工业用机器人的制作方法

本发明涉及在真空中搬运搬运对象的工业用机器人。

背景技术：

目前，已知有在真空中搬运液晶显示器用的玻璃基板的工业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人具备本体部、共同臂、两条臂以及两只手。共同臂形成为大致v形状。形成为大致v形状的共同臂的中心部分与本体部可转动地连接。另外，在形成为大致v形状的共同臂的两个前端侧，分别可转动地连接有两条臂各自的基端侧。将两只手分别可转动地连接于两条臂各自的前端侧。

在专利文献1记载的工业用机器人中，两只手、两条臂及共同臂被配置在内部形成真空的室(真空室)内。在该工业用机器人的情况下，难以将连接的状态下的两条臂和共同臂搬入真空室内，因此，在将连接之前的两条臂和共同臂单独地搬入真空室内后，在真空室内将两条臂和共同臂连接。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013－103330号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

近年来，由工业用机器人搬运的玻璃基板等搬运对象越来越大型化。伴随搬运对象的大型化，需要将工业用机器人大型化，在将专利文献1中记载的工业用机器人大型化的情况下，共同臂也需要大型化。但是，在专利文献1中记载的工业用机器人的情况下，需要在真空室内将两条臂和共同臂连接，因此，当共同臂大型化使得共同臂的重量变重时，在将臂和共同臂连接时，在真空室内不易处理共同臂。另外，当共同臂大型化时，不易将共同臂搬入真空室。

因此，本发明的技术问题在于，提供一种工业用机器人，其具备可转动地连接两条臂的基端侧的共同臂，其中，即使共同臂大型化，也能够容易地进行共同臂在真空室内的处理及共同臂向真空室的搬入。

解决问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种工业用机器人，在真空中搬运搬运对象，其特征在于，具备：装载搬运对象的两只手、在前端侧分别可转动地连接两只手的两条臂、可转动地连接两个臂的基端侧的共同臂、可转动地连接共同臂的本体部，在两个臂各自和共同臂的连接部即两个关节部，配置有固定于臂的基端侧的转动轴、可转动地支承转动轴的轴承、配置于转动轴的外周侧的密封部件，共同臂具备与本体部连接的基端部、保持轴承及密封部件的两个前端部、连接两个前端部各自和基端部的两个连接部，基端部、两个前端部以及两个连接部分体形成。

在本发明的工业用机器人中，共同臂具备与本体部连接的基端部、保持轴承及密封部件的两个前端部、连接两个前端部各自和基端部的两个连接部，基端部、两个前端部以及两个连接部分体形成。因此，在本发明中，能够将共同臂在分解成基端部、两个前端部以及两个连接部的状态下搬入真空室中。因此，在本发明中，即使共同臂大型化，也能够容易地将共同臂搬入真空室。

另外，在本发明中，能够将共同臂在分解成基端部、两个前端部以及两个连接部的状态下搬入真空室中，因此，即使共同臂大型化使得共同臂的重量变重，也能够将比共同臂整体的重量轻的基端部、前端部以及连接部在真空室内单独处理。因此，在本发明中，能够在真空室内容易地处理共同臂。

另外，在本发明中，因为将可转动地支承转动轴的轴承、配置于转动轴的外周侧的密封部件保持于前端部，所以能够将预先装入有转动轴、轴承以及密封部件的前端部搬入真空室中。因此，在本发明中，即使在将共同臂以分解成基端部、两个前端部以及两个连接部的状态搬入真空室中的情况下，也能够容易地进行共同臂在真空室内的组装作业。

在本发明中，例如，在关节部配置以转动轴为输出轴的减速器，减速器的壳体固定于前端部，轴承及密封部件经由壳体保持于前端部。在这种情况下，能够将预先装入有减速器的前端部搬入真空室中。因此，即使减速器被配置在关节部，也能够容易地进行共同臂在真空室内的组装作业。

在本发明中，理想的是，为了使转动轴转动，工业用机器人具备配置于关节部的带轮、保持于前端部的电动机、固定于电动机的输出轴上的驱动侧带轮、挂设于带轮和驱动侧带轮之间的带。当这样构成时，能够将除转动轴、轴承及密封部件之外还预先装入有电动机及带等的前端部搬入真空室中。因此，能够更容易地进行共同臂在真空室内的组装作业。

