专利名称：丝网印刷机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及通过使刮板在基板接触的掩模上滑动而在基板上转印膏的丝网印刷机及丝网印刷方法。
背景技术：
丝网印刷机的构成为，利用在设定于与基板接触的掩模的下方的水平移动面内移动的照相机单元，对设于掩模的掩模侧标记和设于被保持在掩模的下方的基板的上面的基板侧标记进行拍摄动作，基于所得到的掩模侧标记和基板侧标记的位置关系使基板与掩模接触后，使刮板在掩模上滑动，将供给到掩模上的焊锡等膏转印于基板上。而且，在将膏转印于基板后，进行使基板从掩模离开的脱模，在脱模后使清洗头在掩模的下方沿水平面内方向移动，进行将附着于掩模的下面的膏擦拭除去的掩模清洗。在这样的丝网印刷机中，以往，照相机单元和清洗头被配置在设置于掩模下方的同一水平正交坐标工作台上并在同一水平移动面内使二者一体移动(例如，专利文献I)。专利文献1:(日本)特开2011 — 189668号公报但是，在上述现有的构成中，由于照相机单元和清洗头不能分别独立移动，故而不能同时进行原本彼此独立的动作、即照相机单元对标记(掩模侧标记及基板侧标记)的拍摄动作和清洗头对掩模的清洗动作，照相机单元对标记的拍摄动作不得不在等待掩模单元对掩模的清洗动作结束后进行。因此，每一张基板所需的作业时间变长，存在妨碍基板的生产性提高的问题。
实用新型内容因此，本实用新型的目的在于提供能够同时并行进行照相机单元的拍摄动作和清洗头对掩模的清洗动作的丝网印刷机。本实用新型第一方面的丝网印刷机具备:掩模，其与基板接触；照相机单元，其在设定于所述掩模的下方的第一水平移动面内移动，对设于所述掩模的掩模侧标记及设于被保持在所述掩模的下方的所述基板的上面的基板侧标记进行拍摄动作；清洗头，其通过在设定于所述掩模的下方且比所述照相机单元移动的所述第一水平移动面高的位置的第二水平移动面内，与所述照相机单元独立地移动，进行清洗所述掩模的下面的清洗动作；刮板，其在基于由所述照相机单元拍摄到的所述掩模侧标记和所述基板侧标记的位置关系使所述基板与所述掩模接触后，在所述掩模上滑动，由此将供给到所述掩模上的膏转印到所述基板上。本实用新型第二方面的丝网印刷机，在第一方面的基础上，所述照相机单元进行的所述拍摄动作和所述清洗头进行的所述清洗动作并行进行。本实用新型第三方面的丝网印刷机，在第一或第二方面的基础上，所述清洗头具备防止在所述清洗动作中从所述掩模的下面擦去的膏落下到所述清洗头的下方的膏收纳部。[0010]在本实用新型中，照相机单元在设定于掩模下方的第一水平移动面内移动，清洗头在设定于掩模的下方且比第一水平移动面高的位置的第二水平移动面内移动，照相机单元和清洗头在彼此不同的水平移动面内移动，因此，能够同时并行进行照相机单元的拍摄动作和清洗头的清洗动作，能够缩短每一张基板所需的作业时间，能够提高基板的生产性。
图1是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的俯视图；图2是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的正面图；图3是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的侧面图；图4是表示本实用新型一实施方式的丝网印刷机的控制系统的框图；图5是表示本实用新型一实施方式的丝网印刷机执行的丝网印刷作业的顺序的流程图；图6 (a)、(b)是说明本实用新型一实施方式的丝网印刷机执行的丝网印刷作作业的执行顺序的图；图7是表示利用本实用新型一实施方式的丝网印刷机具备的清洗头进行掩模的清洗的状态的图；图8 (a)、(b)是说明本实用新型一实施方式的丝网印刷机执行的丝网印刷作业的执行顺序的图。
标记说明1:丝网印刷机2:基板2m:基板侧标记15:掩模15m:掩模侧标记16:照相机单元17b:刮板18:清洗头30:框体(膏收纳部)S1:第一水平移动面S2:第二水平移动面Pt^
具体实施方式
