本实用新型属于对位平台技术领域，尤其涉及一种封闭式精密对位平台。
背景技术：
本部分旨在为权利要求书以及具体实施方式中陈述的本实用新型的实施方式提供背景或者上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。
在半导体制造、液晶面板制造、LED面板制造等技术领域均需要用到对位平台，目前的对位平台并不是封闭式的，由此，在生产过程中，容易进入粉尘，粉尘堆积过多后，会影响对位平台的精度，因此长时间使用对位平台后会因对位精度不准确而导致产品质量存在缺陷，不利于产品生产，另外，粉尘堆积在对位平台内还不容易清洁。
技术实现要素：
鉴于此，本实用新型有必要提供一种封闭式精密对位平台，拥有较好的封闭性，降低粉尘进入对位平台内部的可能。
本实用新型采用的技术方案如下，一种封闭式精密对位平台，包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴移动平台运动的第二驱动装置、叠设于所述Y轴移动平台上并通过旋转机构与所述Y轴移动平台转动连接的旋转平台以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置，在所述X轴导轨的两侧均设有X轴封板，在所述Y轴导轨的两侧均设有Y轴封板，在所述旋转机构的外侧设有环形封板，所述环形封板将所述旋转机构以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台以及所述旋转平台之间的空间中。
进一步的，所述X轴封板包括第一X轴侧板以及连接所述第一X轴侧板的第二X轴侧板，所述第一X轴侧板为竖直板并且其底端固定于所述底座的上表面，所述X轴移动平台设有第一滑动槽，所述第二X轴侧板收容于所述第一滑动槽内以便于所述第二X轴侧板能在所述第一滑动槽内滑动。
进一步的，所述第一X轴侧板与所述第二X轴侧板之间的夹角为90度。
进一步的，所述Y轴封板包括第一Y轴侧板以及连接所述第一Y轴侧板的第二Y轴侧板，所述第一Y轴侧板为竖直板并且其底端固定于所述X轴移动平台的上表面，所述Y轴移动平台设有第二滑动槽，所述第二Y轴侧板收容于所述第二滑动槽内以便于所述第二Y轴侧板能在所述第二滑动槽内滑动。
进一步的，所述第一Y轴侧板与所述第二Y轴侧板之间的夹角为90度。
进一步的，旋转机构包括固定于所述Y轴移动平台上表面的固定轴、固定于所述旋转平台下表面的旋转轴，所述旋转轴与所述固定轴轴接并可相对旋转，在所述旋转轴上设有外螺纹，所述第三驱动装置所连接的主动轮与所述外螺纹螺纹传动连接。
进一步的，所述环形封板包括第一环形板以及与所述第一环形板连接的第二环形板，所述第一环形板为竖直板并且其底端固定于所述Y轴移动平台的上表面，所述旋转平台设有第三滑动槽，所述第二环形板收容于所述第三滑动槽内以便于所述第二环形板能在所述第三滑动槽内相对转动。
进一步的，所述第一环形板与所述第二环形板之间的夹角为90度。
本实用新型所提供的一种封闭式精密对位平台，包括底座、叠设于所述底座上并通过X轴导轨与所述底座滑动连接的X轴移动平台、驱动所述X轴移动平台运动的第一驱动装置、叠设于所述X轴移动平台上并通过Y轴导轨与所述X轴移动平台滑动连接的Y轴移动平台、驱动所述Y轴移动平台运动的第二驱动装置、叠设于所述Y轴移动平台上并通过旋转机构与所述Y轴移动平台转动连接的旋转平台以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置，在所述X轴导轨的两侧均设有X轴封板，在所述Y轴导轨的两侧均设有Y轴封板，在所述旋转机构的外侧设有环形封板，所述环形封板将所述旋转机构以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台以及所述旋转平台之间的空间中，本实用新型在各个方位均提供了较好的封闭性，能够有效降低在加工过程中粉尘进入对位平台内部的可能，提高对位平台的精度。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见的，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型的一方向的包括部分剖视图的结构示意图。
图2为图1的A处放大图。
图3为本实用新型的另一方向的包括部分剖视图的结构示意图。
图4为图3的B处放大图。
图5为本实用新型的包括部分剖视图的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性的劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围，可以理解，附图仅仅是提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制，附图中显示的连接仅仅是为了便于清晰描述，并限定连接方式。
需要说明的是，当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同，本文中在实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是在于限制本实用新型。