在本发明中，理想的是，连接部是形成为筒状的管。当这样构成时，能够在确保连接部的刚性的同时，将连接部轻量化。另外，因为能够将连接部轻量化，所以即使共同臂大型化，也能够减轻共同臂的重量。另外，当这样构成时，能够降低连接部的成本。

在本发明中，理想的是，在连接部的两端形成有向连接部的径向外侧扩展的突缘部，连接部的一端通过螺丝固定于基端部，连接部的另一端通过螺丝固定于前端部。当这样构成时，通过将基端部、前端部以及连接部利用螺丝相互固定，能够组装共同臂，因此，共同臂在真空室内的组装作业变得更容易。

在本发明中，例如，共同臂形成为中空状，共同臂的内部为大气压。

(发明效果)

如上所述，在本发明中，在具备可转动地连接两条臂的基端侧的共同臂的工业用机器人中，即使共同臂大型化，也能够容易地进行共同臂在真空室内的处理及共同臂向真空室的搬入。

附图说明

图1是本发明实施方式的工业用机器人的俯视图。

图2是图1所示的工业用机器人的侧视图。

图3是用于说明图2的e部的概略结构的剖视图。

图4是用于说明图2的f部的概略结构的剖视图。

图5是图3的g部的放大图。

图6是图4的h部的放大图。

图7的(a)是图1所示的共同臂的j部的放大图，图7的(b)是图1所示的共同臂的k部的放大图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

(工业用机器人的整体结构)

图1是本发明实施方式的工业用机器人1的俯视图。图2是图1所示的工业用机器人1的侧视图。图3是用于说明图2的e部的概略结构的剖视图。图4是用于说明图2的f部的概略结构的剖视图。

本方式的工业用机器人1(以下称为“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象的液晶显示器用的玻璃基板2(以下称为“基板2”)的机器人。该机器人1是特别适合大型基板2的搬运的大型机器人。另外，机器人1在真空中搬运基板2。机器人1具备装载基板2的两只手4、5、在前端侧可转动地分别连接两只手4、5的两条臂6、7、可转动地连接两条臂6、7的基端侧的共同臂8、可转动地连接共同臂8的本体部9。

如图2所示，手4可转动地连接于臂6的前端侧。手5可转动地连接于臂7的前端侧。手4配置于比手5靠下侧的位置。臂6配置于比手4靠下侧的位置。臂7配置于比手5靠上侧的位置。共同臂8配置于比臂6靠下侧的位置。另外，共同臂8配置于比本体部9靠上侧的位置。

本体部9具备以上下方向为转动的轴向使共同臂8转动的转动轴(图示省略)、使该转动轴转动的转动机构(图示省略)、与该转动机构一起使共同臂8升降的升降机构(图示省略)、收容转动机构及升降机构的壳体。该壳体由形成为有底圆筒状的壳体本体11和覆盖壳体本体11的上端的开口的盖体12构成。在盖体12的中心形成有配置使共同臂8转动的转动轴的贯通孔。另外，在盖体12上形成有向壳体本体11的径向外侧扩展的突缘部12a。

如上所述，机器人1是用于在真空中搬运基板2的机器人。如图2所示，机器人1的比突缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空室13中。即，机器人1的比突缘部12a的下表面靠上侧的部分配置于真空区域vr中(真空中)。另一方面，机器人1的比突缘部12a的下表面靠下侧的部分配置于大气区域ar中(大气中)。

手4、5具备装载基板2的多个叉部15。臂6、7的从上下方向观察时的形状为细长的长圆形状，并且，臂6、7形成为上下方向的厚度薄的块状。臂6的长度和臂7的长度相等。另外，臂6、7形成为中空状。形成为中空状的臂6、7的内部为真空。共同臂8形成为大致v形状。形成为大致v形状的共同臂8的中心部分可转动地连接于本体部9。另外，臂6可转动地连接在形成为大致v形状的共同臂8的一前端侧，臂7可转动地连接在共同臂8的另一前端侧。

臂6和共同臂8的连接部为关节部16。臂7和共同臂8的连接部为关节部17。另外，机器人1具备使手4相对于臂6转动并且使臂6相对于共同臂8转动的驱动机构18(参照图3)和使手5相对于臂7转动并且使臂7相对于共同臂8转动的驱动机构19(参照图4)。以下，对共同臂8的具体的结构及驱动机构18、19的结构进行说明。

(共同臂及驱动机构的结构)

