本发明涉及一种具有流道的流道部件的制造方法、流道部件以及具备流道部件的液体喷射头。
背景技术：
作为喷射液滴的液体喷射头的代表例，可列举出喷出油墨滴的喷墨式记录头。作为该喷墨式记录头，例如具备从喷嘴开口喷出油墨滴的头主体、和向头主体供给油墨的流道部件。
在流道部件中，提出有一种通过对多个部件进行熔敷从而被形成的流道部件(例如，参照专利文献1)。在这种流道部件中，由于进行熔敷的一方的部件为过滤器等功能性部件，因此当熔敷部分流出到流道内时，将发生过滤器的有效面积减少等情况，从而导致功能丧失。因此，成为使进行熔敷的部分远离流道的结构。
然而，在对两个部件进行熔敷而在其界面上形成流道的情况下，当使熔敷部分位于远离流道的位置处时，在流道内会形成有凹部。尤其是，当将在进行熔敷时所使用的导能体(director)配置于离开流道的位置处时，会因导能体而形成向流道开口的凹部。而且，存在有如下问题，即，在流道的凹部中液体的流动发生淤塞且有气泡滞留在凹部内并生长等的气泡排出性降低，从而可靠性降低的这类问题。
另外，这样的问题并不限定于喷墨式记录头等所使用的流道部件中，在其他装置所使用的流道部件中也同样存在。
专利文献1：日本特开2014-012370号公报
技术实现要素：
本发明鉴于这种情况，其目的在于，提供一种提高了可靠性的流道部件的制造方法、流道部件以及液体喷射头。
解决上述课题的本发明的方式为一种流道部件的制造方法，其为通过利用第二部件的第二面来覆盖被设置于第一部件的第一面上的凹部从而形成流道的流道部件的制造方法，所述流道部件的制造方法包括：使熔融的导能体的一部分流出至从所述第一部件与所述第二部件的层叠方向观察时与所述凹部相比靠内侧处的工序；在通过所述第二面而覆盖了所述凹部的状态下，使熔融的所述导能体固化并对所述第一部件与所述第二部件进行固定从而形成流道的工序。
在所涉及的方式中，抑制了在通过凹部与第二面而形成的流道的内表面上，在与导能体之间形成有使液体产生淤塞的凹部的情况，从而能够提高气泡的排出性。
在此，优选为，在将所述第一面与所述第二面合对的情况下，使熔融的导能体向从与所述层叠方向正交的方向进行观察时剖面呈锐角的部分流动。据此，虽然在成为锐角的部分容易产生液体的淤塞，但能够通过使导能体流出到成为锐角的部分上，从而能够抑制形成产生淤塞的部分的情况。
此外，优选为，所述凹部为如下形状，即，在从与所述层叠方向正交的方向进行观察时，剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状。据此，能够通过成型而容易且廉价地制造出第一部件。此外，第一面与第二面相接的部分易于成为锐角，从而通过毛细管力而很容易使熔融的导能体流出到第一面与第二面相接的部分上。
此外，优选为，所述凹部在与所述第二部件相反一侧处具有顶点部分。据此，只要将顶点部分以成为铅直朝上的方式进行配置，则能够使气泡聚集到顶点处，从而提高气泡排出性。
此外，优选为，熔融之前的所述导能体被设置于所述第一部件上，并且所述导能体具有与对所述凹部进行规定的壁面处于同一面的壁面。据此，导能体与凹部之间的距离变近，从而易于使熔融的导能体流出到凹部的内侧处。
此外，优选为，熔融之前的所述导能体被设置于所述第一部件上，并且所述导能体为宽度从所述第一面侧朝向所述第二面侧递减的形状。据此，能够提高使导能体的顶端面与第二面抵接的载荷，从而能够可靠地对第一部件与第二部件进行固定。
此外，优选为，熔融的所述导能体以如下形状而被固化，即，通过凹曲面而将所述第二面与所述凹部连接在一起的形状。据此，能够增大导能体的表面与凹部的内表面以及第二面所成的角度，从而能够对液体的流动发生淤塞的部分进行抑制。此外，通过导能体将凹部的内表面与第二面连接在一起，从而能够使熔敷面积增大并牢固地固定。
此外，优选为，所述第二部件具有朝向所述第一部件侧突出且顶端面成为所述第二面的凸部，并且所述第二面的宽度与所述导能体的宽度相比较宽。据此，即使第一部件与第二部件在宽度方向上产生了位置偏移，也能够可靠地形成流道。此外，能够抑制熔敷面积减少的情况，从而抑制固定强度产生偏差的情况。另外，通过仅在凸部的顶端面上设置第二面，从而能够提高第二面的面精度。
