移动。
上述实施例的被吐出物体IO是液晶显示装置用屏的基板10，附着物是 在被吐出物体10上散布的衬垫料，被吐出物体10例如也可以是安装电子 零件的安装基板、硅晶片、场致发射显示器屏和等离子显示器屏等的基板、 多功能膜等，附着物例如也可以是数n m 数jim的基板切割屑、细纱丝头 等尘埃等。
在上述实施例中，是使用工厂设置的空气压缩机来向干洗机供给压缩 空气，但也可以在干洗机系统中设置空气压缩机，向干洗机供给压缩空气。
下面，对于如上述各实施例那样使用了附壁效应的干洗机和没使用附 壁效应的干洗机中的来自喷嘴的压缩空气的吹出压力与排气装置的吸引动 力的关系进行说明。在此，图8是表示来自喷嘴的压缩空气的吹出压力与 排气装置的吸引动力关系的曲线，图9是表示没有利用附壁效应的干洗才几 结构的剖视图。图9所示的干洗机IOO在壳体110内具备喷嘴120，在喷嘴 120的形成吐出口 130的位置的与吐出口 130延伸方向正交的截面形状而不 具有规定曲率的凸形状。
如图8的曲线所示，使喷嘴的吐出口与基板的间隔(间隙)在0.5-2.0 (mm)之间变化，使来自喷嘴的压缩空气的吹出压力在0.2~0.5 (MPa)之 间变化，测定各个情况下的排气装置的吸引动力(-)(把间隙设定为0.5 (mm)，把利用附壁效应时的吸引负载作为1.0，把其他情况的吸引负载设 定成是无量纲化的数)，无论在任何条件的情况下，都是利用附壁效应情况的排气装置的吸引动力小。
以上说明的实施例是为了容易理解本发明而记载的，不是为了限定本 发明而记载。因此，旨趣是上述实施例所公开各元件也包括本发明技术范 围所属的所有设计变更和均等物等。
本公开与2007年3月8日提出的日本国专利申请第2007-58278号所包 含的主题相关，该公开的全部在此作为参照事项而被清楚地组入。
如以上，本发明的喷嘴、干洗机和干洗机系统适合用于除尘装置。
权利要求
1、一种喷嘴，其被配置成与被吐出物体具有规定的间隔且用于向与所述被吐出物体大致正交的方向吐出压缩空气，其特征在于，具有在内部贮存所述压缩空气的贮存部，具备与该贮存部连通的窄缝状吐出口，在形成所述吐出口位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率的凸形状，所述吐出口被设置在与所述凸形状的所述被吐出物体最接近的位置。
2、 一种喷嘴，其被配置成与被吐出物体具有规定的间隔且用于向与所 述被吐出物体大致正交的方向吐出压缩空气，其特征在于，具有在内部贮存所述压缩空气的贮存部，具备与该贮存部连通的窄缝 状吐出口 ，在形成所述吐出口位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状具有 平面形状和与之连续形成的具有规定曲率的凸形状，所述吐出口被设置在 所述平面形状的大致中央部。
3、 一种干洗机，用于把被吐出物体上的附着物除去，其特征在于， 包括喷嘴，其被配置成与所述被吐出物体具有规定的间隔且具有在内部贝i存压缩空气的贝i存部，具备与该贝i存部连通的窄缝状吐出口 ，在形 成所述吐出口位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率 的凸形状，所述吐出口被设置在与所述凸形状的所述被吐出物体最接近的 位置；壳体，其在内部收容所述喷嘴，具有从所述喷嘴的所述吐出口向与所 述被吐出物体大致正交的方向吐出的所述压缩空气和吹扫所述被吐出物体 表面的所述压缩空气通过的开口部，形成沿所述喷嘴的具有规定曲率的凸 形状行进的所述压缩空气的通路；排气部，其用于把沿所述具有规定曲率的凸形状行进的所述压缩空气 排出。
4、 一种干洗机，其用于把被吐出物体上的附着物除去，其特征在于， 包括喷嘴，其被配置成与所述被吐出物体具有规定的间隔且具有在内部贮存压缩空气的贮存部，具备与该贮存部连通的窄缝状吐出口，在形成所述吐出口位置的与所述吐出口延伸方向正交的截面形状而具有平面形 状和与之连续形成的规定曲率的凸形状，所述吐出口被设置在所述平面形状的大致中央部；壳体，其在内部收容所述喷嘴，具有从所述喷嘴的所述吐出口向与所 述^C吐出物体大致正交的方向吐出的所述压缩空气和吹扫所述^C吐出物体 表面的所述压缩空气通过的开口部，形成沿所述喷嘴的具有规定曲率的凸 形状行进的所述压缩空气的通路；排气部，其用于把沿具有所述规定曲率的凸形状行进的所述压缩空气 排出。
5、 如权利要求3或权利要求4所述的干洗机，其特征在于，所述排气 部沿所述喷嘴的所述吐出口延伸方向而配置在所述喷嘴的上方，且具备在 上部具有窄缝状开口的圓管状部件，所述压缩空气行进的所述通路是由大致一定高度的通路把所述壳体的 所述开口部和所述圓管状部件的开口连通。
6、 一种干洗机系统，其特征在于，具备权利要求3 权利要求5任一 项所述的干洗机和承载#1吐出物体的承载部，所述干洗机的喷嘴和所述被吐出物体相互保持一定的间隔，且向与所 述喷嘴的所述吐出口的长度方向正交的方向相对移动。
7、 如权利要求6所述的干洗机系统，其特征在于，具备把所述干洗 机向与所述喷嘴的所述吐出口的长度方向正交的方向搬运的搬运机构或把 所述被吐出物体向与所述喷嘴的所述吐出口的长度方向正交的方向搬运的 搬运机构。
全文摘要
一种干洗机，其能够把附着在基板的表面的附着物良好除去。在用于把被吐出物体(10)上的附着物除去的干洗机中，包括喷嘴(16)，其被配置成与被吐出物体具有规定的间隔且具有在内部贮存压缩空气的贮存部(16a)，具备与该贮存部连通的窄缝状吐出口(16b)，在形成吐出口位置的与吐出口延伸方向正交的截面形状具有规定曲率的凸形状(16c)，吐出口被设置在与被吐出物体最接近的位置；壳体(18)，其在内部收容所述喷嘴，具有从喷嘴的吐出口向与被吐出物体大致正交的方向吐出的压缩空气和吹扫被吐出物体表面的压缩空气通过的开口部(18a)，形成沿喷嘴的具有规定曲率的凸形状行进的压缩空气的通路(18b)；排气部(18c)，其用于把沿具有规定曲率的凸形状行进的压缩空气排出。
文档编号B08B5/00GK101626842SQ200880007338
公开日2010年1月13日 申请日期2008年2月20日 优先权日2007年3月8日
发明者多多良和宏, 宫田哲男, 村田博, 江间秋彦 申请人:日清工程株式会社