一种摇摆式硅锭的高效多线开方机的制作方法

文档序号:8330403阅读:318来源:国知局
一种摇摆式硅锭的高效多线开方机的制作方法
【专利说明】一种摇摆式硅锭的高效多线开方机
[0001]
技术领域
[0002]本发明涉及一种摇摆式硅锭的高效多线开方机。
[0003]
【背景技术】
[0004]现有技术中,对于单晶硅、多晶硅等硅锭的开方加工,通常是采用线切割的方式进行,切割加工过程中,通过线切割丝的往复运动及纵向进给运动实现切割加工,切割加工过程中线切割丝与待切割的硅锭产品之间的接触线较长,切割阻力大,切割效率较低。
[0005]此外,在硅锭产品切方时,现有技术中,线切割机上具有X、Y两个方向的切割丝对硅锭产品进行切割加工,从而获取切方的硅锭产品,这样造成开方机的整体结构极其复杂,切割加工时效率很低,整机尺寸大,成本高昂。
[0006]

【发明内容】

[0007]本发明的目的是克服现有技术的缺点,提供一种摇摆式硅锭的高效多线开方机,以提高硅锭的开方加工效率。
[0008]为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种摇摆式硅锭的高效多线开方机,包括机座、设于所述机座上具有工作台的底座、设于所述机座上并位于所述工作台上方的线切割加工装置,所述线切割加工装置包括具有多条可沿左右方向做往复运动的线切割丝,所述线切割加工装置可升降地设于所述机座上,待切割的硅锭物料固定地设于所述工作台上,所述工作台的中部通过转轴可转动地连接在所述底座上,所述转轴的轴心线沿前后方向分布,所述底座与所述工作台之间还设有用于驱动所述工作台绕所述转轴左右摆动的摆动装置,所述底座与所述工作台之间还设有用于提供所述工作台摆动时以缓冲力的缓冲装置。
[0009]优选地,所述摇摆装置包括枢轴连接在所述工作台一端且可相对所述底座上下升降的顶升座、用于驱动所述顶升座升降的升降驱动装置。
[0010]进一步地,所述升降驱动装置包括可绕自身轴心线旋转地设于所述底座上的滚珠丝杠、与所述滚珠丝杠相配合的丝杠螺母、用于驱动所述滚珠丝杠绕自身轴心线旋转的电机,所述顶升座与所述丝杠螺母相固定连接。
[0011]优选地,所述缓冲装置包括固设于所述底座左端上部的第一弹簧、固设于所述底座右端上部的第二弹簧,所述工作台的左右两端分别支撑在所述第一弹簧与所述第二弹簧上。
[0012]优选地,待切割的所述硅锭物料通过粘料板固定地粘接固定在所述工作台上。
[0013]优选地,所述工作台包括与所述底座通过所述转轴相转动连接的底板、可拆卸地连接在所述底板上的分度盘、可旋转地设于所述分度盘上用于固定放置所述硅锭物料的料座。
[0014]优选地,所述线切割加工装置包括安装座、固设于所述安装座上的辊轮架、可绕自身轴心线旋转地设于所述安装座与所述辊轮架上的多根绕线辊、按序绕设在多根所述绕线辊上形成多条所述线切割丝的钢线,所述安装座可升降地设于所述机座上,多根所述线切割丝沿所述绕线辊的长度延伸方向间隔分布。
[0015]进一步地,所述安装座上还设有用于对所述钢线进行收放的收放线机构、用于驱动其中一根所述绕线辊旋转从而带动所述线切割丝往复运动的切割驱动机构。
[0016]进一步地,所述辊轮架呈“H”型,所述绕线辊有四根,每根所述绕线辊的两端分别转动地设置在所述安装座与所述辊轮架上。
[0017]由于上述技术方案的运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:本发明的摇摆式硅锭的高效多线开方机,其中通过驱使工作台摇摆,使得线切割加工的过程中,线切割丝与硅锭物料之间的接触线大幅变短,形成短线接触,这样在切割时的阻力大幅减小,大幅地提高了硅锭物料的开方加工效率。该开方机的整体结构简单,体积较小,相比现有技术中的开方机更为经济,大幅地降低了生产成本。
[0018]
【附图说明】
[0019]附图1为本发明的多线开方机的结构示意图;
附图2为本发明的多线开方机上线切割加工装置的结构示意图;
其中:1、线切割加工装置;11、安装座;12、辊轮架;13、绕线辊;14、线切割丝;15、收放线轮;16、导轮;2、底座;3、硅锭物料;4、工作台;41、底板;42、分度盘;43、料座;5、转轴;6、顶升座;7、升降驱动机构;8、缓冲装置;81、第一弹簧;82、第二弹簧。
[0020]
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图和具体的实施例来对本发明的技术方案作进一步的阐述。
[0022]参见图1、图2所示,一种摇摆式硅锭的高效多线开方机,该多线开方机包括机座(图中未示出)、设于机座上具有工作台4的底座2、设于机座上并位于工作台4上方的线切割加工装置I。
[0023]线切割加工装置I具有多条可沿左右方向做往复运动的线切割丝,且该线切割加工装置I可升降地设于机座上以实现切割加工时的纵向进给。如图2所示,该线切割加工装置I包括安装座11、固设于安装座11上的辊轮架12。安装座11可升降地设于机座上,辊轮架12呈“H”型,其一端悬臂地固定在安装座11上。辊轮架12与安装座11之间设有多根绕线辊13,这多根绕线辊13可绕自身轴心线旋转地设置。此处,绕线辊13有四根,这四根绕线辊13的轴心线相互平行,每根绕线辊13的两端分别转动地设于安装座11与辊轮架12上,多条线切割丝14由钢线按序绕设在这四根绕线辊13上而形成,这多条线切割丝14沿绕线辊13的长度延伸方向间隔分布。安装座11上还设有用于对钢线进行收放的收放线机构,该收放线机构包括用于卷绕钢线的收放线轮15以及多个导轮16.此外,安装座11上还设有用于驱动其中一根绕线辊13旋转从而带动所有线切割丝14往复运动的切割驱动机构(图中未示出)。
[0024]该开方机上,工作台4可左右摆动地设于底座2上。参见图1所示,工作台4的中部通过转轴5可转动地连接在底座2上,转轴5的轴心线沿前后方向分布,此处,该前后方向亦即绕线辊13的长度延伸方向。底座2与工作台4之间设有用于驱动工作台4绕转轴5左右摆动的摆动装置。该摆动装置包括枢轴连接在工作台4一端的顶升座6,该顶升座6可相对底座2升降地设置,底座2上还设有用于驱动顶升座6升降的升降驱动装置7。在本实施例中,升降驱动装置7包括可绕自身
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