图5是图3的g部的放大图。图6是图4的h部的放大图。图7的(a)是图1所示的共同臂8的j部的放大图，图7的(b)是图1所示的共同臂8的k部的放大图。

共同臂8具备与本体部9连接的基端部22、将臂6、7的基端侧分别连接的两个前端部23、24、连接两个前端部23、24各自和基端部22的两个连接部25、26。在本方式中，由基端部22、两个前端部23、24和两个连接部25、26构成共同臂8。臂6的基端侧连接在前端部23，臂7的基端侧连接在前端部24。连接部25将基端部22和前端部23相连，连接部26将基端部22和前端部24相连。

基端部22、两个前端部23、24以及两个连接部25、26分体形成，通过将基端部22、两个前端部23、24以及两个连接部25、26固定一体化，构成共同臂8。基端部22、前端部23、24以及连接部25、26由铝合金形成。另外，基端部22、前端部23、24以及连接部25、26形成为中空状。即，共同臂8形成为中空状。共同臂8的内部为大气压。此外，基端部22、前端部23、24及连接部25、26也可以由不锈钢形成。

基端部22形成为从上下方向观察时的形状为大致五边形状的块状，如图7的(a)所示，基端部22的侧面由经由圆弧状的曲面部将一端彼此相连的两个第一侧面22a、一端与两个第一侧面22a各自的另一端相连的两个第二侧面22b、将两个第二侧面22b的另一端彼此相连的第三侧面22c构成。本体部9的转动轴的上端固定在基端部22的下表面的中心。

前端部23、24形成为从上下方向观察时的形状为大致长方形状的块状。在前端部23的上表面形成有配置构成驱动机构18的稍后描述的减速器31的一部分的开口部，在前端部24的上表面形成有配置构成驱动机构19的稍后描述的减速器31的一部分的开口部。连接部25、26是形成为筒状的管。本方式的连接部25、26形成为细长的圆筒状。连接部25、26的长度例如为4(m)。连接部25和连接部26形成为同形状。在连接部25、26的两端形成有向径向外侧扩展的突缘部25a、26a。此外，连接部25、26可以形成为四棱筒状等多棱筒状，也可以形成为椭圆筒状等。

连接部25的一端通过螺丝(图示省略)固定于基端部22，连接部25的另一端通过螺丝(图示省略)固定于前端部23。连接部26的一端通过螺丝(图示省略)固定于基端部22，连接部26的另一端通过螺丝(图示省略)固定于前端部24。即，形成于连接部25、26的两端的突缘部25a、26a固定于基端部22及前端部23、24。

形成于连接部25、26的一端的突缘部25a、26a与基端部22的第二侧面22b抵接。因此，连接部25和连接部26形成的角度由两个第二侧面22b形成的角度来规定。在第二侧面22b形成有与形成为圆筒状的连接部25、26的内部相通的开口部。形成于连接部25、26的另一端的突缘部25a、26a与前端部23、24的一个侧面抵接。在突缘部25a、26a抵接的前端部23、24的一个侧面形成有与连接部25、26的内部相通的开口部。

驱动机构18具备使手4相对于臂6转动并且使臂6相对于共同臂8转动的电动机30和与电动机30连接的减速器31。减速器31具备作为减速器31的输出轴的转动轴32、可转动地支承转动轴32的轴承33、配置于转动轴32的外周侧的作为密封部件的磁性流体密封件34。另外，驱动机构18为了使转动轴32转动而具备固定于减速器31的输入轴35上的带轮36、配置于臂6的基端侧的内部的带轮37、配置于臂6的前端侧的内部的带轮38。减速器31配置于关节部16。即，转动轴32、轴承33及磁性流体密封件34配置于关节部16。另外，带轮36、37也配置于关节部16。

减速器31是中空波动齿轮装置。该减速器31除上述的转动轴32、轴承33及磁性流体密封件34之外，还具备刚性齿圈41、挠性外齿齿轮42、安装于输入轴35的外周侧的波动轴承43。另外，减速器31具备保持轴承33及磁性流体密封件34的壳体44。壳体44作为整体形成为大致圆筒状。壳体44的上端侧部分固定于前端部23的上表面部分，壳体44保持于前端部23。即，轴承33及磁性流体密封件34经由壳体44保持于前端部23。另外，减速器31的除壳体44的上端侧部分和转动轴32的上端侧部分之外的部分配置于前端部23的内部。

