一种划刀夹具、刻划装置及刻划装置的刻划方法与流程

文档序号:25535685发布日期:2021-06-18 20:29阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种划刀夹具,其特征在于,包括固定座和夹持机构,所述固定座上设有容置孔,所述夹持机构用于将刻划装置的划刀固定于所述容置孔内,所述划刀在所述容置孔内具有多个工作位,多个所述工作位用于使所述划刀的刃部相对所述固定座呈多个角度。

2.根据权利要求1所述的划刀夹具,其特征在于,所述容置孔的横截面呈圆形。

3.根据权利要求2所述的划刀夹具,其特征在于,所述划刀夹具还包括转动连接于所述容置孔内的转动件,所述转动件内设有方形孔,所述方形孔与所述划刀的外壁相适配。

4.根据权利要求3所述的划刀夹具,其特征在于,所述固定座上设有角度指示盘,所述转动件上设有指示针,所述指示针用于指向所述角度指示盘,以指示所述划刀的设置角度。

5.根据权利要求1所述的划刀夹具,其特征在于,所述容置孔内设有多组卡位槽,多组所述卡位槽的中心轴线均与所述容置孔的中心轴线共线,且所述卡位槽与所述划刀的外壁相适配,驱动所述划刀在多组所述卡位槽内进行切换,所述划刀处于相对所述固定座呈不同角度的工作位。

6.根据权利要求5所述的划刀夹具,其特征在于,每组所述卡位槽包括四个卡接位,其中每一个所述卡接位的卡接方向与相邻两个所述卡接位之间的连线呈90°夹角。

7.根据权利要求5所述的划刀夹具,其特征在于,所述固定座上对应每组所述卡位槽均设置有角度标识,所述角度标识的角度与所述卡位槽相对所述固定座的倾斜角度相对应。

8.根据权利要求1所述的划刀夹具,其特征在于,所述夹持机构包括两个夹持件,所述固定座设有与所述容置孔呈垂直设置的贯穿孔,所述贯穿孔和所述容置孔相连通,驱动两个所述夹持件分别自所述贯穿孔的两端朝向所述容置孔运动,以用于夹紧穿设于所述容置孔内的所述划刀。

9.根据权利要求8所述的划刀夹具,其特征在于,两个所述夹持件的外壁上分别设有外螺纹,所述贯穿孔内设有与所述外螺纹匹配的内螺纹,两个所述夹持件分别螺接于所述贯穿孔的相对两端。

10.一种刻划装置,其特征在于,包括划刀和如权利要求1至9中任意一项所述的划刀夹具,其中,所述划刀的刃部伸出至所述划刀夹具的容置孔之外。

11.一种刻划装置的刻划方法,其特征在于,采用权利要求10所述的刻划装置,包括:

根据衬底的开裂线的方向调节刻划装置的刃部相对所述刻划装置的固定座的角度,以使所述刃部的刻划方向与所述开裂线的延伸方向对应;

通过所述刃部沿所述开裂线的方向对所述衬底进行切割。


技术总结
一种划刀夹具、刻划装置及刻划装置的刻划方法,涉及半导体加工设备技术领域。该划刀夹具包括固定座和夹持机构,固定座上设有容置孔,夹持机构用于将刻划装置的划刀固定于容置孔内,划刀在容置孔内具有多个工作位,多个工作位用于使划刀的刃部相对固定座呈多个角度。该刻划装置包括划刀和上述的划刀夹具,其中,划刀的刃部伸出至划刀夹具的容置孔之外。该划刀夹具及刻划装置能够实现划刀的多角度划线,适用性强。

技术研发人员:刘中华;杨国文;李颖;赵卫东;张继宇;魏文超
受保护的技术使用者:度亘激光技术(苏州)有限公司
技术研发日:2021.03.03
技术公布日:2021.06.18
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1