新型线切割机双排切割晶托装置的制造方法

文档序号:10308416阅读:443来源:国知局
新型线切割机双排切割晶托装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅生产技术领域,进一步是线切割机切割多晶硅块装置,尤其是线切割机双排切割晶托装置。
【背景技术】
[0002]目前多晶硅线切割所使用的线切割设备,大多是双排并排设计的。此类机型在增加装载量的同时,也存在切割过程中并排晶棒相互影响的情况。特别是在入切和收刀阶段尤为明显。经常会出现因并排晶棒不能同时入刀导致的边缘缺陷,以及收刀时线弓过大导致的胶面边缘缺陷,最终导致切割良品率较低。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的是提供一种线切割机双排切割晶托加角度装置,它可克服现有技术的缺陷,减少入切和收刀阶段双排切割相互影响所产生的不良,降低生产成本,提高切片良品率。
[0004]本实用新型的目的是通过以下方案实现的:
[0005]在原晶托设计的基础上,在晶托和金属垫板之间一侧增加一个金属垫条,使晶棒和线网之间不再平行,而是有一个角度,从而使晶棒在入切时一个角先接触线网,使线网受力逐步增加,减少入切边缘缺陷的产生,而到了收刀阶段因为角度的存在,可将切割线弓的角度抵消,实现粘胶面的平稳出刀,减少粘胶面的边缘缺陷的产生。从而提升切割良品率。
[0006]具体是:
[0007]新型线切割机双排切割晶托装置,包括两个带有燕尾槽的固定晶托,两个用来粘结玻璃的金属垫板,连结晶托和金属垫板的固定螺丝;两块玻璃板,玻璃板下粘结多晶硅块;其特征在于:所述晶托下平面与多晶硅块上平面间呈3 — 6度夹角。
[0008]本实用新型还可通过以下方案进一步实现:
[0009]所述夹角由以下结构实现:晶托和金属垫板中间添加有楔形金属垫条,固定螺丝将晶托金属垫板固紧,同时夹紧楔形金属垫条。进一步:楔形金属垫条的厚度为1.5mm-
2.0mm之间。
[0010]所述夹角由以下结构实现:将金属垫板制成楔形,金属垫板上平面与下平面呈3-6度夹角。
[0011]所述夹角由以下结构实现:将玻璃板制成楔形,玻璃上平面与下平面呈3— 6度夹角。
[0012]本实用新型的有益效果是:1、在双排满载切割时给晶棒加一个角度,可以避免晶棒在入切时产生边缘线痕。2、双排满载切割所加角度在收刀时可以抵消切割过程中产生的线弓,使收刀更加平稳,避免因满载切割线弓过大产生胶面的亮边、崩边和硅落等异常。最终实现提升切割良品率。
[0013]为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型结构不意图;
[0015]图中:I为晶托,2为金属垫板,3为固定螺丝,4为楔形金属垫条,5为玻璃板,6为多晶娃块。
【具体实施方式】
[0016]实施例:
[0017]如图1所示,新型线切割机双排切割晶托装置,包括两个晶托1、两个金属垫板2,以及两块玻璃板5,玻璃板5下置有多晶硅块6。通过在晶托I和金属垫板2中间添加两个相同尺寸的楔形金属垫条4,固定螺丝3将晶托I金属垫板2固紧(也可以将所述楔形垫条直接通过固定晶托和金属垫板的螺丝来固定),给下面粘结的多晶硅块6—个倾斜角度,实现对入切和收刀不良的改善。
[0018]所述楔形金属垫条设置于晶托和金属垫板之间靠近中间砂帘一侧,楔形金属垫条厚度范围1.5mm-2.0mm。
[0019]以上所述,仅为本实用新型的【具体实施方式】,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.新型线切割机双排切割晶托装置,包括两个带有燕尾槽的固定晶托,两个用来粘结玻璃的金属垫板,连结晶托和金属垫板的固定螺丝;两块玻璃板,玻璃板下粘结多晶硅块;其特征在于:所述晶托下平面与多晶硅块上平面间呈3 — 6度夹角。2.根据权利要求1所述的新型线切割机双排切割晶托装置,其特征在于:所述夹角由以下结构实现:晶托和金属垫板中间添加有楔形金属垫条,固定螺丝将晶托金属垫板固紧,同时夹紧楔形金属垫条。3.根据权利要求1所述的新型线切割机双排切割晶托装置,其特征在于:所述夹角由以下结构实现:将金属垫板制成楔形,金属垫板上平面与下平面呈3 — 6度夹角。4.根据权利要求1所述的新型线切割机双排切割晶托装置,其特征在于:所述夹角由以下结构实现:将玻璃板制成楔形,玻璃上平面与下平面呈3 — 6度夹角。5.根据权利要求2所述的新型线切割机双排切割晶托装置,其特征在于:所述楔形金属垫条的厚度为1.5mm-2.0mm之间。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型线切割机双排切割晶托装置,涉及线切割机切割多晶硅块装置,包括两个带有燕尾槽的固定晶托,两个用来粘结玻璃的金属垫板,连结晶托和金属垫板的固定螺丝;两块玻璃板,玻璃板下粘结多晶硅块;其特征在于:所述晶托下平面与多晶硅块上平面间呈3-6度夹角。本实用新型的有益效果是:1、在双排满载切割时给晶棒加一个角度,可以避免晶棒在入切时产生边缘线痕。2、双排满载切割所加角度在收刀时可以抵消切割过程中产生的线弓,使收刀更加平稳,避免因满载切割线弓过大产生胶面的亮边、崩边和硅落等异常。最终实现提升切割良品率。
【IPC分类】B28D5/04, B28D7/04
【公开号】CN205219475
【申请号】CN201521072322
【发明人】姜环宇, 刘福强, 方圆, 刘奇元, 刘陈陈, 苏大伟, 王鹏坤, 黄文文, 吴昂, 屈晓春, 郑春燕
【申请人】河南盛达光伏科技有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年12月21日
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