以下，参照附图说明本实用新型的实施方式。图1、图2及图3所示的丝网印刷机I为在基板2的电极部2a上丝网印刷焊锡等膏Pt的装置，除在基台10上具备基板搬入输送机11、通过基板保持单元移动机构12进行移动的基板保持单元13及基板搬出输送机14之外，还具有以水平姿势被保持于基板保持单元13的上方的掩模15、在掩模15的下方移动自如地设置的照相机单元16、在掩模15的上方区域移动自如地设置的刮板单元17及在掩模15的下方移动自如地设置的清洗头18而构成。[0033]基板搬入输送机11搬入从丝网印刷机I的外部投入的基板2并将其交接到基板保持单元13。基板搬出输送机14将从基板保持单元13接收的基板2搬出到丝网印刷机I的外部。即，基板2以基板搬入输送机11、基板保持单元13、基板搬出输送机14的顺序进行搬送，以该基板2的移动方向为X轴方向(从操作员OP观察到的左右方向)。另外，以与该X轴方向正交的水平面内方向为Y轴方向(从操作员OP观察到的前后方向)，以上下方向为Z轴方向。在图1中，掩模15由矩形的板状部件构成，其外缘由矩形框状的掩模框15w支承。在掩模15的中央部设有与基板2的电极部2a对应的多个开口部15h。在图1中，在基板2上的一对角位置设有两个基板侧标记2m，在掩模15上，与这两个基板侧标记2rn对应而设有两个掩模侧标记15m。在使两个基板侧标记2m和两个掩模侧标记15m上下相对的状态下使基板2上升并使基板2与掩模15接触时，基板2的电极部2a和设于掩模15的开口部15h成为相一致的状态。在图2及图3中，基板保持单元13具有:相对于基台10升降自如地设置的基体部13a、安装于基体部13a并沿X轴方向搬送基板2的基板搬送输送机13b (也参照图1)、使利用基板搬送输送机13b搬送并定位于规定的基板保持位置的基板2在被下支承部件13c从下方支承的状态下进行升降的基板升降缸13d及将利用基板升降缸13d顶起的基板2从Y轴方向夹持保持的一对夹持部件13e (也参照图1)而构成。在图4中，基板搬入输送机11、基板保持单元13的基板搬送输送机13b、基板搬出输送机14的动作控制、基板升降缸13d的动作控制及驱动一对夹持部件13e的由未图示的促动器等构成的夹持部件驱动机构13A对基板2的夹持动作的控制通过丝网印刷机I所具备的控制装置20进行。基板保持单元移动机构12由XYZ机械手构成，通过控制装置20进行动作控制，使基板保持单元13在水平面内移动(也包含旋转)，同时使基板保持单元13在上下方向(Z轴方向)移动(图4)。在图1及图3中，照相机单元16具备使拍摄视野朝向下方的下方拍摄照相机16a和使拍摄视野朝向上方的上方拍摄照相机16b而构成，通过照相机单元移动机构16M (图2及图3)使掩模15的下方在水平面内方向移动。在图1、图2及图3中，照相机单元移动机构16M由前后两端分别安装于从基台10的四角向上方延伸设置的四个垂直支柱21中的左侧的两个及右侧的两个并沿Y轴方向延伸的两个下方Y轴滚珠丝杠22、左右两端拧合于这两个下方Y轴滚珠丝杠22并沿X轴方向延伸的下方移动工作台23、在下方移动工作台23的前面侧沿X轴方向延伸设置的下方X轴滚珠丝杠24、拧合于该下方X轴滚珠丝杠24的照相机安装块25、同步驱动两个下方Y轴滚珠丝杠22使下方移动工作台23沿Y轴方向移动的两个下方Y轴滚珠丝杠驱动电动机26及驱动下方X轴滚珠丝杠24使照相机安装块25沿X轴方向移动的下方X轴滚珠丝杠驱动电动机27构成，照相机单元16被安装于下方移动工作台23的前面。因此，照相机单元16通过两个下方Y轴滚珠丝杠驱动电动机26及下方X轴滚珠丝杠驱动电动机27的旋转动作，与下方移动工作台23 —体地在掩模15下方的第一水平移动面SI (图2及图3)内移动。在图4中，构成上述照相机单元移动机构16M的两个下方Y轴滚珠丝杠驱动电动机26及下方X轴滚珠丝杠驱动电动机27的旋转控制通过控制装置20进行。另外，下方拍摄照相机16a的拍摄动作及上方拍摄照相机16b的拍摄动作通过控制装置20进行控制，通过下方拍摄照相机16a的拍摄动作得到的图像数据及通过上方拍摄照相机16b的拍摄动作得到的图像数据被发送到控制装置20。