液体喷头的对准装置及其对准方法

专利名称：液体喷头的对准装置及其对准方法
技术领域：
本发明涉及液体喷头的对准装置及其对准方法，特别涉及可以适用于 将液体喷头与作为印刷在透明构件的掩模上的对准标记的两个基准标记 高精度地对准的情况的对准装置及其对准方法。
背景技术：
喷墨式打印机或绘图机等喷墨式记录装置具备包括将收容于墨盒或 墨罐等液体收容部中的油墨作为墨滴喷出的喷墨式记录头的喷墨式记录 组件(以下记作喷头组件)。这里，喷墨式记录头具有由并排设置的喷嘴开口构成的喷嘴列，其油墨喷出面侧由外罩头(cover head)保护。外罩 头具有设于喷墨式记录头的墨滴喷出面侧而具有将喷嘴开口露出的开口 窗部的窗框部、从窗框部向喷墨式记录头的侧面侧折曲成形的侧壁部，被 通过将侧壁部接合在喷墨式记录头的侧面上而固定(例如参照专利文献 1)。另外，在将上述外罩头或固定板等固定构件与多个喷墨式记录头接合 之时，将喷墨式记录头相对于喷嘴平板移动而进行给定的定位，使得设于 喷嘴平板上的对准标记与设于平板状的玻璃掩模(mask)上的基准标记对 齐。这里，对准标记及基准标记通常设有2个。这是因为，平面内的姿势 是通过规定2点来唯一地确定的。'所以，在进行给定的对准作业之时，首 先将第一对准标记与第一基准标记对齐，接下来将第二对准标记与第二基 准标记对齐。另外，为了进行高精度的定位，需要使基准标记与对准标记的距离尽 可能地接近。所以，提出过将喷嘴平板与玻璃掩模密接而进行给定的对准 的方法(例如参照专利文献2)。
专利文献l特开2002—160376号公报(第4页、图3) 专利文献2特幵2004—345281号公报(第10页、图3) 但是，在将第一对准标记与第一基准标记对齐后，为了将第二对准标 记与第二基准标记对齐而移动喷墨式记录头的情况下，有时会产生先对齐 的第一对准标记发生移动等不佳状况，需要重复进行多次对位操作，该情 况下，会产生在给定的对准作业中花费很多工夫的问题。另外，在将喷嘴平板与玻璃掩模密接的情况下，不仅有可能在两者之 间夹入异物，而且也有可能给玻璃掩模等的表面造成损伤。另一方面，虽然为了解决该问题，只要在玻璃掩模与喷嘴平板之间设 置空间即可，但是这样又会因上述空间的存在而使基准标记与对准标记的 距离变大，从而使得对定位精度造成不良影响的问题明显化。S卩，如果想 要一次性地用一个光学系统来观察玻璃掩模的基准标记与喷嘴平板的对 准标记，就需要采用较大的景深。但是，景深变得越大，就越无法提高光 学系统的倍率，这在实现定位精度的高精度化之时会造成妨碍。而且，此种问题不仅在与喷墨式记录头组件的制造相伴的对准之时会 产生，在与其他的液体喷头组件的制造相伴的对准之时也会同样地产生。发明内容本发明鉴于如上所述的以往技术，目的在于，提供可以容易并且迅速 地取得对准标记相对于基准标记的定位，并且可以进行更高精度的定位的 液体喷头的对准装置及其对准方法。解决上述问题的本发明提供一种液体喷头的对准装置，是在将喷嘴平 板与固定构件定位接合之时所用的液体喷头的对准装置，该喷嘴平板设有 液体喷头的喷射液体的喷嘴开口，并且在长边方向的两个端部分别设有对 位用的第一及第二对准标记，该固定构件保持多个上述液体喷头的上述喷 嘴平板侧，其特征是，具有作为透明构件的掩模，其设有上述第一及第二对准标记所分别对位的 第一及第二基准标记；卡盘，其与上述液体喷头的上述长边方向的两个端面分别抵接而支承
上述液体喷头；对准机构，其可以在与上述喷嘴平板平行的平面内借助上述卡盘将上 述液体喷头直线移动，并且可以绕着与上述平面正交的轴借助上述卡盘将 上述液体喷头转动。根据该种本发明，通过将液体喷头在上述平面内直线移动，就可以将 第一对准标记与第一基准标记对齐，另外通过绕着上述正交轴转动液体喷 头，就可以将第二对准标记与第二基准标记对齐。即，可以将上述平面中 的液体喷头的直线移动和绕着上述正交轴的转动组合，来可靠地进行给定 的定位。其结果是，可以容易并且迅速地进行该对准操作。这里，上述对准机构最好具备用于借助上述卡盘将上述液体喷头在 作为上述平面内的一个方向的X方向上移动的X载台；用于借助上述卡 盘将上述液体喷头在作为与上述X方向正交的方向的Y方向上移动的Y 载台；及将上述X载台和Y载台一体化地绕着上述轴转动的6载台。这样，通过将液体喷头沿着上述X方向及Y方向分别移动，就可以 将第一对准标记与第一基准标记对齐，另外，通过将液体喷头绕着穿过第 一基准标记的中心的正交轴转动，就可以将第二对准标记与第二基准标记 对齐。S卩，在第二对准标记的定位操作之时，不需要变动第一对准标记与 第一基准标记的给定的位置关系。其结果是，仅通过预先调整好e载台的转动中心，使之与穿过第一基准标记的中心的正交轴一致，就可以用利用XY方向上的移动实现的第一对准标记与第一基准标记的定位工序、第二对准标记与第二基准标记的定位工序这2个工序来可靠地进行给定的定位。另外，上述卡盘最好以至少3个点来支承上述液体喷头。这样，在利用卡盘支承液体喷头之时，就可以良好地防止构成对维持良好的支承状态的妨碍的意外的力矩的产生。其结果是，可以对液体喷头进行稳定的支承。另外，上述对准装置最好具有间隔物夹具，其在上述固定构件与上述掩模之间，被将一方的面与上 述固定构件接触，并且将另一方的面与上述掩模接触地配设，使得上述第一及第二基准标记与上述第一及第二对准标记夹隔空间地相互面对；