轴承33是交叉滚子轴承。轴承33的外圈固定于壳体44的上端侧部分。轴承33的内圈固定于转动轴32。转动轴32由磁性材料形成。另外，转动轴32形成为中空状。在转动轴32的上端侧固定有堵塞转动轴32的内周侧的盖45。转动轴32固定于臂6的基端侧。具体而言，将转动轴32的上端固定于臂6的基端侧的下表面部。转动轴32的上端面与臂6的基端侧的下表面接触。

磁性流体密封件34具备多个磁铁、以将多个磁铁分别在上下方向夹持的方式配置的圆环状的极片、保持于极片的内周面与转动轴32的外周面之间的磁性流体。磁性流体密封件34的磁铁及极片固定于壳体44的上端侧部分的内周面。磁性流体密封件34配置于轴承33的上侧。另外，磁性流体密封件34配置于比臂6的上表面靠上侧的位置。

输入轴35形成为中空状。输入轴35经由轴承可旋转地支承于壳体44的下端侧部分。在输入轴35上形成有从上下方向观察时的外周面的形状为椭圆形状的椭圆部。刚性齿圈41固定于壳体44的下端侧部分。在刚性齿圈41的内周面形成有内齿。挠性外齿齿轮42的上端侧部分固定于转动轴32的下端。在挠性外齿齿轮42的下端侧部分的外周面形成有与刚性齿圈41的内齿啮合的外齿。挠性外齿齿轮42相对于输入轴35可相对旋转。

波动轴承43是具备挠性的内圈及外圈的球轴承。该波动轴承43沿着输入轴35的椭圆部的外周面配置，并以椭圆状挠曲。挠性外齿齿轮42的形成外齿的下端侧部分以包围波动轴承43的方式配置于波动轴承43的外周侧，该部分以椭圆状挠曲。挠性外齿齿轮42的外齿在以椭圆状挠曲的挠性外齿齿轮42的下端侧部分的长轴方向的两处与刚性齿圈41的内齿啮合。

电动机30固定于前端部23，被保持于前端部23。另外，电动机30被配置于前端部23的内部，并且配置于比减速器31靠连接部25侧的位置。在电动机30的输出轴上固定有作为驱动侧带轮的带轮46。带轮36固定于输入轴35的下端。带47挂设在带轮36和带轮46上。带47为橡胶制的带。带轮36、46及带47配置于前端部23的内部。

在臂6的基端侧的内部固定有可转动地支承带轮37的支承轴50。支承轴50形成为下端具有突缘部50a的带突缘的圆筒状，突缘部50a固定于臂6的基端侧的下表面部。即，支承轴50从臂6的下表面部立起。另外，支承轴50固定为使支承轴50的轴心和转动轴32的轴心一致。在本方式中，利用共同的螺丝51将转动轴32和支承轴50固定于臂6的基端侧的下表面部。

带轮37经由轴承由支承轴50可转动地支承。另外，带轮37经由固定部件53固定于前端部23。即，带轮37经由固定部件53固定于共同臂8的一前端侧。固定部件53由固定于共同臂8的一前端的侧面部53a和固定于侧面部53a的上端的上表面部53b构成。上表面部53b配置于臂6的基端侧部分的上侧。如图5所示，在臂6的基端侧的上表面部分形成有配置带轮37的上端侧部分的开口部6a。带轮37的上端固定于上表面部53b。带轮37的上端面与上表面部53b的下表面接触。

在臂6的前端侧的内部固定有可转动地支承带轮38的支承轴58。支承轴58从臂6的前端侧的下表面部立起。带轮38经由轴承由支承轴58可转动地支承。另外，手4的基端侧固定在带轮38的上端。带60挂设在带轮37和带轮38上。在本方式中，将以在上下方向上重叠的方式配置的两条带60挂设于带轮37和带轮38上。带60是钢板制的钢带。带60通过省略图示的螺丝固定于带轮37、38上。

驱动机构19与驱动机构18大致同样地构成。因此，在以下的驱动机构19的说明中，主要说明驱动机构18和驱动机构19的不同点。驱动机构19具备使手5相对于臂7转动并且使臂7相对于共同臂8转动的电动机30和与电动机30连接的减速器31。另外，驱动机构19具备固定于减速器31的输入轴35上的带轮36、配置于臂7的基端侧的内部的带轮37、配置于臂7的前端侧的内部的带轮78。