在图1、图2及图3中，刮板单元17具有在通过由水平正交坐标工作台构成的刮板单元移动机构17M的动作而在掩模15的上方沿Y轴方向自如移动的基体部17a的下方具备在Y轴方向上相对设置的两个刮板17b的构成，各刮板17b利用安装于基体部17a的两个气压缸17c分别独立地在基体部17a的下方进行升降。刮板单元移动机构17M的动作控制及各气压缸17c的动作进行的刮板17b的升降控制通过控制装置20进行(图4)。在图3中，清洗头18在框体30内具有绕X轴旋转自如地设置的两个旋转体31a、31b (抽出侧的旋转体31a及卷取侧的旋转体31b)、挂设于这两个旋转体31a、31b间的纸部件32及向该纸部件32上方顶起的沿X轴方向延伸的嘴部33而构成，通过将两个旋转体31a、31b向同一方向驱动并使纸部件32沿Y轴方向行进，可以更新纸部件32位于嘴部33的上面的清洗部位。在嘴部33的上端设有经由纸部件32从下方抵接掩模15的下面的吸引口。清洗头18通过由水平正交坐标机械手构成的清洗头移动机构18M (图2及图3)沿Y轴方向自如移动。清洗头移动机构18M由前后两端分别安装于上述四个垂直支柱21中左侧的两个及右侧的两个上且沿Y轴方向延伸的两个上方Y轴滚珠丝杠41、左右两端拧合于这两个上方Y轴滚珠丝杠41上并沿X轴方向延伸且安装有清洗头18的框体30的上方移动工作台42、同步驱动两个上方Y轴滚珠丝杠41而使上方移动工作台42沿Y轴方向移动的两个上方Y轴滚珠丝杠驱动电动机43构成。在此，两个上方Y轴滚珠丝杠41及上方移动工作台42位于比构成照相机单元移动机构16M的两个下方Y轴滚珠丝杠22及下方X轴滚珠丝杠24靠上方的位置。因此，清洗头18通过两个上方Y轴滚珠丝杠驱动电动机43的动作与上方移动工作台42 —体地在掩模15下方的第二水平移动面S2 (图2及图3)内移动。该清洗头18移动的第二水平移动面S2位于比照相机单元16移动的第一水平移动面SI更高的位置，因此，清洗头18在比照相机单元16低的水平移动面内移动。在图4中，构成上述清洗头移动机构18M的两个上方Y轴滚珠丝杠驱动电动机43的旋转控制通过控制装置20进行。另外，使纸部件32行进而更新挂设于嘴部33的上面的纸部件32的清洗部位的动作通过控制装置20使驱动上述两个旋转体31a、31b的旋转体驱动电动机31A动作而进行。另外，经由嘴部33的吸引口的真空吸引动作通过由控制装置20进行由未图示的促动器等构成的吸引机构18A的动作控制来进行。接着，使用图5的流程图及图6 图8的说明图说明丝网印刷机I的丝网印刷作业的执行顺序。控制装置20在进行丝网印刷作业时，首先将从丝网印刷机I的外部投入的基板2通过基板搬入输送机11搬入并交接给基板搬送输送机13b，将其定位于上述规定的作业位置(基板搬入工序。图5所示的步骤ST1)。而且，进行基于基板升降缸13d进行的基板2的顶起(图6 (a)中所不的箭头标记A)和基于夹持部件13e进行的基板2的夹持(图6 (a)中所示的箭头标记B)，保持基板2 (基板搬入保持工序。图5所示的步骤ST2。图6 (a))。控制装置20如上所述保持基板2后，进行构成照相机单元移动机构16M的两个下方Y轴滚珠丝杠驱动电动机26及下方X轴滚珠丝杠驱动电动机27的动作控制，使照相机单兀16在第一水平移动面SI内移动。而且,在使上方拍摄照相机16b位于设于掩模15的掩模侧标记15m的正下方后，使上方拍摄照相机16b进行掩模侧标记15m的拍摄，根据该图像数据把握掩模15的位置(掩模侧标记拍摄工序。图5所示的步骤ST3)，控制装置20在结束照相机单元16对掩模侧标记15m的拍摄后，同样进行两个下方Y轴滚珠丝杠驱动电动机26及下方X轴滚珠丝杠驱动电动机27的动作控制，使照相机单元16在第一水平移动面SI内移动，在使下方拍摄照相机16a位于设于基板2的基板侧标记2m的正上方后，使下方拍摄照相机16a对基板侧标记2m的拍摄，根据该图像数据把握基板2的位置(基板侧标记拍摄工序。图5所示的步骤ST4)。在此,上述步骤ST3和步骤ST4的顺序也可以颠倒,但掩模侧标记15m的拍摄仅在最初设置掩模15时进行。这样,在本实施方式中，照相机单兀16在设于掩模15的下方的第一水平移动面SI内移动，进行设于掩模15的掩模侧标记15m及设于被保持在掩模15的下方的基板2的上面的基板侧标记2m的拍摄动作。