双焦点显微镜，其光轴从上述掩模的与上述间隔物夹具侧相反一侧穿 过上述第一及第二基准标记及上述空间而朝向上述第一及第二对准标记 的方向，共有上述光轴的一个光学系统可以使焦点与上述第一及第二对准 标记吻合，并且另一个光学系统可以使焦点与上述第一及第二基准标记吻合。其结果是，由于形成了第一及第二对准标记的喷嘴平板与形成了第一 及第二基准标记的掩模不会相互接触，因此不会有将两者的表面损伤的情 况，并且可以使用双焦点显微镜同时看到基准标记与对准标记，可以将用 一个光学系统和另一个光学系统分别使焦点吻合了的基准标记和对准标 记的图像重合而进行给定的定位。g卩，尽管在基准标记与对准标记之间夹 隔有空间，也可以尽可能地縮小各光学系统的景深，并由此增大倍率。所 以，就可以高精度地进行液体喷头的给定的定位。另外，最好上述掩模具有沿着上述光轴朝向对准标记突出的凸部，在 该凸部的上面设置了上述第一及第二基准标记。这样，就可以减小第一及第二基准标记与第一及第二对准标记之间的 距离，其结果是，可以尽可能地减小光轴的偏移，另外可以将掩模用较厚 的构件，即用具有足够的刚性的构件来支承，不会有引起由上述构件的弯 曲等造成的偏移的情况，'因此可以进行高精度的定位。最好上述双焦点显微镜由如下的多台双焦点显微镜构成，即，使各自 的上述光轴间的距离与相邻的喷嘴平板的对准标记间的距离匹配，从而可 以同时地观察到形成于多个液体喷头的各喷嘴平板上的各对准标记。这样，就可以一次性地进行多个液体喷头的定位，其结果是，可以最 为迅速地进行给定的定位操作。另外，最好如下构成，即，将上述双焦点显微镜的光轴固定，另一方 面，将上述掩模与支承上述液体喷头的间隔物夹具一体化地移动，使得成 为对准的对象的第一及第二基准标记与第一及第二对准标记就位于上述 光轴上或其附近。这样，由于光轴被固定，因此就可以迅速并且高精度地进行伴随着掩 模与支承液体喷头的间隔物夹具的移动的位置调整。即，与调整使光轴移 动的情况下的光轴的偏移相比，维持上述掩模及间隔物夹具的姿势要容易
得多。这是因为，即使光学系统的姿势仅变化一寸，光轴也会很大地偏移。 另外，另一发明提供一种液体喷头的对准方法，是在将喷嘴平板与固 定构件定位接合之时所用的液体喷头的对准方法，该喷嘴平板设有液体喷 头的喷射液体的喷嘴幵口，并且在长边方向的两个端部分别设有对位用的 第一及第二对准标记，该固定构件保持多个上述液体喷头的上述喷嘴平板 侧，其特征是，将与上述喷嘴平板平行的平面内的上述液体喷头的直线移动及绕着 与上述平面正交的轴的上述液体喷头的转动组合，调整为使得上述第一对 准标记与该第一对准标记所要对位的第一基准标记对齐，并且使得上述第 二对准标记与该第二对准标记所要对位的第二基准标记对齐。根据本发明，可以将上述平面内的液体喷头的移动与绕着上述正交轴 的转动组合，可靠地进行给定的定位。其结果是，可以容易并且迅速地进 行该对准操作。这里，最好具有利用上述直线移动来移动上述液体喷头，使上述第一对准标记与上述 第一基准标记对齐的工序；绕着穿过上述第一基准标记的中心而与上述平面正交的轴转动上述 液体喷头，使上述第二对准标记与上述第二基准标记对齐的工序。其结果是，由于在进行第二对准标记的定位操作之时，不需要变动第 一对准标记与第一基准标记的给定的位置关系，因此可以用第一对准标记与第一基准标记的定位;c序及第二对准标记与第二基准标记的定位工序这两个工序来可靠地进行给定的fe位。其结果是，可以容易并且迅速地进 行给定的对准操作。


图1是利用实施方式进行给定的对准的喷头组件的分解立体图。图2是上述喷头组件的组装立体图。图3是上述喷头组件的要部剖面图。图4是上述喷头组件的要部的分解立体图。图5是表示上述喷头组件的记录头及喷头盒的剖面图。 图6是表示本发明的实施方式的对准装置的剖面图。图7是图6的A—A线剖面图。图8是用于说明使用了图6所示的对准装置的定位方法的说明图。 其中，10 流路形成基板，12 压力发生室，20 喷嘴平板，21 喷嘴开口， 22a、 22b 第一及第二对准标记，100 贮液室，200 喷 头组件，210 墨盒外壳，220 喷墨式记录头，230 喷头外壳，240 外罩头，250 固定板，300 压电元件，400 对准夹具，401a、 401b 第一及第二基准标记，410 掩模，420 基座夹具，430 间隔物夹具， 500双焦点显微镜，600对准机构，610a、 610b 卡盘。具体实施方式

<喷墨式记录头组件(液体喷头组件)>在说明本发明的实施方式的对准装置之前，先对具有成为该对准的对 象的作为液体喷头的一种的喷墨式记录头的喷墨式记录头组件的一个例 子进行说明。图1是上述喷墨式记录头组件的分解立体图，图2是喷墨式记录头组 件的组装立体图，图3是其要部剖面图。如这些图中所示，喷墨式记录头组件200 (以下称作喷头组件200) 具有墨盒外壳210、喷墨式记录头220、外罩头240及固定板250。它们当中，墨盒外壳210是具有将墨盒(未图示)分别安装的墨盒安 装部211的上述墨盒的保持构件。墨盒是由例如填充了黑色及三色油墨的 分立体构成的油墨供给机构。即，在墨盒外壳210上，分别安装有各色的 墨盒。另外，如图3中特别表明的那样，在墨盒210中，设有多条油墨连通 路212，其一端向各墨盒安装部211开口，并且另一端向喷头外壳230侧 开口。另外，在墨盒安装部211的油墨连通路212的开口部分，固定有被 插入墨盒的油墨供给口的油墨供给针213 。为了除去油墨内的气泡或异物， 该固定是夹隔着形成于油墨连通路212上的过滤器(未图示)而进行的。喷头外壳230被固定于墨盒外壳210的底面。喷墨式记录头220具有 多个压电元件300，并且在与H盒外壳210相反一侧的端面利用压电元件 300的驱动，从喷嘴开口21中喷出墨滴，为了喷出墨盒的各色油墨，被与 每种油墨对应地设置了多个。所以，喷头外壳230也被与各喷墨式记录头 220对应地分别独立地设置了多个。对于如上所述的喷墨式记录头220及喷头外壳230，追加使用图4及 图5，进行更为详细的说明。这里，图4是喷墨式记录头组件200的要部 的分解立体图，图5是喷墨式记录头组件220及喷头外壳230的剖面图。如两图中所示，喷墨式记录头220由喷嘴平板20、流路形成基板IO、 保护基板30及柔性基板40这四个基板构成。它们当中，流路形成基板IO 在本例中由硅单晶基板制成，在其一方的面上形成有由预先利用热氧化形 成的二氧化硅构成的弹性膜50。在该流路形成基板10上，形成有由多个 隔壁划分出的压力发生室12。本例中，在流路形成基板10的宽度方向上， 从流路形成基板10的另一方面侧利用各向异性蚀刻形成了 2列压力发生 室12。