技术总结
本实用新型提供一种纳米定位平台,包括基座、X轴定位平台、Y轴定位平台和定位底座,所述基座四周设置螺纹孔,基座两个侧面分别设置X轴压敏元件和Y轴压敏元件,基座另外两个侧面分别设置X轴弹簧组件和Y轴弹簧组件,所述X轴定位平台四角设置有螺纹孔,X轴定位平台四角设置X轴柔性铰链,X轴定位平台一个侧面设置X轴电容传感器,X轴定位平台顶部设置定位用凸台,所述Y轴定位平台上设置螺纹孔,Y轴定位平台四角设置Y轴柔性铰链,Y轴定位平台一个侧面设置Y轴电容传感器,所述定位底座四角这只螺纹孔,定位底座上设置纳米驱动电机。本实用新型的有益效果是定位精度高、线性度好、偏航小。
技术研发人员:王剑锋
受保护的技术使用者:三英精控(天津)科技有限公司
技术研发日:2018.09.06
技术公布日:2019.05.03