控制装置20与上述步骤ST3中的掩模侧标记15m的拍摄及步骤ST4中的基板侧标记2m的拍摄并行，进行清洗头18进行的掩模15的下面的清洗(清洗执行工序。图5所示的步骤ST5)。S卩，照相机单元16进行的拍摄动作(步骤ST3及步骤ST4的拍摄工序)和清洗头18进行的清洗动作(步骤ST5)同时并行进行。步骤ST5的掩模15的清洗通过如下方式进行，即，控制装置20进行构成清洗头移动机构18M的两个上方Y轴滚珠丝杠驱动电动机43的动作控制，在使纸部件32的清洗部位与掩模15的下面接触后，进行吸引机构18A的动作控制，使嘴部33进行真空吸引，使清洗头18在第二水平移动面S2内沿Y轴方向移动(图7中所示的箭头标记C)。由此，通过纸部件32擦拭附着于掩模15的下面的膏Pt (膏Pt的残渣)，对掩模15的下面进行清洗。此外，该清洗头18进行的掩模15的清洗也可以对每张基板进行丝网印刷作业，但也可以按预定的规定的数量进行。这样，在本实施方式中，清洗头18通过在设定于掩模15的下方且比照相机单元16移动的第一水平移动面SI高的位置的第二水平移动面S2内与照相机单元16独立地移动，进行清洗掩模15的下面的清洗动作。在进行该掩模15的下面的清洗时，从掩模15的下面擦去的膏Pt不会附着于纸部件32上，或者附着于纸部件32上后落下，但由于该落下的膏Pt蓄积于框体30内，从而能够防止其落下到清洗头18的下方。即，在本实施方式中，清洗头18的框体30作为防止从掩模15的下面擦去的膏Pt落下到清洗头18的下方的膏收纳部而起作用。控制装置20在步骤ST3及步骤ST4进行照相机单元16对基板侧标记2m的拍摄和掩模侧标记15m的拍摄，另外，根据需要在步骤ST5进行了掩模15的清洗后，使基板保持单元13在水平面内方向移动，以基板侧标记2m和掩模侧标记15m上下相对(即基于由照相机单元16拍摄到的掩模侧标记15m和基板侧标记2m的位置关系)的方式进行基板2相对于掩模15的水平面内方向的对位(对位工序。图5所示的步骤ST6)。控制装置20在基板2相对于掩模15的对位结束后，进行基板保持单元移动机构12的动作控制,使基板保持单元13相对于基台10上升(图6 (b)中所示的箭头标记Dl),使由一对夹持部件13e保持的基板2的上面与掩模15的下面接触，由此使基板2接触掩模15 (接触工序。图5所示的步骤ST7。图6(b))。由此，基板2上的电极部2a和掩模15的开口部15h成为相一致的状态。控制装置20在使基板2与掩模15接触后，进行刮板17b的刮涂，将预先供给到掩模15上的膏Pt转印到基板2的电极部2a (转印工序。图5所示的步骤ST8)。该刮涂具体而言如下进行，使刮板单元17所具备的两个刮板17b中的一方向下动作(图8 Ca)中所示的箭头标记E1)，在维持与掩模15的上面抵接的状态下使基体部17a沿水平方向移动(图8 (a)中所示的箭头标记F)。由此,刮板17b在掩模15上滑动,掩模15上的膏Pt被刮板17b刮拢到一起，推入掩模15的开口部15h内，转印于各基板2的电极部2a上。S卩，在本实施方式中，刮板17b在基于由照相机单元16拍摄到的掩模侧标记15m和基板侧标记2m的位置关系使掩模15与基板2接触后，在掩模15上滑动，由此将供给到掩模15上的膏Pt推入掩模15的开口部15h内并转印到基板2的电极部2a上。控制装置20在基板2的电极部2a上转印了膏Pt后，使抵接于掩模15的刮板17b向上动作后(图8 (b)中所示的箭头标记E2),使基板保持单元移动机构12动作,使基板保持单元13下降，由此使基板2离开掩模15 (图8 (b)中所示的箭头标记D2)，进行脱模(脱丰旲工序。图5所不的步骤ST9。图8 (b))。由此，骨Pt残留于基板2的电极部2a上,在基板2上印刷膏Pt。此外，在此，基板保持单元移动机构12作为在刮板17b进行的膏Pt向基板2的转印结束后，使基板2从掩模15离开的脱模机构而起作用。控制装置20在进行脱模后，进行基板保持单元13的动作控制，解除对基板2的保持(保持解除工序。图5所示的步骤ST10)。