另外，在各列的压力发生室12的长边方向外侧，形成有与设于后 述的保护基板30上的贮液室部31连通，构成成为各压力发生室12的公 共的油墨室的贮液室100的连通部13。连通部13经由油墨供给路14与各 压力发生室12的长边方向一个端部分别连通。在流路形成基板10的幵口面侧，借助胶粘剂或热熔接薄膜等粘接有 喷嘴平板20。在该喷嘴平板20上穿设有喷嘴开口 21，其在相反一侧与各 压力发生室12的油墨供给路14连通。这样，本例中，在1个喷墨式记录 头220上设有2列并排设置了喷嘴开口 21的喷嘴列21A。这里，喷嘴平板20可以用厚度例如为0.01 lmm，线膨胀系数在300 。C以下(例如2.5 4.5[10—6/°C])的玻璃、陶瓷、硅单晶基板或不锈钢等 合适地制成。另外，在喷嘴平板20上，设有在进行与固定板250的对位 之时使用的第一及第二对准标记22a、 22b (后面详细说明)。本例中，在 喷嘴开口 21的并设方向的端部设有2个第一及第二对准标记22a、 22b。 该第一及第二对准标记22a、 22b可以在用穿孔机穿设喷嘴开口 21的工序 中，通过用该穿孔机进行加工而容易地形成。另一方面，在流路形成基板10的与开口面相反一侧，在弹性膜50上 配设有压电元件300。该压电元件300是通过依次层叠由氧化锆制成的绝 缘体膜55、由金属制成的下电极膜、由钛酸锆酸铅(PZT)等制成的压电体层及由金属制成的上电极膜而形成的。保护基板30被接合在形成了压电元件300的流路形成基板10上。贮 液室部31在本例中，被将保护基板30沿厚度方向贯穿而横跨压力发生室 12的宽度方向地形成，如上所述地与流路形成基板10的连通部13连通，， 构成成为各压力发生室12的公共的油墨室的贮液室100。另外，在保护基 板30的与压电元件300相面对的区域，设有压电元件保持部32，其具有 不阻碍压电元件300的运动的程度的空间。此种保护基板30可以用玻璃、 陶瓷、金属、塑料等合适地制成，然而优选使用与流路形成基板10的热 膨胀率大致相同的材料，本例中，使用与流路形成基板IO相同材料的硅 单晶基板形成。另外，在保护基板30上，设有用于驱动各压电元件300的驱动ICllO。 该驱动IC110的各端子借助未图示的接合线等与从各压电元件300的独立 电极中引出的引出配线连接。此外，在驱动IC110的各端子上，借助如图 1所示的柔性印刷电缆(FPC)等外部配线111与外部连接，从而可以从 外部经由外部配线111接收印刷信号等各种信号。柔性基板40被接合在保护基板30上，在其与贮液室100相面对的区 域，沿厚度方向贯穿地形成有用于向贮液室100供给油墨的油墨导入口 44。另外，柔性基板40的与贮液室100相面对的区域的油墨导入口44以 外的区域成为沿厚度方向较薄地制成的挠性部43，贮液室100被挠性部 43密封。利用该挠性部43对贮液室100内赋予柔性。如果要具体说明， 则在柔性基板40上，设有具有油墨供给连通路231的喷头外壳230，在该 喷头外壳230中，在与挠性部43相面对的区域形成凹部232，从而可以适 当地进行挠性部43的挠曲变形。在喷头外壳230中，在与设于保护基板30上的驱动IC110相面对的 区域，设有沿厚度方向贯穿的驱动IC保持部233，外部配线lll插穿驱动 IC保持部233与驱动IC110连接。如上所述的构成的喷墨式记录头220将来自墨盒的油墨经由油墨连通 路212 (参照图3)及油墨供给连通路231从油墨导入口44中取入，将内 部从贮液室IOO直至喷嘴开口 21用油墨充满。该状态下，通过依照来自 驱动IC100的记录信号，对与压力发生室12对应的各个压电元件300施 加电压，使弹性膜50及压电元件300发生挠曲变形，就可以提高各压力 发生室12内的压力而从喷嘴开口 21中喷出墨滴。在构成该喷墨式记录头220的各构件及喷头外壳230中，在角部的2 个部位设有用于插入在组装时将各构件定位的销栓的销栓插入孔234。这 样，通过在将销栓插入销栓插入孔234，进行各构件的相对的定位的同时， 将构件之间接合，就可以将喷墨式记录头220及喷头外壳230 —体化地组 合。而且，上述的喷墨式记录头220可以通过在1片硅晶片上同时形成多 个芯片，胶粘喷嘴平板20及柔性基板40而一体化，其后，分割为如图4 所示的1个芯片尺寸的流路形成基板IO来形成。该喷墨式记录头220及喷头外壳230如图1至图3所社，在墨盒210 上被沿喷嘴列21A的排列方向以给定的间隔固定有4个。即，在喷头组件 200中，设有8列喷嘴列21A。通过像这样使用多个喷墨式记录头220而实现由并设的喷嘴开口 21 构成的喷嘴列21A的多列化，与在1个喷墨式记录头220中形成多个喷嘴 列21A相比，可以防止材料利用率的降低。另外，因为了实现喷嘴列21A 的多列化而使用多个喷墨式记录头220，就可以增大1片硅晶片所能够形 成的喷墨式记录头220的获取个数，从而可以减少硅晶片的浪费的区域， 降低制造成本。另外，此种4个喷墨式记录头220如图1及图3中所示，由接合在多 个喷墨式记录头220的墨滴喷出面上的作为公共的固定构件的固定板250 定位保持。固定板250由平板制成，具备露出喷嘴开口21的露出幵口 部251、区划露出幵口部251并且与喷墨式记录头220的墨滴喷出面的至 少喷嘴列21A的两端部侧接合的接合部252。接合部252由跨跃多个喷墨式记录头220地沿着墨滴喷出面的外周 设置的固定用框部253、延伸设置在相邻的喷墨式记录头220之间而将露 出开口部251分割的固定用梁部254构成，由固定用框部253及固定用梁 部254构成的接合部252被同时接合在多个喷墨式记录头220的墨滴喷出 面上。另外，接合部252的固定用框部253被制成，将在喷墨式记录头220 的制造时定位各构件的销栓插入孔234填塞。