驱动机构19的减速器31配置于关节部17，转动轴32、轴承33及磁性流体密封件34配置于关节部17。另外，驱动机构19的带轮36、37也配置于关节部17。在驱动机构19中，减速器31的壳体44的上端侧部分固定于前端部24的上表面部分，壳体44保持于前端部24。即，轴承33及磁性流体密封件34经由壳体44保持于前端部24。另外，在驱动机构19中，减速器31的除壳体44的上端侧部分和转动轴32的上端侧部分之外的部分配置于前端部24的内部。另外，磁性流体密封件34配置于比臂7的上表面靠上侧的位置。

在驱动机构19中，形成为中空状的第二转动轴79的下端固定在转动轴32的上端。第二转动轴79固定于转动轴32上并使转动轴32的轴心和第二转动轴79的轴心一致。第二转动轴79的上端固定于臂7的基端侧的下表面部。即，转动轴32经由第二转动轴79固定于臂7的基端侧。第二转动轴79的上端面与臂7的基端侧的下表面接触。此外，转动轴32和第二转动轴79也可以一体地形成。

另外，在驱动机构19中，电动机30固定于前端部24，且保持于前端部24。电动机30配置于前端部24的内部，并且配置于比减速器31靠连接部26侧的位置。另外，在驱动机构19中，带轮36、46及带47配置于前端部24的内部。

可转动地支承带轮37的支承轴50固定在臂7的基端侧的内部。具体而言，支承轴50的突缘部50a固定于臂7的基端侧的下表面部。另外，支承轴50被固定为支承轴50的轴心、第二转动轴79的轴心以及转动轴32的轴心一致。在本方式中，通过共同的螺丝51将第二转动轴79和支承轴50固定于臂7的基端侧的下表面部。

配置于臂7的基端侧的内部的带轮37经由固定部件83固定于前端部24。即，该带轮37经由固定部件83固定于共同臂8的另一前端侧。固定部件83由固定于共同臂8的另一前端的侧面部83a和固定于侧面部83a的上端的上表面部83b构成。上表面部83b配置于臂7的基端侧部分的上侧。如图6所示，在臂7的基端侧的上表面部分形成有配置带轮37的上端侧部分的开口部7a。带轮37的上端固定于上表面部83b。带轮37的上端面与上表面部83b的下表面接触。

在臂7的前端侧的内部形成有可转动地支承带轮78的圆筒状的支承轴部7b。支承轴部7b从臂7的前端侧的下表面部立起。带轮78经由轴承由支承轴部7b可转动地支承。另外，手5的基端侧固定在带轮78的下端。以在上下方向上重叠的方式配置的两条带60挂设在带轮37和带轮78上。带60通过省略图示的螺丝固定于带轮37、78。

(本方式的主要效果)

如以上所说明，在本方式中，由与本体部9连接的基端部22、连接臂6、7的各基端侧的两个前端部23、24、连接两个前端部23、24各自和基端部22的两个连接部25、26构成共同臂8，基端部22、前端部23、24以及连接部25、26分体形成。因此，在本方式中，能够将共同臂8以分解成基端部22、前端部23、24以及连接部25、26的状态搬入真空室13中。因此，在本方式中，即使共同臂8大型化，也能够容易地将共同臂8搬入真空室13。

另外，在本方式中，能够将共同臂8以分解成基端部22、前端部23、24以及连接部25、26的状态搬入真空室13中，因此，即使共同臂8大型化而使得共同臂8的重量加重，也能够将比共同臂8整体的重量轻的基端部22、前端部23、24以及连接部25、26在真空室13中单独处理。因此，在本方式中，能够在真空室13中容易地处理共同臂8。

另外，在本方式中，基端部22、前端部23、24以及连接部25、26分体形成，因此，与共同臂8被一体地形成的情况相比，能够容易地制造大型化的共同臂8。而且，因为基端部22、前端部23、24以及连接部25、26分体形成，所以通过变更连接部25、26的长度，在使用共同的基端部22和前端部23、24的同时，能够变更共同臂8的大小。因此，在本方式中，能够提高基端部22及前端部23、24的通用性。另外，通过变更基端部22的两个第二侧面22b形成的角度，在使用共同的前端部23、24和连接部25、26的同时，能够变更连接部25和连接部26形成的角度。因此，在本方式中，能够提高前端部23、24及连接部25、26的通用性。

在本方式中，配置于关节部16、17的减速器31被保持于前端部23、24。即，在本方式中，前端部23、24被单元化，能够将预先装入有减速器31的前端部23、24搬入真空室13中。因此，在本方式中，即使在分解成基端部22、前端部23、24以及连接部25、26的状态下将共同臂8搬入真空室13中，也能够在真空室13中容易地组装共同臂8。

