硅片倒角机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种机械加工装置，具体涉及一种用于硅片加工的倒角机。
【背景技术】
[0002]硅是一种很典型的半导体材料，其在地球表面的含量仅次于氧，被广泛应用与二极管、三极管、晶闸管、场效应管和各种集成电路，航空航天，光导纤维等多种领域中，是非常重要的材料。在硅片的加工过程中，从硅晶锭切成硅片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起硅片报废，因此在磨片之前需要对硅片进行倒角。目前的技术是通过人工对崩边的硅片进行修磨，劳力投入大，产量小，产品合格率低。
【发明内容】
[0003]本实用新型涉及一种硅片倒角机，解决上述，劳力投入大，产量小，产品合格率低的问题。
[0004]本实用新型采用如下技术方案来解决上述问题:
[0005]硅片倒角机，包括机架、机箱、刀架、刀具、硅片固定盘、皮带机、电机，所述机箱置于机架上，所述机箱一侧设有电控柜，所述电控柜上带有控制面板，所述机箱另一侧设有总开关，所述刀架固定在机箱内，所述刀具固定在刀架上，所述机箱中上部设有工件箱，所述工件箱上带有进水口和出水口，所述硅片固定盘固定在工件箱上，所述硅片固定盘与皮带机相连，所述皮带机与电机相连。
[0006]所述硅片固定盘为真空吸盘。
[0007]所述硅片固定盘下端带有真空泵接口。
[0008]本实用新型实现的有益效果为:
[0009]本硅片倒角机操作简单方便，减少了劳力投入，硅片固定稳定性好，加工速度快，广品合格率尚。
【附图说明】
[0010]图1所示为硅片倒角机的结构示意图。
[0011]其中，1-机架，2-机箱，3-电控柜，4-总开关，5-刀架，6-刀具，7-硅片固定盘，8-真空泵接口，9-工件箱，10-进水口，11-出水口，12-皮带机，13-电机。
【具体实施方式】
[0012]硅片倒角机，包括机架1、机箱2、刀架5、刀具6、硅片固定盘7、皮带机12、电机13，所述机箱2置于机架I上，所述机箱2 —侧设有电控柜3，所述电控柜3上带有控制面板，所述机箱2另一侧设有总开关4，所述刀架5固定在机箱2内，所述刀具6固定在刀架5上，所述机箱2中上部设有工件箱9，所述工件箱9上带有进水口 10和出水口 11，所述硅片固定盘7固定在工件箱9上，所述娃片固定盘7与皮带机12相连，所述皮带机12与电机13相连。所述硅片固定盘7为真空吸盘。所述硅片固定盘7下端带有真空泵接口 8。
【主权项】
1.硅片倒角机，其特征在于，包括机架(I)、机箱(2)、刀架(5)、刀具(6)、硅片固定盘(7)、皮带机(12)、电机(13)，所述机箱(2)置于机架(I)上，所述机箱(2) —侧设有电控柜(3)，所述电控柜(3)上带有控制面板，所述机箱(2)另一侧设有总开关(4)，所述刀架(5)固定在机箱(2)内，所述刀具(6)固定在刀架(5)上，所述机箱(2)中上部设有工件箱(9)，所述工件箱(9)上带有进水口(10)和出水口(11)，所述硅片固定盘(7)固定在工件箱(9)上，所述硅片固定盘⑵与皮带机(12)相连，所述皮带机(12)与电机(13)相连。
2.根据权利要求1所述的硅片倒角机，其特征在于，所述硅片固定盘(7)为真空吸盘。
3.根据权利要求2所述的硅片倒角机，其特征在于，所述硅片固定盘(7)下端带有真空泵接口 (8) ο
【专利摘要】硅片倒角机，包括机架、机箱、刀架、刀具、硅片固定盘、皮带机、电机，所述机箱置于机架上，所述机箱一侧设有电控柜，所述电控柜上带有控制面板，所述机箱另一侧设有总开关，所述刀架固定在机箱内，所述刀具固定在刀架上，所述机箱中上部设有工件箱，所述工件箱上带有进水口和出水口，所述硅片固定盘固定在工件箱上，所述硅片固定盘与皮带机相连，所述皮带机与电机相连。所述硅片固定盘为真空吸盘。所述硅片固定盘下端带有真空泵接口。本硅片倒角机操作简单方便，减少了劳力投入，硅片固定稳定性好，加工速度快，产品合格率高。
【IPC分类】B26D7-02, B26D3-00
【公开号】CN204525599
【申请号】CN201520179507
【发明人】张步晓, 张宁, 李政
【申请人】天津市兆益金科科技有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年3月27日