作为该固定板250的合适的材料，例如为不锈钢等金属、玻璃、陶瓷 或硅单晶板等。而且，为了防止由与喷嘴平板20的热膨胀的差异造成的 变形，固定板250优选使用与喷嘴平板20热膨胀系数相同的材料。例如， 在喷嘴平板20由硅单晶板形成时，优选将固定板250用硅单晶板来形成。另外，优选将固定板250较薄地制成，最好比后述的外罩头240更薄。 这是因为，当增厚固定板250时，则在擦拭喷嘴平板20的墨滴喷出面之 际，容易在固定用梁部254之间等处残留油墨。即，通过将固定板250较 薄地制成，就可以防止在擦拭之际油墨残留于喷嘴平板20的墨滴喷出面 上的情况。而且，本例中，将固定板250的厚度设为0.1mm。另外，固定板250 与喷嘴平板20的接合没有特别限定，例如可以使用热硬化性的环氧系胶 粘剂、紫外线硬化型的胶粘剂等理想地进行。像这样，由于固定板250利用圃定用梁部254将相邻的喷墨式记录头 220之间填塞，因此就不会有油墨侵入相邻的喷墨式记录头220之间的情 况，可以防止压电元件300或驱动IC110等的由喷墨式记录头220的油墨 造成的老化或破坏。另外，由于喷墨式记录头220的墨滴喷出面与固定板 250之间被胶粘剂没有间隙地胶粘，因此就可以防止被记录介质进入间隙， 从而可以防止固定板250的变形及塞纸。像这样，在上述的喷头组件200中，将4个喷墨式记录头220粘接在 固定板250上，而该喷墨式记录头220的在固定板250上的定位是使用后 面说明的对准装置进行的。另外，在喷头组件200上，如图1及图2中所示，在相对于固定板250 来说与喷墨式记录头220相反一侧，设有外罩头240，其具有箱形状，以 便将各喷墨式记录头220覆盖。该外罩头240具备与固定板250的露出 开口部251对应地设置了开口部241的固定部242、在喷墨式记录头220 的墨滴喷出面的侧面侧遍及固定板250的外周地弯曲设置的侧壁部245。固定部242由与固定板250的固定用框部253对应地设置的框部243、 与固定板250的固定用梁部254对应地设置而将开口部241分割的梁部 244构成。另外，由框部243及梁部244构成的固定部242被接合在固定 板250的接合部252上。 ' 像这样，由于喷墨式记录头220的墨滴喷出面与外罩头240之间被没 有间隙地接合，因此就可以防止被记录介质进入间隙中，从而可以防止外 罩头240的变形及塞纸。另外，因外罩头240的侧壁部245将多个喷墨式 记录头220的外周缘部覆盖，从而可以可靠地防止油墨绕进喷墨式记录头 220的侧面的情况。作为此种外罩头240的材料，例如可以举出不锈钢等金属材料。该金 属板既可以利用冲压加工来形成，也可以利用成形来形成。另外，通过将 外罩头240设为导电性的金属材料，就可以进行接地。另外，为了保护喷墨式记录头220免受擦拭或加帽等的冲击，外罩头 240需要一定程度的强度。由此，，需要使外罩头240比较厚。本例中，将 外罩头240的厚度设为0.2mm。而且，外罩头240与固定板250的接合方法没有特别限定，例如可以举出利用热硬化性的环氧系胶粘剂的胶粘。另外，在固定板242上，设有凸缘部246，其设置了用于将外罩头240 定位固定在其他构件上的固定孔247。该凸缘部246被从侧壁部245向与 液滴喷出面的面方向相同的方向突出地弯曲设置。本例的外罩头240如图 2及图3中所示，固定于作为保持喷墨式记录头220及喷头外壳230的保 持构件的墨盒外壳210上。如果要更为具体地说明，则如图2及图3中所示，在墨盒外壳210上， 设有向墨滴喷出面侧突出而插入外罩头240的固定孔247中的突起部215， 通过将该突起部215插入外罩头240的固定孔247，并且将突起部215的 头端部加热铆接，而将外罩头240固定于墨盒210上。通过将此种设于墨 盒外壳210上的突起部215设为比凸缘部246的固定孔247直径更小的外 径，就可以将外罩头240在墨滴喷出面的面方向上定位而固定于墨盒外壳 210上。另外，此种外罩头240与接合了多个喷墨式记录头220的固定板250 被利用外罩头240的固定孔247与多个喷嘴列21A的定位固定。这里，外 罩头240的固定孔247与多个喷嘴列21A的定位也可以使用后述的对准装 置来进行，然而也可以在将固定板250与多个喷墨式记录头220定位固定 之时，同时也将外罩头240定位固定。 <第一实施方式>基于附图对本发明的实施方式的对准装置进行详细说明。而且，对于 与图1至图5相同的部分使用相同编号。图6是表示本方式的对准装置的剖面图，图7是其A—A线剖面图。如两图中所示，本方式的对准装置具有放置作为对准的对象的喷墨式记录头220的对准夹具400;与对准夹具400成为一体而将喷墨式记录头220 向固定板250侧推压的推压机构450;具有用于从对准夹具400的下方穿 过对准夹具400观察喷墨式记录头220的光学系统的双焦点显微镜500; 可以将掩模410固定并沿与双焦点显微镜500的光轴L成直角的水平方向 适当地移动的移动载台；及借助支承喷墨式记录头220的卡盘610a、 610b 进行喷墨式记录头220的给定的对准的对准机构600。它们当中，对准夹具400具备设置了第一及第二基准标记401a、401b 的掩模410;用于固定在移动载台550上的基座夹具420;保持配设于基 座夹具420上的作为固定构件的固定板250的间隔物夹具430。由此，在 移动载台550上固定基座夹具420，在间隔物夹具430上保持固定板250， 在用双焦点显微镜500确认固定于移动载台550上的掩模410的第一及第 二基准标记401a、 401b及喷嘴平板20的第一及第二对准标记22a、 22b 的相对的位置关系的同时，进行第一及第二基准标记401a、 401b及第一 及第二对准标记22a、 22b的对位，并且将固定板250与喷墨式记录头220 的喷嘴平板20借助胶粘剂胶粘。而且，虽然基座夹具420被配设为由掩模410覆盖，但是基座夹具420 与掩模410具有微小的间隙。'这是因为，由于基座夹具420与掩模410不 是被相互固定的关系，因此可以防止因基座夹具420与掩模410互擦等而 产生的掩模410的破裂或伤痕的产生。