新型籽晶加工设备的制作方法

文档序号:23017952发布日期:2020-11-20 12:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型籽晶加工设备,其特征在于,包括:

支撑平台;

进给装置,所述进给装置设置在所述支撑平台上,所述进给装置包括进给组件和与所述进给组件连接的加工组件,所述加工组件包括第一驱动机构,与所述第一驱动机构连接的空心的钻管,所述第一驱动机构驱动所述钻管旋转以加工籽晶母料;

所述进给组件包括第二驱动机构,所述第二驱动机构驱动所述进给组件移向所述籽晶母料靠近或远离所述籽晶母料,以控制所述进给组件对所述籽晶母料加工时的进给量;

侧移装置,所述侧移装置设置在所述设备支撑平台上,所述侧移装置包括第三驱动机构,用于调节所述钻管的端部位于所述籽晶母料的端部的位置;

旋转装置,所述旋转装置与所述侧移装置连接,并与所述进给装置相对设置,所述旋转装置上安装有晶托。

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述旋转装置包括旋转电机和旋转工作台,所述旋转工作台是双层结构,包括底座和旋转台,所述旋转台的中心转轴安装在所述底座上,所述旋转电机安装在所述底座的侧面,用于驱动所述旋转台的中心转轴周向旋转,所述旋转台上安装有所述晶托,所述底座与所述侧移装置固定连接。

3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述设备还包括:

进给导轨,所述进给导轨固定在所述支撑平台上,所述进给装置安装在所述进给导轨上,以使所述第二驱动机构沿所述进给导轨方向驱动所述加工组件向所述籽晶母料安装方向移动;

进给丝杠,所述进给丝杠与所述第二驱动机构连接,用于在第二驱动机构的驱动下带动所述加工组件沿所述进给导轨移动。

4.根据权利要求3所述的设备,其特征在于,所述进给装置与所述进给丝杠通过螺纹连接,且与所述进给导轨滑动连接。

5.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述侧移装置包括:

立板,所述立板固定在所述支撑平台上;

侧移导轨,所述侧移导轨固定在所述立板上,所述旋转装置安装在所述侧移导轨上;

侧移丝杠,所述侧移丝杠与所述第三驱动机构连接,用于在所述第三驱动机构的驱动下带动所述旋转装置沿所述侧移导轨移动。

6.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述晶托为双层晶托,第一层晶托与所述旋转工作台的底座固定连接,第二层晶托与所述第一层晶托连接,用于粘接所述籽晶母料,且所述第二层晶托的径向位置可调,用于调整所述籽晶母料的径向平面垂直于所述钻管。

7.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,所述晶托还包括:

顶丝,所述顶丝在所述第二层晶托的周向上均匀分布,用于调整所述第二层晶托的径向位置;

多套螺柱,以及与多套所述螺柱一一对应的多套螺母,所述螺柱穿过晶托,并通过所述螺母固定所述晶托;

压簧,所述压簧套设在所述螺柱上,且一端与位于端部的一套所述螺母抵接,另一端与所述第二层晶托抵接。

8.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,还包括:供水装置,用于在钻管旋转钻取籽晶时对钻管进行冷却,优选地,供水装置的喷水口与所述钻管连通,用于在钻管旋转钻取籽晶时对钻管进行冷却,且在所述第一驱动机构停止时,所述喷水口喷水以将加工后的籽晶从所述钻管里冲出来。

9.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述第一驱动机构、第二驱动机构与所述第三驱动机构为电机。

10.一种籽晶加工方法,其特征在于,应用于权利要求1-9任一项所述的新型籽晶加工设备,所述方法包括:

将所述籽晶母料固定在所述晶托上,并调整所述籽晶母料的径向定位,使所述籽晶母料的径向平面垂直于所述钻管;

开启所述侧移装置和/或旋转装置,将所述籽晶母料侧方移动和/或周向旋转到指定的加工位置;

开启所述第一驱动机构并驱动所述钻管旋转;

开启第二驱动机构,以使所述钻管向所述籽晶母料方向移动并钻取所述籽晶母料,以使钻取的籽晶截存在所述钻管内;

当籽晶长度达到预设长度后,所述第一驱动机构停止驱动所述钻管旋转,所述第二驱动机构带动所述钻管向远离所述籽晶母料方向移动,并退回至起始位置;

取出籽晶;

开启侧移装置或旋转装置,将所述籽晶母料移动到指定加工位置,进行下一根籽晶的钻取加工,按此方式,直到完成整根所述籽晶母料的加工。


技术总结
本发明提供一种新型的籽晶加工的设备及籽晶加工方法,包括支撑平台;进给装置,进给装置设置在支撑平台上,包括第一驱动机构,与第一驱动机构连接的空心的钻管,第一驱动机构驱动钻管旋转以加工籽晶母料;第二驱动机构驱动进给组件移向籽晶母料靠近或远离籽晶母料;侧移装置,侧移装置设置在设备支撑平台上,包括第三驱动机构,用于调节所述钻管的端部位于籽晶母料的端部的位置;旋转装置,旋转装置与侧移装置的第三驱动机构固定连接,并与进给装置相对设置。根据本发明实施例的新型籽晶加工设备及籽晶加工方法,能够预设籽晶母料加工程序,实现自动化加工籽晶母料,减少了操作人员的投入,生产的籽晶一次成型,减少了加工环节,降低了硅料损耗。

技术研发人员:尤志剑;张建龙;吕为亮
受保护的技术使用者:邢台晶龙新能源有限责任公司
技术研发日:2020.08.19
技术公布日:2020.11.20
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