此外，优选为，在所述第二部件上通过所述凸部而形成有高低差部，并使熔融的所述导能体流至所述高低差部上。据此，能够增大第一部件与第二部件之间的熔敷面积，从而提高第一部件与第二部件之间的固定强度。
此外，优选为，所述第一面上的所述第一部件的厚度与所述第二面上的所述第二部件的厚度相比较厚，并且所述第二部件相对于任意波长的透过率与所述第一部件相对于相同波长的透过率相比较大。据此，在利用激光而使导能体熔融的情况下，通过使第二部件薄于第一部件，从而能够提高能量效率。
此外，优选为，相对于所述第一面与所述第二面的界面，流道的所述第一部件侧的深度与该流道的所述第二部件侧的深度相比较深。据此，通过在第一部件上形成较深的流道，从而能够减少无用区域，从而能够有效地使用部件。
此外，优选为，还包括经由所述第二部件而对固化的所述导能体的位置进行检查的工序。据此，由于能够以非破坏的方式而对被熔融的导能体的流出位置进行检查，因此能够提高可靠性。
此外，优选为，所述第一部件具备多个所述凹部，所述第二部件具有朝向所述第一部件侧突出且顶端面成为所述第二面的多个凸部，相邻的所述凸部通过作为共同的凹部的高低差部而被规定。据此，由于能够通过一个高低部而来共同规定多个第二面，因此易于制造。
此外，本发明的其他方式为一种流道部件，其特征在于，通过如下部件而对流道进行规定，即：第一壁，其通过第一部件而被规定，所述第一部件的相对于任意波长的透过率为第一值；第二壁，其通过第二部件而被规定，所述第二部件的相对于相同波长的透过率为大于所述第一值的第二值；第三壁，其通过第三部件而被规定，所述第三部件的相对于相同波长的透过率为所述第一值与所述第二值之间的第三值，所述第三壁被配置于所述第一壁与所述第二壁的边界处，所述第三壁以与所述第一壁和所述第二壁假想相接的部分的角度相比较大的角度而分别与所述第一壁以及所述第二壁相接。
在所涉及的方式中，通过在第一壁与第二壁之间的边界处设置以与第一壁和第二壁的角度相比较大的角度而相接的第三壁，从而抑制了在流道内形成产生液体的淤塞的凹部的情况，从而能够提高气泡的排出性。此外，由于第三部件被设置于第一壁与第二壁之间的边界处，因此能够经由第二部件而以非破坏的方式对第三部件的位置进行确认，从而能够提高可靠性。
在此，优选为，所述第二壁与所述第一壁相比宽度较窄。据此，由于第三部件占据了相当于第二壁窄于第一壁的量的范围，因此易于从第二部件侧对第三部件进行确认。
此外，优选为，通过所述第一壁而被规定的所述流道的剖面的宽度在开口部分处成为最宽。据此，能够通过成型而容易且廉价地制造出第一部件。
此外，优选为，所述流道在与所述第二部件相反一侧处具有顶点部分。据此，只要以成为铅直朝上的方式来对顶点部分进行配置，则能够使气泡聚集到顶点，从而提高气泡排出性。
此外，优选为，所述第三部件的所述第三壁成为连接所述第一壁与所述第二壁的凹曲面。据此，能够增大第三壁与第一壁以及第二壁之间的角度，从而能够对产生液体流发生淤塞的部分进行抑制。
此外，优选为，在形成有所述流道的部分中，所述第一部件的厚度与所述第二部件的厚度相比较厚。据此，在通过利用激光而使导能体熔融并固化从而形成第三部件的情况下，通过使第二部件薄于第一部件，从而能够提高能量效率。
此外，优选为，相对于所述第一壁与所述第二壁的边界，所述流道的所述第一部件侧的深度与该流道的所述第二部件侧的深度相比较深。据此，能够通过在第一部件上形成较深的流道，从而减少无用区域，由此能够有效地使用部件。
另外，本发明的其他方式为一种液体喷射头，其特征在于，具备上述方式的流道部件。
在所涉及的方式中，能够实现提高了气泡排出性并且提高了可靠性的液体喷射头。
附图说明
图1为表示本发明的实施方式1所涉及的记录装置的概要结构的俯视图。
图2为表示本发明的实施方式1所涉及的记录头的流道结构的主要部分剖视图。
图3为本发明的实施方式1所涉及的头主体的剖视图。
图4为本发明的实施方式1所涉及的流道部件的剖视图。