如果要更具体地说明，则基座夹具420由具有底面侧开口的箱型形状 的不锈钢等制成，在与掩模410的设置了第一及第二基准标记401a、 401b 的区域相面对的区域设有沿厚度方向贯穿的单孔的贯穿孔421。该贯穿孔 421与后述的间隔物夹具430的连通孔432在位置上对应。掩模410由具有透过性的材料，例如石英等的玻璃制成，本方式中， 在基座夹具420的贯穿孔421'内具有以不与该贯穿孔421接触的状态突出 并且在头端部形成了第一及第二基准标记401a、 401b的凸部411。凸部 4U是相对于各第一及第二基准标记401a、 401b分别设置的圆柱形状的部 分。本方式中，由于在各喷墨式记录头220的喷嘴平板20上设置了第一 及第二对准标记22a、 22b，因此第一及第二基准标记401a、 401b也是相 对于各喷墨式记录头220设置2个，合计设置8个。这里，第一及第二基准标记401a、 401b优选以达到喷嘴平板20的第 一及第二对准标记22a、 22b的附近的高度形成。这是为了縮小第一及第 二对准标记22a、 22b与第一及第二基准标记401a、 401b的距离而提高定 位精度。即，如果拉大第一及第二基准标记401a、 401b与第一及第二对 准标记22a、 22b的距离，则会由此而难以确保定位精度。另外，在拉大 了第一及第二基准标记401a、 401b与第一及第二对准标记22a、 22b的距 离的情况下，由于在利用光学系统确认位置之时所用的金属卤化物灯等的 热量的影响，光学系统光轴就会很大地偏移，在第一及第二基准标记401a、 401b与第一及第二对准标记22a、 22b的实际的位置中产生很大的误差。艮P，在掩模中未设置凸部411的情况下，第一及第二对准标记22a、 22b与第一及第二基准标记401a、 401b的距离例如约为5.1mm时，光轴 偏移最大会达到约2.5Pm。本方式中，通过在掩模410中设置凸部411， 将第一及第二基准标记401a、 401b与第一及第二对准标记22a、 22b的距 离设为llOum以下，就可以将如上所述的由热量造成的光学系统440的 光轴偏移设为0.05um以下，可以进行高精度的定位。另一方面，当凸部411与喷嘴平板20过近时，则将喷嘴平板20与固 定板250胶粘的胶粘剂就会附着于凸部411的头端面上，有可能无法利用 光学系统确认第一及第二对准标记22a、 22b及第一及第二基准标记401a、 401b，所以凸部411的头端面优选设置为处于与喷嘴平板20相隔给定间 隔的距离。像这样，由于通过在掩模410上设置凸部411，缩短了第一及第二对 准标记22a、 22b与第一及第二基准标记401a、 401b的距离，因此就不需 要通过减小基座夹具420的厚度来缩短第一及第二基准标记401a、 401b 与第一及第二对准标记22a、 22b的距离。即，如果为了縮短第一及第二 对准标记22a、 22b与第一及第二基准标记401a、 401b的距离，而减小基
座夹具420的厚度，则在将喷墨式记录头220向固定板250推压之时，会 因基座夹具420变形或受到破坏而在第一及第二基准标记401a、 401b与 第一及第二对准标记22a、 22b的对位中产生误差，本方式中，由于在掩 模410中设置了凸部4U，因此就不需要将基座夹具420较薄地制成，从 而可以保持基座夹具420的刚性而防止变形或破坏，在这一点上也有助于 高精度的定位。而且，基座夹具420被自由拆装地保持在移动载台550上，在将固定 板250与喷墨式记录头220硬化胶粘等时，就可以用其他的对准夹具来使 用。这样，就可以降低对准夹具400的成本。间隔物夹具430是保持固定板250的夹具。如果更具体地说明，则在 间隔物夹具430上，设有多个抽吸小室431，其由不锈钢等的板状构件制 成，在内部连接了真空泵(未图示)等抽吸机构。抽吸小室431在间隔物 夹具430的表面开口，从而可以吸附保持固定板250的表面。另夕卜，在间 隔物夹具430上，设有形成空间的连通孔432，从而可以利用连通孔432 从固定于移动载台550上的掩模410的底面侧确认由固定板250吸附保持 的喷墨式记录头220的第一及第二对准标记22a、 22b。 g卩，间隔物夹具 430被配设于固定板250与掩模410之间，使其一方的面与固定板250接 触，并且使其另一方的面与掩模410的形成有第一及第二基准标记401a、 401b的凸部411具有微小的间隙，从而使得第一及第二基准标记401a、 401b与第一及第二对准标记22a、 22b夹隔空间地相互面对。这是为了防 止因形成有第一及第二基准标记401a、 401b的面与其他的构件接触，而 对该面造成损伤的情况。在如上所述的对准夹具400中，配设有将喷墨式记录头220向固定板 250侧推压的推压机构450。 g卩，推压机构450具备将两端放置于间隔 物夹具430上而配置于喷墨式记录头220上的-字形的臂部451、设于该 臂部451上而将各喷墨式记录头220向固定板250侧推压的推压部453。推压部453分别设于臂部451的与各喷墨式记录头220相面对的区域。 本方式中，由于在1个固定板250上固定有4个喷墨式记录头220，因此 推压部453被与各喷墨式记录头220对应地设为与之相同数目的4个。各推压部453由插穿臂部451而沿轴向自由移动地设置的具有圆柱