图1以及图3所示，图1和图3是本实用新型的一实施方式所提供的封闭式精密对位平台100的不同侧的包括部分剖视结构的示意图。如图1和图3所示，本实施方式提供一种封闭式精密对位平台100，包括底座10、叠设于所述底座10上并通过X轴导轨20与所述底座10滑动连接的X轴移动平台30、驱动所述X轴移动平台30运动的第一驱动装置（未示出，所述第一驱动装置可以安装在底座10上，可以采用电机或者气缸等）、叠设于所述X轴移动平台30上并通过Y轴导轨40与所述X轴移动平台30滑动连接的Y轴移动平台50、驱动所述Y轴移动平台50运动的第二驱动装置（未示出，所述第二驱动装置可以安装在X轴移动平台30上，可以采用电机或者气缸等）、叠设于所述Y轴移动平台50上并通过旋转机构60与所述Y轴移动平台50转动连接的旋转平台70以及驱动所述旋转平台转动的第三驱动装置（未示出，所述第三驱动装置可以安装在Y轴移动平台30上，可以采用电机或者气缸等），如图1和图3所示，其中，底座10是相对静止的，例如可以固定在机台上，第一驱动装置可以固定在底座上，其输出轴连接X轴移动平台30，在第一驱动装置运动时，驱动X轴移动平台30通过X轴导轨20相对于底座沿着X轴方向运动；第二驱动装置可以固定在X轴移动平台20上，其输出轴连接Y轴移动平台50，在第二驱动装置运动时，驱动Y轴移动平台50通过Y轴导轨40相对于底座沿着Y轴方向运动；第三驱动装置可以固定在Y轴移动平台50上，其输出轴连接旋转平台70，在第三驱动装置运动时，驱动旋转平台70通过旋转机构60相对于Y轴移动平台50转动θ角；如图2和图4所示，X轴导轨20可以包括上导轨21和与上导轨21配合的下导轨22，X轴导轨20可为一对，Y轴导轨40可以包括上导轨41和与上导轨41配合的下导轨42，Y轴导轨20也可为一对。
其中，如图2、图4、图5所示，在所述X轴导轨20的两侧均设有X轴封板01，在所述Y轴导轨40的两侧均设有Y轴封板02，在所述旋转机构60的外侧设有环形封板03，所述环形封板03将所述旋转机构60以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台50以及所述旋转平台70之间的空间中，通过X轴封板01可将X轴导轨20所处的空间的侧边进行封闭，减小粉尘进入X轴导轨20所处的空间内，同理,通过Y轴封板02可将Y轴导轨40所处的空间的侧边进行封闭，减小粉尘进入Y轴导轨40所处的空间内,通过环形封板03能将所述旋转机构60以及所述第三驱动装置封闭在Y轴移动平台50以及所述旋转平台70之间的空间中，减小粉尘进入的可能。
在一可能的实施方式中，如图2所示，所述X轴封板01包括第一X轴侧板011以及连接所述第一X轴侧板011的第二X轴侧板012，其中，所述第一X轴侧板011与所述第二X轴侧板012之间的夹角为90度，所述第一X轴侧板011为竖直板并且其底端固定于所述底座10的上表面，所述X轴移动平台30设有第一滑动槽31，所述第二X轴侧板012收容于所述第一滑动槽31内以便于所述第二X轴侧板012能在所述第一滑动槽31内滑动，在第一驱动装置运动时，X轴封板01不动，第一滑动槽31相对于X轴封板01运动，如此配合，能够进一步的减小粉尘进入的可能。
在一可能的实施方式中，如图4所示，所述Y轴封板02包括第一Y轴侧板021以及连接所述第一Y轴侧板021的第二Y轴侧板022，其中，所述第一Y轴侧板021与所述第二Y轴侧板022之间的夹角为90度，所述第一Y轴侧板021为竖直板并且其底端固定于所述X轴移动平台30的上表面，所述Y轴移动平台50设有第二滑动槽51，所述第二Y轴侧板022收容于所述第二滑动槽51内以便于所述第二Y轴侧板022能在所述第二滑动槽51内滑动，在第二驱动装置运动时，Y轴封板02不动，第二滑动槽51相对于Y轴封板02运动，如此配合，能够进一步的减小粉尘进入的可能。
进一步的，如图5所示，所述旋转机构60包括固定于所述Y轴移动平台50上表面的固定轴61、固定于所述旋转平台70下表面的旋转轴62，所述旋转轴62与所述固定轴61轴接并可相对旋转，可以在旋转轴62内设置轴套等零部件，如此可方便于固定轴61与旋转轴62通过轴套连接时的相对旋转，在所述旋转轴61上设有外螺纹，所述第三驱动装置所连接的主动轮（例如，第三驱动装置可以连接蜗杆）与所述外螺纹螺纹传动连接，通过螺纹传动，旋转平台70所能旋转的θ角，可为360度。
进一步的，所述环形封板03包括第一环形板031以及与所述第一环形板031连接的第二环形板032，其中，所述第一环形板031与所述第二环形板032之间的夹角为90度，所述第一环形板031为竖直板并且其底端固定于所述Y轴移动平台50的上表面，所述旋转平台70设有第三滑动槽71，所述第二环形板032收容于所述第三滑动槽71内以便于所述第二环形板032能在所述第三滑动槽71内相对转动，在第三驱动装置运行时，环形封板03不动，第三滑动槽71相对于环形封板03转动，如此配合，能够进一步的减小粉尘进入的可能。
在本实用新型所提供的几个实施例中，应当理解的是，也可以是通过其他的方式来实现，以上所描述的实施例仅仅是示例性的。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示例性实施例的细节，在不脱离本实用新型的精神或者基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将是实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化涵括在本实用新型中。
不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，显然“包括”一词不排除其他单元或者步骤，单数不排除复数，第一，第二等词语用来表示名称，而并不表示任何特定的顺序。
最后应当理解的是，以上实施例仅用于以说明本实用新型的技术方案而非显示，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围。