图5为本发明的实施方式1所涉及的流道部件的比较例的剖视图。
图6为放大了本发明的实施方式1所涉及的流道部件的主要部分的剖视图。
图7为表示本发明的实施方式1所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。
图8为表示本发明的实施方式1所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。
图9为表示本发明的实施方式1所涉及的流道部件的制造方法的仰视图。
图10为表示本发明的实施方式1所涉及的流道部件的比较例的剖视图。
图11为表示本发明的实施方式2所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。
图12为表示本发明的实施方式2所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。
图13为本发明的实施方式3所涉及的流道部件的剖视图。
图14为表示本发明的实施方式4所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。
图15为表示本发明的实施方式4所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。
图16为本发明的实施方式5所涉及的流道部件的剖视图。
图17为表示本发明的其他实施方式所涉及的流道部件的改变例的剖视图。
图18为表示本发明的其他实施方式所涉及的流道部件的改变例的剖视图。
具体实施方式
以下根据实施方式来对本发明进行详细说明。
实施方式1
图1为作为本发明的实施方式1所涉及的液体喷射装置的一个示例的喷墨式记录装置的俯视图。
作为本实施方式的液体喷射装置的一个示例的喷墨式记录装置1为，仅通过对纸或树脂薄片等的作为被喷射介质的记录薄片s进行输送的方式来实施印刷的、所谓行式的喷墨式记录装置。
另外，在本实施方式中，将记录薄片s的输送方向称为第二方向y，将在记录薄片s的喷落有油墨的喷落面的面内方向上与第二方向y正交的方向称为第一方向x。此外，将与第一方向x以及第二方向y双方正交的方向称为第三方向z。虽然在本实施方式中，例示了各个方向(x、y、z)相互正交的情况，但并非限定于此。
喷墨式记录装置1具备：作为液体而喷出油墨的液体喷射头的一个示例、即喷墨式记录头2(以下，仅称为记录头2)、沿着第二方向y而输送记录薄片s的输送机构3、向记录头2供给油墨的供给单元4、控制装置5。
记录头2沿着第一方向x而延伸。虽然本实施方式的记录头2的详细内容将在后文叙述，但所述记录头2具备沿着第一方向x并排设置并喷出油墨的多个头主体、和向各个头主体供给油墨的流道部件。
供给单元4具备：贮留有油墨的墨盒或油墨罐等的贮留部6、使贮留部6与记录头2连通的管等的供给管7、和被设置于供给管7的中途并将贮留部6的油墨向记录头2压送的压送单元即泵8。贮留部6的油墨通过泵8而被压送并经由供给管7而向记录头2供给。另外，压送单元只要能够将来自贮留部6的油墨向记录头2进行供给即可，并未被特别地限定于此，例如，也可以为从外部对贮留部6进行按压的按压单元等。此外，作为压送单元，还可以采用如下方式，即，使用对记录头2与贮留部6之间的铅直方向上的相对位置进行调节而生成的水位差压差。显然，供给单元4也可以为被直接搭载于记录头2上的墨盒等。
输送机构3为沿着第二方向y而对记录薄片s进行输送的机构，在本实施方式中，所述输送机构3具备输送辊和对该输送辊进行驱动的驱动电机等的驱动单元(未图示)。显然，输送机构3并不限定于此，例如，也可以为旋转的无接头带等。
控制装置5实施喷墨式记录装置1的总体上的控制。具体而言，根据来自外部的印刷信号而对输送机构3进行控制从而使其对记录薄片s进行输送，并且对来自记录头2的油墨滴的喷出进行控制从而使其实施印刷。
在此，参照图2来对被设置于这种本实施方式的喷墨式记录装置1的记录头2的一个示例进行说明。另外，图2为表示记录头的流道结构的主要部分剖视图。另外，在本实施方式中，关于记录头2的各个方向，是基于该记录头2被搭载于喷墨式记录装置1上时的方向、即第一方向x、第二方向y以及第三方向z来进行说明的。