形状的推压销栓454、设于推压销栓454的基端部侧而将推压销栓454向 喷墨式记录头220侧施势的施势机构455、配置于推压销栓454与喷墨式 记录头220之间的推压镶块459构成。推压销栓454的头端被制成半球状，从而点接触在推压镶块459上地 推压该推压镶块459。施势机构455是设于臂部451上而将推压销栓454向喷墨式记录头 220侧施势的机构，本方式中，具备包围推压销栓454的基端部恻地设 置的螺栓保持部456、与螺栓保持部456螺合的螺栓部457、设于螺栓部 457的头端面与推压销栓454的基端部之间的施势弹簧458。由此，施势机构455就可以利用螺栓部457在螺栓保持部456上的紧 固量，来调整施势弹簧458对推压销栓454进行推压的压力。这样，就能 够分别调整推压销栓454对推压镶块459进行推压的压力。推压镶块459配置于推压销栓454与喷墨式记录头220的保护基板30 之间，推压销栓454与推压镶块459的上面点接触，可以在将该推压销栓 454的推压力向喷墨式记录头220的保护基板30上的大致全面均等地传播 的状态下，推压喷墨式记录头220。并非使推压销栓454的头端直接接触 在喷墨式记录头220的保护基板30上，而是利用推压镶块459推压喷墨 式记录头220整体，因而可以将喷墨式记录头220可靠地固定在固定板250 上。而且，该推压镶块459形成与喷墨式记录头220的保护基板30的外 周形状相同大小或略小的外周形状。如上所述，与推压机构450成为一体的对准夹具400配置于移动载台 550上，从而可以沿与双焦点显微镜500的光轴L成直角的水平方向适当 地移动。其结果是，可以通过在将光轴L固定的状态下，使移动载台550 移动，而使与各喷墨式记录头220对应的各第一及第二对准标记22a、 22b 和各第一及第二基准标记401a、 401b —起处于光轴L上。而且，在移动 载台550中光轴L朝向掩模410所通过的区域，设有贯穿孔551，确保经 由第一及第二基准标记401a、 401b到达第一及第二对准标记22a、 22b的 光路。双焦点显微镜500具有共有光轴L的一个光学系统501和另一个光学 系统502。光轴L从掩模410的与间隔物夹具侧相反一侧，穿过第一及第
二基准标记401a、 401b及作为空间的连通孔432，朝向第一及第二对准标 记22a、 22b的方向(图中为垂直方向)。这里，光学系统501可以使焦点 与第一及第二基准标记401a、 401b吻合，光学系统502可以使焦点与第 一及第二对准标记22a、 22b吻合。如果更具体地说明，则物镜503在将光轴L朝向第一及第二基准标记 401a、 401b及第一及第二对准标记22a、 22b的方向的状态下收纳于镜筒 504中，该镜筒504固定于筐体505上。在筐体505内收纳有2个光束分 离器506、 507、 2个反射镜508、 509及2个焦点透镜510、 511。光学系统501由光束分离器506、反射镜508、焦点透镜510及光束 分离器507形成，具有将透过了光束分离器506的光用反射镜508反射， 在穿过了焦点透镜510后，经由光束分离器507到达外部的光路(图中以 单点划线表示)。光学系统502由光束分离器506、焦点透镜511、反射镜509及光束 分离器507形成，具有由光束分离器506反射的光在穿过了焦点透镜511 后，被反射镜509及光束分离器507反射而到达外部的光路(图中以单点 划线表示)。作为拍摄机构的CCD520借助光学系统501、 502同时取入第一及第 二基准标记401a、 401b和第一及第二对准标记22a、 22b而进行再现处理。 这里，通过调整焦点透镜510的焦点位置，另外通过调整焦点透镜511的 焦点位置，可以使第一及第二基准标记401a、 401b和第一及第二对准标 记22a、 22b分别在CCD520上形成聚焦图像。由此，就可以在CCD520 上获得与第一及第二基准标记401a、 401b及第一及第二对准标记22a、 22b 分别地对焦了的清晰的图像，通过调整喷墨式记录头220的位置而使该图 像重合，来进行给定的对准。对准机构600是借助与喷墨式记录头220的长边方向的两个端面抵接 地支承该喷墨式记录头220的卡盘610a、 610b，在XY平面内移动喷墨式 记录头220，并且绕着与上述XY平面正交的轴转动喷墨式记录头220的 机构。这里，上述的所谓XY平面是与喷嘴平板20以及掩模410平行的 面，本方式中为水平面。另外，卡盘610a、 610b为了将支承喷墨式记录 头220时的姿势稳定化，而以将喷墨式记录头220的两个端面以3点支承
的方式形成(具体的形状等在后面详述)。该对准机构600配设于由多个垂直的支柱601a和水平地跨设在各支 柱601a之间的梁601b构成的架子601上。此外，从梁601b侧起依次设 有6载台611、 Y载台612及X载台613 ，具有设于从最下方的X载台613 向下方垂下的2根杆614a、 614b的头端部的2个驱动气缸615a、 615b。 卡盘610a、 610b粘接在驱动气缸615a、 615b的活塞杆的头端。即如下所 示地构成，利用驱动气缸615a、 615b的驱动，卡盘610a、 610b通过在 XY平面内沿Y方向直线移动，而可以与喷墨式记录头220接触分离。通 过伸长驱动气缸615a、 615b的活塞，就可以使卡盘610a、 610b与喷墨式 记录头220的长边方向的两个端面分别抵接，在该状态下支承喷墨式记录 头220。这里，'9载台611预先将其旋转轴的轴心调整为与第一基准标记401a 的中心一致。另外，Y载台612相对于9载台611在XY平面内沿Y方向 移动。X载台613相对于Y载台612在XY平面内沿X方向移动。由此， X载台613及Y载台612就可以绕着e载台611的旋转轴转动，换言之， 可以绕着第一基准标记401a转动。另外，e载台611、 Y载台612及X 载台613相对于移动载台550成为固定部，因而通过伴随着移动载台550 的移动，将喷墨式记录头220沿图中的X方向移动，就可以就位于各列(本 例中为4列)的喷墨式记录头220的上方。下面，基于图8对使用如上所述的对准装置的喷墨式记录头220向给 定位置的对准方法进行说明。1) 从对准夹具400的底面侧利用双焦点显微镜500确认第一基准标 记401a。2) 将固定板250保持在对准夹具400上。这是通过将固定板250放 置 固定在间隔物夹具430的上面而进行的。此时，间隔物夹具430通过 经由抽吸小室431抽吸固定板250来固定。3) 在双焦点显微镜500的光学系统501中，利用焦点透镜510的调 整将第一基准标记401a聚焦，取入CCD520中，并且在另一个光学系统 502中，利用焦点透镜511的调整将第一对准标记22a聚焦，取入CCD520 中。