该基板2的保持的解除具体而言通过如下方式进行，即，控制装置20在进行夹持部件驱动机构13A的动作控制而使夹持部件13e打开后，使基板升降缸13d动作而使基板2下降，使基板2的两端降到一对基板搬送输送机13b上(参照图3)。控制装置20在解除对基板2的保持后，使基板保持单元移动机构12动作，使基板保持单元13在水平面内移动，调整了基板搬送输送机13b的方向后，使基板搬送输送机13b及基板搬出输送机14动作，将基板2搬出到丝网印刷机I的外部(基板搬出工序。图5所示的步骤ST11)。由此，结束一连串的丝网印刷作业。此外，在上述的步骤ST9中进行了脱模的状态下，成为在掩模15的下面附着有膏Pt的残渣的状态，但该膏Pt的残渣通过在关于下一基板2的丝网印刷作业中通过与照相机单元16进行的掩模侧标记15m和基板侧标记2m的拍摄(步骤ST3及步骤ST4)并行进行的清洗头18对掩模15的清洗(步骤ST5)而被除去。这样，本实施方式的丝网印刷机I的丝网印刷方法包含:利用在设定于与基板2接触的掩模15的下方的第一水平移动面SI内移动的照相机单兀16进行设于掩模15的掩模侧标记15m及设于保持在掩模15的下方的基板2的上面的基板侧标记2m的拍摄动作的拍摄工序(步骤ST3及步骤ST4)、利用在设定于掩模15的下方且比照相机单元16移动的第一水平移动面SI高的位置的第二水平移动面S2内与照相机单元16独立地移动的清洗头18，进行清洗掩模15的下面的清洗动作的清洗工序(步骤ST5)、及基于在拍摄工序拍摄到的掩模侧标记15m和基板侧标记2m的位置关系使基板2与掩模15接触后通过使刮板17b在掩模15上滑动而将供给到掩模15上的膏Pt转印于基板2的转印工序(步骤ST8)。如以上说明，在本实施方式的丝网印刷机I (丝网印刷方法)中，照相机单元16在设定于掩模15的下方的第一水平移动面SI内移动,清洗头18在设定于掩模15的下方且比第一水平移动面SI高的位置的第二水平移动面S2内移动，照相机单元16和清洗头18在彼此不同的水平移动面内移动，因此，能够同时并行进行照相机单元16的拍摄动作和清洗头18的清洗动作，能够缩短每一张基板2所需的作业时间，能够提高基板2的生产性。产业上的可利用性提供一种能够同时并行进行照相机单元的拍摄动作和清洗头的掩模的清洗动作的丝网印刷机及丝网印刷方法。
权利要求1.种丝网印刷机，其特征在于，具备: 掩模，其与基板接触； 照相机单元，其在设定于所述掩模的下方的第一水平移动面内移动，对设于所述掩模的掩模侧标记及设于被保持在所述掩模的下方的所述基板的上面的基板侧标记进行拍摄动作； 清洗头，其通过在设定于所述掩模的下方且比所述照相机单元移动的所述第一水平移动面高的位置的第二水平移动面内，与所述照相机单元独立地移动，进行清洗所述掩模的下面的清洗动作； 刮板，其在基于由所述照相机单元拍摄到的所述掩模侧标记和所述基板侧标记的位置关系使所述基板与所述掩模接触后，在所述掩模上滑动，由此将供给到所述掩模上的膏转印到所述基板上。
2.权利要求1所述的丝网印刷机，其特征在于， 所述照相机单元进行的所述拍摄动作和所述清洗头进行的所述清洗动作并行进行。
3.权利要求1或2所述的丝网印刷机，其特征在于， 所述清洗头具备防止在所述清洗动作中从所述掩模的下面擦去的膏落下到所述清洗头的下方的膏收纳部。
专利摘要本实用新型的目的在于提供一种丝网印刷机，能够同时并行进行照相机单元的拍摄动作和清洗头对掩模的清洗动作。对设于掩模(15)的掩模侧标记(15m)及设于被保持在掩模(15)的下方的基板(2)的上面的基板侧标记(2m)进行拍摄动作的照相机单元(16)在设定于掩模(15)的下方的第一水平移动面(S1)内移动，进行清洗掩模(15)的下面的清洗动作的清洗头(18)在设定于掩模(15)的下方且比照相机单元(16)移动的第一水平移动面(S1)高的位置的第二水平移动面(S2)内与照相机单元(16)独立地进行移动。
文档编号B41F15/08GK202923092SQ20122061251
公开日2013年5月8日 申请日期2012年11月19日 优先权日2012年3月22日
发明者友松道范, 村上俊行, 村上稔, 前田亮 申请人:松下电器产业株式会社