如图2所示，记录头2具备喷出油墨的多个头主体10、和将从供给单元4被供给的油墨向头主体10进行供给的流道部件20。
首先，参照图3来对本实施方式的头主体10的一个示例进行说明。另外，图3为表示本实施方式的头主体的剖视图。
如图3所示，构成本实施方式的头主体10的流道形成基板110由单晶硅基板构成，并且在其一方的面上形成有振动板150。振动板150也可以为从二氧化硅层与氧化锆层中选择的单层或叠层。
在流道形成基板110上并排设置有多个压力产生室112。此外，在流道形成基板110的压力产生室112的外侧的区域中形成有连通部113，连通部113与各个压力产生室112经由针对每个压力产生室112而设置的油墨供给通道114以及连通通道115而被连通。连通部113与后述的保护基板130的歧管部131连通，从而构成了成为各个压力产生室112的共同的油墨室的歧管100的一部分。油墨供给通道114以窄于压力产生室112的宽度而被形成，并且将从连通部113流入压力产生室112的油墨的流道阻力保持为固定。
此外，在流道形成基板110的第三方向z的一方面侧，在本实施方式中为成为记录薄片s侧的z2侧处，通过粘合剂或热熔敷薄膜等而粘合有喷嘴板120，在所述喷嘴板120上贯穿设置有与各个压力产生室112的油墨供给通道114的相反一侧的端部附近连通的喷嘴开口121。另外，喷嘴板120由例如玻璃陶瓷、单晶硅基板、不锈钢等构成。
另一方面，在这种流道形成基板110的第三方向z上的作为与喷嘴开口121相反一侧的z1侧的面上，形成有振动板150，并且在该振动板150上，通过成膜以及平板印刷法而层叠有第一电极160、压电体层170和第二电极180从而构成了压电致动器11。在本实施方式中，压电致动器11成为使压力产生室112内的油墨产生压力变化的压力产生单元。在此，压电致动器11也可以称为压电元件11，是指包括第一电极160、压电体层170以及第二电极180在内的部分。一般情况下，将压电致动器11中的任意一方的电极设为共同电极，并针对每个压力产生室112进行图案形成处理从而构成另一方电极以及压电体层170。虽然在本实施方式中，将第一电极160设为压电致动器11的共同电极，并将第二电极180设为压电致动器11的独立电极，但根据驱动电路或配线的情况而实施相反的设置也没有任何问题。另外，虽然在上述的示例中，振动板150、第一电极160作为振动板而发挥作用，但显然并不限定于此，例如还可以采用如下方式，即，不设置振动板150，而仅将第一电极160作为振动板而发挥作用。此外，还可以采用使压电致动器11本身实质上兼作振动板的方式。
此外，在这种各个压电致动器11的第二电极180上，分别连接有引线电极190，经由该引线电极190从而选择性地向各个压电致动器11施加电压。
此外，在流道形成基板110的z1侧的面上，经由粘合剂135而接合有保护基板130，所述保护基板130具有构成歧管100的至少一部分的歧管部131。在本实施方式中，该歧管部131以在第三方向z上贯穿保护基板130并跨及压力产生室112的宽度方向的方式而被形成，并且如上文所述那样与流道形成基板110的连通部113连通，从而构成了成为各个压力产生室112的共同的油墨室的歧管100。
此外，在保护基板130的与压电致动器11对置的区域中设置有压电元件保持部132，所述保持部132具有不阻碍压电致动器11的运动的程度的空间。压电元件保持部132只要具有不阻碍压电致动器11的运动的程度的空间即可，该空间可以被密封，也可以不被密封。
作为这种保护基板130，优选为使用与流道形成基板110的热膨胀率大致相同的材料，例如玻璃、陶瓷材料等，在本实施方式中，使用与流道形成基板110相同的材料的单晶硅基板来形成。
此外，保护基板130上，设置有在第三方向z上贯穿保护基板130的贯穿孔133。而且，以从各个压电致动器11引出的引线电极190的端部附近在贯穿孔133内露出的方式而设置。