其结果是，在CCD520中取入与第一基准标记401a及第一对准标记 22a分别对焦了的清晰的图像。即，光学系统501、 502由于可以与虽然共 有光轴L但是各自位置不同的对象(第一基准标记401a及第一对准标记 22a)分别地对焦，因此可以减小各自的景深，以足够的倍率获得清晰的 第一基准标记401a及第一对准标记22a的图像。该状态下，如图8 (a)中所示，利用卡盘610a、 610b支承喷墨式记 录头220的长边方向的两个端面。这里，卡盘610b将头端部分为2股。 另外，卡盘610a在穿过上述两股的中心的线上与喷墨式记录头220的相 反一侧的端面抵接。S卩，卡盘610a、 610b以3个点支承喷墨式记录头220。4) 从图8 (a)所示的状态开始，通过借助X载台613及Y载台612 将由卡盘610a、 610b支承的喷墨式记录头220在XY平面内移动，而如 图8 (b)所示，使第一对准标记22a就位于第一基准标记401a的中心， 从而将两者的位置对齐。5) 对第二对准标记22b及第二基准标记401b也同样地进行上述1) 至3)的对焦操作。6) 然后，借助9载台611将X载台613及Y载台612 —体化地转动。 由于此时的转动中心调整为与第一基准标记401a的中心一致，因此喷墨 式记录头220就以第一基准标记401a的中心作为转动中心而转动。其结 果是，如图8(c)所示，可以将第二对准标记22b送至第二基准标记401b 的中心，在达到该状态的时刻结束定位操作。7) 将喷墨式记录头220与固定板250夹隔胶粘剂地抵接。这里，由 于固定板250被定位保持在对准夹具400上，因此通过进行掩模410与喷 墨式记录头220的定位，也可以进行固定板250与喷墨式记录头220的定 位。8) 通过重复进行图8 (a)至图8 (c)的工序，将多个喷墨式记录头 220依次定位在固定板250上。即，在将光轴L以及6载台611、 Y载台 612及X载台613 —直固定的状态下，对将移动载台550沿图6中的X方 向移动而结束了定位的喷墨式记录头220的相邻的喷墨式记录头220重复 进行相同方式的定位及固定。9) 通过在利用推压机构450，将多个喷墨式记录头220向固定板250 以给定的压力加压的同时，使胶粘剂硬化，而将两者接合。
像这样，通过将固定板250与多个喷墨式记录头220定位接合，就可 以高精度地进行固定板250与喷嘴列21A的定位。另外，可以高精度地进 行相邻的喷墨式记录头220的各喷嘴列21A之间的相对的定位。另外，由 于将喷墨式记录头220与由平板制成的固定板250抵接而接合，因此仅通 过将喷墨式记录头220与固定板250接合，就可以进行多个喷墨式记录头 220的墨滴喷出方向的相对的定位。由此，就不需要进行多个喷墨式记录 头220的墨滴喷出方向的对位，可以可靠地防止墨滴的命中位置不良。特别是，本方式中，由于在设置了第一及第二基准标记401a、 401b 的掩模410与设置了第一及第二对准标记22a、 22b的喷嘴平板20之间， 具有由间隔物夹具430形成的空间，因itt:各自的高度位置不同，然而由于 第一及第二基准标记401a、 401b以及第一及第二对准标记22a、 22b可以 利用2个系统的光学系统501、 502分别地进行调焦，因此第一及第二基 准标记401a、 401b以及第一及第二对准标记22a、 22b的图像清晰，由此 就可以进行高精度的定位。<其他的实施方式>以上虽然对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于上 述的方式。只要可以形成如下的构成，§卩，用卡盘610a、 610b来支承喷 墨式记录头220，并且将喷墨式记录头220的XY平面内的直线移动和绕 着与XY平面正交的轴的转动组合而进行第一及第二对准标记22a、 22b 以及第一及第二基准标记40la、 401b的对位，就没有特别限制。然而， 根据上述的实施方式，具有如下的效果，S卩，只要将e旋转轴的轴心调整 为与第一基准标记401a的中心一致，就可以用第一工序的直线移动及第 二工序的转动这两个工序最为容易并且迅速地进行给定的对准操作。而且，如图8所示，通过将任意的基准标记(图8的情况下为第二基 准标记401b)设为椭圆形状，则在利用转动的位置调整之后，沿一个方向 (图8的情况下为Y方向)直线移动喷墨式记录头220而进行最终的位置 调整之时是很方便的。另外，也可以沿Y轴方向并排配设2台双焦点显微镜500，以便可以 同时观察分别形成于一个喷墨式记录头220的喷嘴平板20的长边方向的 两个端部的第一及第二对准标记22a、 22b。该情况下，将2台双焦点显微
镜500各自的光轴L间的距离配设为与第一及第二对准标记22a、 22b间 的距离匹配。根据本方式，对于一个喷墨式记录头220，可以不伴随着光轴L的相 对的移动地进行给定的定位，由此可以提高操作性。另外，也可以与多个喷墨式记录头220的各列对应地以喷墨式记录头 220的数目设置双焦点显微镜500。如果双焦点显微镜的数目增加，则可 以迅速地进行对位操作。 _另外，上述各实施方式中，虽然在对准夹具400上设置了推压机构 450，但是并不特别限定于此，例如在作为接合固定板250与喷墨式记录 头220的胶粘剂使用了紫外线硬化型的胶粘剂的情况下，由于在固定板 250的接合面上涂布了胶粘剂后，通过在将固定板250与喷墨式记录头220 抵接的状态下照射紫外线将胶粘剂硬化，就可以将两者接合，因此也可以 省略推压机构450。而且，紫外线硬化型胶粘剂不需要像热硬化性胶粘剂 那样，在对固定板250与喷墨式记录头220以给定的压力加压的同时将其 硬化，可以防止由加压造成的喷墨式记录头220与固定板250的位置不正， 将两者高精度地接合。在使用了紫外线硬化型的胶粘剂的接合中，由于接合强度比较弱，因 此只要在将固定板250与喷墨式记录头220用紫外线硬化型胶粘剂接合 后，将由喷墨式记录头220与固定板250划分出的角部等的周围用热硬化 性胶粘剂固定即可。这样，就可以将固定板250与喷墨式记录头220高精 度并且牢固地接合，提高可靠性。另外，上述的实施方式中，虽然作为接合多个喷墨式记录头220的固 定构件例示了由平板制成的固定板250，但是固定构件并不限定于固定板 250，例如也可以在外罩头240上直接定位接合多个喷墨式记录头220。此 种情况下，也可以使用上述的对准夹具400高精度地定位胶粘。上述的实施方式中，虽然例示了挠曲振动型的喷墨式记录头220，但 是并不限定于此，当然也可以应用于具有例如将压电材料和电极形成材料 交互地层叠而沿轴向伸缩的纵向振动型的喷墨式记录头、利用因发热元件 等的发热而产生的气泡喷出墨滴的喷墨式记录头等各种构造的喷墨式记 录头的喷头组件中。-
