一种大型石英芯棒母材制造装置的制作方法

文档序号:1863157阅读:191来源:国知局
专利名称:一种大型石英芯棒母材制造装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及光纤制造领域的石英芯棒母材制造装置,具体涉及一种大型石英芯棒母材制造装置。
背景技术
目前制造石英光纤芯棒母材主要采用轴向气相沉积法即VAD法,是在一个封闭的石英反应容器内进行的。制造大型石英芯棒母材就必须具备大尺寸的石英反应容器,而这种大尺寸的石英反应容器的加工难度较大;而且制造大型石英芯棒母材在生产过程中沉积温度高,大尺寸石英反应容器在高的喷枪温度冲击下容易开裂。另外,由于芯棒母材沉积过程中喷枪火焰气流向上流动,反应容器内气流紊乱,带动部分未沉积到母材上的石英粒子上升,沉积到反应容器侧壁上,落下后使母材产生缺陷。
发明内容本实用新型的目的是提供一种坚固耐用、生产过程中容器内未沉积到母材上的石英粒子能够及时排出反应容器从而保证芯棒母材质量的大型石英芯棒母材制造装置。为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型通过以下技术方案实现一种大型石英芯棒母材制造装置,包括一反应容器,所述反应容器下方设有芯层喷灯和包层喷灯,所述反应容器一侧面设有连接排风机的排气口,所述反应容器顶部设有一具有气体导入孔的上部气体导入装置,在与所述排气口相对的侧面设置水平气体导入装置,其气体出口处于所述芯层喷灯和所述包层喷灯的上方且对准所述排气口,所述水平气体导入装置内设置由多层平板构成的平板整流器。进一步的,所述反应容器上方设有一带悬挂靶棒的提升装置。进一步的,在所述水平气体导入装置内设置有垂直于所述平板整流器的平板的楔形气体导向装置。进一步的,所述水平气体导入装置内设置一气体过滤器,所述气体过滤器上开设有鼓风机送风口。进一步的,所述反应容器与所述水平气体导入装置连接处开设有第一导入气体出口,第二导入气体出口。 石英光纤芯棒母材主要采用轴向气相沉积法即棒的本实用新型的原理是本实用新型的反应容器采用耐腐蚀的金属材料加工成长方体形状,排气口的管道也采用耐腐蚀金属材料制成,水平气体导入装置连接鼓风机送风口, 水平气体导入装置内设置气体过滤器、平板整流器、气体导向装置、导入气体出口。气体整流器由多层平板构成,平板间距相等。气体导向装置垂直于平板整流器的平板,制成楔形, 按导入气体流动方向由窄到宽。上部气体导入装置设于反应容器的顶部,其侧面设有气体导入孔。为使经过水平气体导入装置内的平板整流器的导入气体的气流避开喷灯,使气流从母材前后侧流过反应容器后经排气口排出,在水平气体导入装置内设置垂直于平板整流
3器的平板的楔形气体导向装置。本实用新型的有益效果是采用金属反应容器,不仅容器制作简单,而且可防止由于生产大型芯棒母材时沉积温度高、火焰对容器的温度冲击大导致容器开裂的现象;采用设有平板整流器的水平气体导入装置,可使进入反应容器的气流呈水平层流状态,消除反应容器的气流紊乱现象,使沉积稳定,同时将未沉积到母材上的石英粒子在最短的时间内带到排气口排出反应容器;从反应容器的上部气体导入装置导入的气流,可防止喷枪火焰气流向上流动,从而减少石英粒子落到反应容器的侧壁上,进而防止侧壁上的石英粒子再落下使母材产生缺陷,提高母材质量。。

