开方机晶托的制作方法

文档序号:1892661阅读:125来源:国知局
开方机晶托的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种开方机晶托,包括方形的本体,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。本实用新型设计的开方机晶托,总高度达到100mm,这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓,可以避免钢线切割到晶托的情况的发生,并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透,提高工作效率,并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线,降低成本;同时为后续对工艺的优化,特别是提高切割速度提供物质保障;实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患,延长其使用寿命的目的。
【专利说明】开方机晶托
【技术领域】
[0001]本实用新型是一种开方机晶托,属于开方机设备领域。
【背景技术】
[0002]开方机晶托是母锭的载体,切割前需要将母锭粘在晶托的规定位置。由于开方机的横向和纵向钢线不在同一平面内(高度差为25mm),故切割钢线在下行切割的过程中容易损伤到晶托。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种开方机晶托,可以有效的防止切割钢线在下行切割的过程中损伤到晶托。
[0004]本实用新型的目的通过以下技术方案来具体实现:
[0005]开方机晶托,包括方形的本体,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
[0006]所述线槽的深度至少为100mm。
[0007]相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
[0008]本体的边长为1090mm。
[0009]本发明设计的开方机晶托,总高度达到100mm,这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓,可以避免钢线切割到晶托的情况的发生,并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透,提高工作效率,并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线,降低成本;同时为后续对工艺的优化,特别是提高切割速度提供物质保障;实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患,延长其使用寿命的目的。
【专利附图】

【附图说明】
[0010]下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
[0011]图1是本实用新型实施例所述开方机晶托的平面结构图。
[0012]图2是侧视图。
【具体实施方式】
[0013]如图1-2所示,本实用新型实施例所述开方机晶托,包括方形的本体,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
[0014]所述线槽的深度至少为100mm。
[0015]相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
[0016]本体的边长为1090mm。[0017]本发明设计的开方机晶托,总高度达到100mm,这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓,可以避免钢线切割到晶托的情况的发生,并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透,提高工作效率,并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线,降低成本;同时为后续对工艺的优化,特别是提高切割速度提供物质保障;实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患,延长其使用寿命的目的。
【权利要求】
1.开方机晶托,包括方形的本体,其特征在于,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
2.如权利要求1所述的开方机晶托,其特征在于,所述线槽的深度至少为100mm。
3.如权利要求1所述的开方机晶托,其特征在于,相邻两个线槽之间的宽度为135mm。
4.如权利要求1所述的开方机晶托,其特征在于,本体的边长为1090mm。
【文档编号】B28D5/04GK203485318SQ201320599994
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年9月27日 优先权日:2013年9月27日
【发明者】刘耀峰, 潘振东 申请人:无锡荣能半导体材料有限公司
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