而且，上述实施方式中，虽然作为成为对准的对象的液体喷头，将具 有喷出油墨的喷墨式记录头的喷头组件作为一个例子进行了说明，但是并 不限定于此，可以同样地广泛适用于具有液体喷头的液体喷头组件的制造 中。作为液体喷头，例如可以举出打印机等图像记录装置中所用的记录头; 液晶显示器等的滤色片的制造中所用的色材喷头；有机EL显示器、FED (场发射显示器)等的电极形成中所用的电极材料喷头；生物芯片制造中 所用的生物体有机物喷头等。
权利要求
1.一种液体喷头的对准装置，是在将喷嘴平板与固定构件定位接合之时所用的液体喷头的对准装置，该喷嘴平板设有液体喷头的喷射液体的喷嘴开口，并且在长边方向的两个端部分别设有对位用的第一及第二对准标记，该固定构件保持多个上述液体喷头的上述喷嘴平板侧，所述液体喷头的对准装置的特征是，具有作为透明构件的掩模，其设有上述第一及第二对准标记所分别对位的第一及第二基准标记；卡盘，其与上述液体喷头的上述长边方向的两个端面分别抵接而支承上述液体喷头；对准机构，其可以在与上述喷嘴平板平行的平面内借助上述卡盘将上述液体喷头直线移动，并且可以绕着与上述平面正交的轴借助上述卡盘将上述液体喷头转动。
2. 根据权利要求1所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上述对 准机构具备用于借助上述卡盘将上述液体喷头在作为上述平面内的一个 方向的X方向上移动的X载台；用于借助上述卡盘将上述液体喷头在作 为与上述X方向正交的方向的Y方向上移动的Y载台；及将上述X载台和Y载台一体化地绕着上述轴转动的e载台。
3. 根据权利要求1或2所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上 述卡盘以至少3个点来支承上述液体喷头。
4. 根据权利要求1或2所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上 述掩模具有沿着上述光轴朝向对准标记突出的凸部，在该凸部的上面设置 了上述第一及第二基准标记。
5. 根据权利要求1或2所述的液体喷头的对准装置，其特征是，具有间隔物夹具，其在上述固定构件与上述掩模之间，被将一方的面与上 述固定构件接触并且将另一方的面与上述掩模接触地配设，使得上述第一及第二基准标记与上述第一及第二对准标记夹隔空间而相互面对； 双焦点显微镜，其光轴从上述掩模的与上述间隔物夹具侧相反一侧穿 过上述第一及第二基准标记及上述空间而朝向上述第一及第二对准标记 的方向，共有上述光轴的一个光学系统可以使焦点与上述第一及第二对准 标记吻合，并且另一个光学系统可以使焦点与上述第一及第二基准标记吻 合。
6. 根据权利要求5所述的液体喷头的对准装置，其特征是，上述双 焦点显微镜由如下的多台双焦点显微镜构成，即，使各自的上述光轴间的 距离与相邻的喷嘴平板的对准标记间的距离匹配，从而可以同时地观察到 形成于多个液体喷头的各喷嘴平板上的各对准标记。
7. 根据权利要求5所述的液体喷头的对准装置，其特征是，将上述 双焦点显微镜的光轴固定，另一方面，将上述掩模与支承上述液体喷头的 间隔物夹具一体化地移动，使得成为对准的对象的第一及第二基准标记与 第一及第二对准标记就位于上述光轴上或其附近。
8. —种液体喷头的对准方法，是在将喷嘴平板与固定构件定位接合 之时所用的液体喷头的对准方法，该喷嘴平板设有液体喷头的喷射液体的 喷嘴开口并且在长边方向的两个端部分别设有对位用的第一及第二对准 标记，该固定构件保持多个上述液体喷头的上述喷嘴平板侧，该方法的特 征是，将与上述喷嘴平板平行的平面内的上述液体喷头的直线移动及绕着 与上述平面正交的轴的上述液体喷头的转动组合，调整为使得上述第一对 准标记与该第一对准标记所要对位的第一基准标记对齐，并且使得上述第 二对准标记与该第二对准标记所要对位的第二基准标记对齐。
9. 根据权利要求8所述的液体喷头的对准方法，其特征是，包括 利用上述直线移动来移动上述液体喷头，使上述第一对准标记与上述第一基准标记对齐的工序；绕着穿过上述第一基准标记的中心而与上述平面正交的轴转动上述 液体喷头，使上述第二对准标记与上述第二基准标记对齐的工序。
全文摘要
一种液体喷头的对准装置，具有掩模(410)，设有第一及第二对准标记(22a、22b)所分别对位的第一及第二基准标记(401a、401b)；卡盘(610a、610b)，与喷墨式记录头(220)长边方向的两个端面分别抵接而支承喷墨式记录头(220)；对准机构(600)，借助卡盘(610a、610b)在与喷嘴平板(20)平行的平面内的XY方向上移动喷墨式记录头(220)而将第一对准标记与第一基准标记对齐，并且借助卡盘(610a、610b)将喷墨式记录头(220)绕着穿过第一基准标记(401a)的中心而与上述平面正交的轴转动，将第二对准标记(22b)与第二基准标记(401b)对齐。
文档编号B41J2/16GK101164785SQ200710167120
公开日2008年4月23日 申请日期2007年10月18日 优先权日2006年10月18日
发明者冈室琢磨, 后藤和敏, 太田睦彦, 奥村资纪, 柳泽功, 稻冈靖雄 申请人:精工爱普生株式会社