同样可应用在实施例2中，对应的水平定位块302、斜角定位块303设置在作为固定部件的主横梁上，由于垂直柱竖直设置，因此水平定位块302和斜角定位块303采用左右位置分布，其工作原理如上，在此不做赘述。
[0057]实施例4
[0058]结合参见图4、图8和图9，本实施例在实施例1的基础上，采用的角度调节机构3包括定位槽306、定位滑块307和顶杆305，定位槽306设置在垂直柱5上，刀具横梁6 —端部通过铰链结构301与垂直柱5铰接，中段嵌装在定位槽306中，定位槽306内具有水平位和斜角位两个侧面。
[0059]当切割刀片7处于竖直位置时，刀具横梁6对应的处于水平位置并与定位槽306内的水平位侧面定位接触，此时刀具横梁6通过推动定位槽下方的定位滑块307实现刀具横梁的定位锁紧；当切割刀片7处于倾斜位置时，刀具横梁6对应的处于倾斜位置并与定位槽306内的斜角位侧面定位接触，本实施例的附图7仅表现刀具横梁6向下倾斜，具体应用中，刀具横梁6可向上倾斜或向下倾斜，此时应当将定位滑块307推开，通过嵌装在定位槽内的顶杆305伸出将刀具横梁6定位压紧在定位槽306的斜角位侧面上，顶杆305可与直线驱动的液压缸、气缸或直线电机连接，实现伸出和收回动作。
[0060]本实施例同样可应用在实施例2中，对应的定位槽306设置在作为固定部件的主横梁上，其设置方向与在垂直柱上的设置相垂直。
[0061]实施例5
[0062]参见图4、图10和图11，本实施例在实施例1的基础上，采用的角度调节机构3包括斜角定位块303和连杆308，本实施例与实施例3不同之处在于:在垂直柱5上仅设有斜角定位块303，并且刀具横梁6通过连杆铰链309与一连杆308连接，连杆308与直线驱动的液压缸、气缸或直线电机连接，通过连杆308实现刀具横梁6的水平位置和倾斜位置的定位锁紧，同时斜角定位块303倾斜位置的限位，保证切割刀片7的倾斜角度。
[0063]当切割刀片7处于竖直位置时，刀具横梁6在连杆308的作用下保持水平并实现锁定；当切割刀片7处于倾斜位置时，刀具横梁6在连杆308的驱动下与斜角定位块303定位接触并压紧，实现切割刀片7进行倾斜切割。
[0064]本实施例同样可应用在实施例2中，对应的斜角定位块303设置在作为固定部件的主横梁上，连杆308横向设置驱动垂直柱与刀具横梁一起摆动。
[0065]实施例6
[0066]参见图4、图12和图13，本实施例在实施例1的基础上，采用的角度调节机构3包括水平电磁铁310和斜角电磁铁311，水平电磁铁310和斜角电磁铁311固设在垂直柱5上，采用上下分布设置，刀具横梁6 —端部通过铰链结构301与垂直柱5铰接，中段位于水平电磁铁310和斜角电磁铁311之间，与实施例3不同之处在于:本实施例不需要采用定位销进行刀具横梁的定位，电磁铁既实现刀具横梁的限位功能，同时还通过电磁铁的电磁吸力实现定位锁紧。本实施例的刀具横梁6需要采用能够被电磁吸附的材质制成。
[0067]当切割刀片7处于竖直位置时，水平电磁铁310通电，斜角电磁铁311断电，刀具横梁6在水平电磁铁310的电磁吸力作用下与水平电磁铁吸附，保持水平；当切割刀片7处于倾斜位置时，斜角电磁铁311通电，水平电磁铁310断电，刀具横梁6在斜角电磁铁311的电磁吸力作用下与斜角电磁铁吸附，保持倾斜。
[0068]本实施例同样可应用在实施例2中，对应的水平电磁铁310和斜角电磁铁311设置在作为固定部件的主横梁上，由于垂直柱竖直设置，水平电磁铁310和斜角电磁铁311采用左右位置布置，其工作原理如上，在此不做赘述。
[0069]实施例7
[0070]参见图4、图14和图15，本实施例在实施例1的基础上，采用的角度调节机构3为角度控制电机313，角度控制电机313通过电机固定螺栓315固定在垂直柱5上，角度控制电机313的电机驱动轴312通过键314与刀具横梁6连接，实现垂直柱5和刀具横梁6之间可转动铰接。
[0071]切割刀片7的水平和倾斜控制，通过角度控制电机313带动刀具横梁6转动实现。角度控制电机313容易实现整体设备的自动化程序控制。
[0072]本实施例同样可应用在实施例2中，角度控制电机313固定在作为固定部件的主横梁上，电机驱动轴312与垂直柱连接。
[0073]实施例8
[0074]参见图4和图5，本实施例与实施例1、实施例2的不同之处在于:本实施例没有角度调节机构，切割刀片仅具有一种状态，即与竖直面呈±8°的倾斜状态。
[0075]在本实施例中，主横梁4、垂直柱5、刀具横梁6以及切割刀片7之间均采用刚性连接，其中，垂直柱5与主横梁4之间、刀具横梁6与垂直柱之间或者切割刀片7与刀具横梁6之间通过倾斜设置，实现切割刀片7与竖直面之间的夹角为在±8°。
[0076]以上仅为本实用新型具体实施案例说明，不能以此限定本实用新型的权利保护范围。凡根据本实用新型申请权利要求书及说明书内容所作的等效变化与修改，皆在本实用新型保护的范围内。
【主权项】