图1是本实用新型的结构示意图;图2是图1中X-X向放大示意图;图3是图1中Y-Y向放大示意图。图中标号说明1、靶棒,2、上部气体导入装置,3、反应容器,4、芯棒母材,5、水平气体导入装置,6、包层喷灯,7、芯层喷灯,8、排气口,9、上部气体导入装置的气体导入孔,10、 提升装置,51、第一导入气体出口,55、第二导入气体出口,52、气体导向装置,53、气体过滤器,54.鼓风机送风口,56、平板整流器。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例,来详细说明本实用新型。参照图1、图2所示,一种大型石英芯棒母材制造装置,包括一反应容器3,所述反应容器3下方设有芯层喷灯7和包层喷灯6,所述反应容器3 —侧面设有连接排风机的排气口 8,所述反应容器3顶部设有一具有气体导入孔9的上部气体导入装置2,所述反应容器 3另一侧还设置水平气体导入装置5,所述水平气体导入装置5的气体出口 55位于所述芯层喷灯7和所述包层喷灯6的上方且对准所述排气口 8,所述水平气体导入装置5内设置由多层平板构成的平板整流器56。进一步的,所述反应容器3上方设有一带悬挂靶棒1的提升装置10。进一步的,在所述水平气体导入装置5内设置有垂直于所述平板整流器56的平板的楔形气体导向装置52。进一步的,所述水平气体导入装置5内设置一气体过滤器53,所述气体过滤器53 上开设有鼓风机送风口 M。进一步的,所述反应容器3与所述水平气体导入装置5连接处开设有第一导入气体出口 55和第二导入气体出口 51。
权利要求1.一种大型石英芯棒母材制造装置,包括一反应容器(3),所述反应容器(3)下方设有芯层喷灯(7)和包层喷灯(6),所述反应容器(3)—侧面设有连接排风机的排气口(8),其特征在于所述反应容器(3)顶部设有一具有气体导入孔(9)的上部气体导入装置(2),所述反应容器(3)另一侧还设置水平气体导入装置(5),所述水平气体导入装置(5)的气体出口 (55)位于所述芯层喷灯(7)和所述包层喷灯(6)的上方且对准所述排气口(8),所述水平气体导入装置(5 )内设置由多层平板构成的平板整流器(56 )。
2.根据权利要求1所述的大型石英芯棒母材制造装置,其特征在于所述反应容器(3) 上方设有一带悬挂靶棒(1)的提升装置(10)。
3.根据权利要求1所述的大型石英芯棒母材制造装置,其特征在于在所述水平气体导入装置(5)内设置有垂直于所述平板整流器(56)的平板的楔形气体导向装置(52)。
4.根据权利要求1所述的大型石英芯棒母材制造装置,其特征在于所述水平气体导入装置(5 )内设置一气体过滤器(53 ),所述气体过滤器(53 )上开设有鼓风机送风口( 54 )。
5.根据权利要求1所述的大型石英芯棒母材制造装置,其特征在于所述反应容器(3) 与所述水平气体导入装置(5)连接处开设有第一导入气体出口(55)和第二导入气体出口 (51)。
专利摘要本实用新型公开了一种大型石英芯棒母材制造装置,包括一反应容器,反应容器下方设有芯层喷灯和包层喷灯,反应容器一侧设有连接排风机的排气口,反应容器顶部设有一具有气体导入孔的上部气体导入装置,反应容器另一侧还设置水平气体导入装置,水平气体导入装置的气体出口位于芯层喷灯和包层喷灯的上方且对准排气口,水平气体导入装置内设置由多层平板构成的平板整流器。该装置制作简单、坚固耐用、不易开裂,消除了反应容器内的气流紊乱现象,使芯棒母材沉积稳定,可以将未沉积到母材上的石英粒子迅速从排气口排出反应容器,减少石英粒子落到反应容器的侧壁上,进而防止侧壁上的石英粒子再落下使母材产生缺陷,提高母材质量。
文档编号C03B37/018GK202116443SQ201120222790
公开日2012年1月18日 申请日期2011年6月28日 优先权日2011年6月28日
发明者肖华, 陈进, 顾志华, 高安敏 申请人:江苏亨通光电股份有限公司
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