特别是，在本方式中，除减速器31之外，电动机30也被保持在前端部23、24，因此，前端部23、24被进一步单元化，能够将预先组装有减速器31、电动机30、带轮36、46及带47的前端部23、24搬入真空室13中。因此，在本方式中，即使在分解成基端部22、前端部23、24以及连接部25、26的状态下将共同臂8搬入真空室13中，也能够在真空室13中更容易地组装共同臂8。

另外，在本方式中，连接部25、26的一端通过螺丝固定于基端部22，连接部25、26的另一端通过前端部23、24被固定，因此，通过将基端部22、前端部23、24以及连接部25、26利用螺丝相互固定，能够组装共同臂8。因此，在本方式中，即使在分解成基端部22、前端部23、24以及连接部25、26的状态下将共同臂8搬入真空室13中，也能够在真空室13中更容易地组装共同臂8。

在本方式中，由于基端部22、前端部23、24以及连接部25、26通过螺丝被固定，因此能够容易地分解共同臂8。因此，在本方式中，在共同臂8的一部分损伤时，能够分解共同臂8，例如更换基端部22、前端部23、24及连接部25、26中的任一个。因此，在本方式中，与在共同臂8的一部分损伤时更换共同臂8整体的情况相比，能够降低共同臂8的一部分损伤时产生的成本。

在本方式中，连接部25、26是形成为圆筒状的管。因此，在本方式中，能够在确保连接部25、26的刚性的同时，将连接部25、26轻量化。另外，在本方式中，因为能够将连接部25、26轻量化，所以即使共同臂8大型化，也能够减轻共同臂8的重量。另外，因为连接部25、26是管，所以能够降低连接部25、26的成本。

(其它实施方式)

上述的方式是本发明的最佳方式的一个例子，但不限于此，在不变更本发明的宗旨的范围内可以进行各种变形实施。

在上述的方式中，减速器31也可以不配置在关节部16、17。在这种情况下，例如，将固定于臂6、7的基端侧的转动轴、固定于该转动轴的下端侧的带轮、可旋转地支承转动轴的轴承、配置于转动轴的外周侧的磁性流体密封件配置于关节部16、17。另外，在这种情况下，将轴承和磁性流体密封件直接或经由规定的部件保持于前端部23、24。

在这种情况下，也能够将预先组装有转动轴、轴承以及磁性流体密封件的前端部23、24搬入真空室13中，因此，即使在分解成基端部22、前端部23、24以及连接部25、26的状态下将共同臂8搬入真空室13中，也能够在真空室13中容易地组装共同臂8。

在上述的方式中，电动机30保持于前端部23、24，但电动机30也可以被保持于连接部25、26。在这种情况下，电动机30例如配置于连接部25、26的内部。另外，电动机30也可以保持于本体部9并配置于壳体本体11的内部。另外，在上述的方式中，连接部25、26通过螺丝固定于基端部22和前端部23、24，但连接部25、26也可以通过螺丝以外的紧固单元固定于基端部22和前端部23、24。例如，连接部25、26也可以通过焊接固定于基端部22和前端部23、24。

在上述的方式中，共同臂8形成为大致v形状，但共同臂8也可以形成为直线状。另外，在上述的方式中，连接部25、26是形成为筒状的管，但连接部25、26也可以是管以外的中空状的部件。另外，在上述的方式中，在转动轴32的外周侧配置有磁性流体密封件34，但也可以将o型环等磁性流体密封件34以外的密封部件配置于转动轴32的外周侧。另外，在上述的方式中，减速器31是中空波动齿轮装置，但减速器31也可以是偏心摆动型减速器(rv减速器)等中空波动齿轮装置以外的减速器。

在上述的方式中，臂6、7也可以由可相对转动地连接的两条臂部构成。另外，在上述的方式中，由机器人1搬运的搬运对象是液晶显示器用的玻璃基板，但由机器人1搬运的搬运对象也可以是有机el(有机电致发光)显示器用的玻璃基板，也可以是半导体晶圆等。

附图标记说明

1机器人(工业用机器人)

2基板(玻璃基板、搬运对象)

4、5手

6、7臂

8共同臂

9本体部

16、17关节部

22基端部

23、24前端部

25、26连接部

25a、26a突缘部

30电动机

31减速器

32转动轴

33轴承

34磁性流体密封件(密封部件)

36带轮

44壳体

46带轮(驱动侧带轮)

47带。