1.PLC芯片斜端面自动切割装置，其特征在于包括: 主横梁(4)，为装置的整体固定支撑构件； 垂直柱(5)，与主横梁(4)连接，用于将切割刀片(7)悬置于待切割的晶圆上方； 刀具横梁(6)，设置在垂直柱(5)上，用于设置切割刀片(7); 切割刀片(7)，设置在刀具横梁(6)上，由驱动设备连接实现切割晶圆； 所述切割刀片(7)与竖直面倾斜设置。2.根据权利要求1所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述切割刀片(7)与竖直面的夹角在±8°之间。3.根据权利要求2所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述垂直柱(5)沿竖直方向设置并与主横梁(4)刚性连接，为固定部件； 所述刀具横梁(6)与垂直柱(5)可转动铰接，为摆动部件； 所述刀具横梁(6)和垂直柱(5)之间设有角度调节机构(3)，实现切割刀片(7)的倾斜调整。4.根据权利要求2所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述主横梁(4)固定设置，为固定部件； 所述垂直柱(5)与主横梁(4)可转动铰接，为摆动部件，所述刀具横梁(6)与垂直柱(5)垂直设置并刚性连接； 所述主横梁(4)和垂直柱(5)之间设有角度调节机构(3)，实现切割刀片(7)的倾斜调整。5.根据权利要求3或4所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述固定部件和摆动部件之间通过铰链结构(301)可转动铰接。6.根据权利要求5所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述角度调节机构(3)包括固设在固定部件上的水平定位块(302)和斜角定位块(303)，所述摆动部件位于水平定位块(302)和斜角定位块(303)之间，其中，所述水平定位块(302)在切割刀片(7)处于竖直位置时与摆动部件定位接触，所述斜角定位块(303)在切割刀片(7)处于倾斜位置时与摆动部件定位接触，所述固定部件与摆动部件之间通过定位销(304)锁紧。7.根据权利要求5所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述角度调节机构(3)包括设置在固定部件上的定位槽(306)，所述摆动部件位于定位槽(306)内，所述定位槽(306)内具有水平位和斜角位两个侧面，分别在切割刀片(7)处于竖直位置时和倾斜位置时与摆动部件定位接触，所述定位槽(306)内嵌设有定位滑块(307)和顶杆(305)，分别与摆动部件接触并锁紧在水平位置和倾斜位置。8.根据权利要求5所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述角度调节机构(3)包括设置在固定部件上的斜角定位块(303)，所述斜角定位块(303)在切割刀片(7)处于倾斜位置时与摆动部件定位接触，所述摆动部件通过连杆铰链(309)与一连杆(308)铰接，用于调整摆动部件实现切割刀片(7)至竖直位置。9.根据权利要求7或8所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述顶杆(305)或连杆(308)与直线驱动的液压缸、气缸或直线电机连接。10.根据权利要求5所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述角度调节机构(3)包括设置在固定部件上的水平电磁铁(310)和斜角电磁铁(311)，所述摆动部件位于水平电磁铁(310)和斜角电磁铁(311)之间，其中，所述水平电磁铁(310)在切割刀片(7)处于竖直位置时与摆动部件通过电磁吸附定位，所述斜角电磁铁(311)在切割刀片(7)处于倾斜位置时与摆动部件通过电磁吸附定位。11.根据权利要求3或4所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述角度调节机构(3)包括固定在固定部件上的角度控制电机(313)，所述角度控制电机(313)的电机驱动轴(312)通过键(314)与摆动部件连接，实现固定部件和摆动部件之间可转动铰接。12.根据权利要求1所述的PLC芯片斜端面自动切割装置，所述主横梁(4)、垂直柱(5)、刀具横梁(6)以及切割刀片(7)之间采用刚性连接，其中，所述垂直柱(5)与主横梁(4)之间、所述刀具横梁(6)与垂直柱之间或者所述切割刀片(7)与刀具横梁(6)之间通过倾斜设置，实现切割刀片(7)与竖直面之间的夹角在±8°之间。
【专利摘要】本实用新型公开了一种PLC芯片斜端面自动切割装置，包括主横梁、垂直柱、刀具横梁和切割刀片，主横梁为装置的整体固定支撑构件，垂直柱与主横梁连接，用于将切割刀片悬置于待切割的晶圆上方，刀具横梁设置在垂直柱上，用于设置切割刀片，切割刀片设置在刀具横梁上，由驱动设备连接实现切割晶圆，所述切割刀片与竖直面呈8°倾斜设置。本实用新型将切割刀片倾斜成所需的角度，然后对需要斜端面的晶圆进行切割，刀具倾斜可自然获得PLC芯片所需端面斜度角，配合选择合适的切割刀片，可将端面研磨抛光工艺省去，提高了生产效率，降低生产成本。
【IPC分类】B28D5/02
【公开号】CN204773075
【申请号】CN201520424083
【发明人】杨志援
【申请人】湖南晶图科技有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年6月18日