此外，在保护基板130的z1侧的面上，设置有用于对压电致动器11进行驱动的驱动电路191。作为该驱动电路191，例如能够使用电路基板或半导体集成电路(ic)等。而且，驱动电路191与引线电极190经由由接合引线等的导电性导线构成的连接配线192而被电连接。
此外，在这样的保护基板130上，接合有由密封膜141以及固定板142构成的可塑性基板140。在此，密封膜141由刚性较低且具有可挠性的材料构成，通过该密封膜141从而使歧管部131的一方的面被密封。此外，固定板142由比较硬质的材料形成。由于该固定板142的与歧管100对置的区域成为在厚度方向上被完全除去的开口部143，因此歧管100的一方的面仅通过具有可挠性的密封膜141而被密封。
在这种本实施方式的头主体10中，从图1所示的供给单元4经由流道部件20而引入油墨，并在油墨充满了从歧管100至喷嘴开口121为止的内部之后，根据来自驱动电路191的驱动信号，通过向与压力产生室112对应的各个第一电极160与第二电极180之间施加电压而使振动板150以及压电致动器11发生挠曲变形，从而使各个压力产生室112内的压力升高并将油墨滴从喷嘴开口121喷出。
这样的头主体10相对于一个流道部件20而连接有多个，在本实施方式中例如连接有六个，从而构成了记录头2。另外，虽然头主体10相对于流道部件20的并排设置方向并未被特别限定，但例如可以采用如下方式，即，将喷嘴开口121的并排设置方向配置在相对于第二方向y而倾斜的方向上，也就是说，配置在与第一方向x以及第二方向y交叉的方向上，并将多个头主体10并排设置为沿着第一方向x的直线状。此外，也可以采用如下方式，即，将喷嘴开口121配置为与第一方向x一致，将多个头主体10沿着第一方向x而配置为交错状。在此，所谓将头主体10沿着第一方向x而配置为交错状是指，将在第一方向x上并排设置头主体10的头主体10的列在第二方向y上设置两列以上，并使在由多列构成的头主体10中的于第一方向x上相邻的头主体10以如下方式而被配置，所述方式为，使一列的头主体10的喷嘴开口121的列与另一列的头主体10的喷嘴开口121的列在第二方向y上重叠。由此，通过多个头主体10，从而能够形成跨及第一方向x而呈长条的喷嘴开口121的列。
在此，以在参照图2的同时还参照图4的方式来对向头主体10供给油墨的本实施方式的流道部件20进行说明。另外，图4为图2的a-a′线剖视图。
如图所示，流道部件20具备第一部件30和第二部件40，且以将第一部件30与第二部件40在第三方向z上层叠的方式而被构成。即，第一部件30与第二部件40的层叠方向，在本实施方式中是指第三方向z，并且将第一部件30侧称为z1、将第二部件40侧称为z2。这样的第一部件30以及第二部件40例如由聚丙烯等的树脂材料形成。虽然在本实施方式中，详细内容将在后文叙述，但其使用了第二部件40相对于进行熔敷时的激光的波长的透过率高于第一部件30相对于相同波长的透过率的材料。
在这样的流道部件20中设置有流道200，所述流道200连接有一端被连接在贮留部6上的供给管7的另一端部，并且将从供给单元4供给的油墨向多个头主体10进行供给。具体而言，流道200具备：第一流道201，其被设置于第一部件30中，且以使油墨沿着第三方向z流动的方式而被设置；第二流道202，其与第一流道201连通，且以使油墨沿着与第三方向z正交的方向、在本实施方式中为沿着第一方向x流动的方式而被设置；第三流道203，其与第二流道202连通，且以使油墨沿着第三方向z流动的方式而被设置。
第一流道201以在第三方向z上贯穿第一部件30的方式而被设置，并且在第一流道201的与第二流道202连通的端部的相反一侧处，连接有与贮留部6连接的供给管7。
第二流道202被设置在第一部件30与第二部件40之间的接合界面上，并且以使油墨沿着与第一流道201正交的方向、即包括第一方向x以及第二方向y在内的面内方向而流动的方式被设置。在本实施方式中，第二流道202以使油墨沿着第一方向x而流动的方式被设置。另外，第一流道201的向第二流道202的开口被设置于与两端部相比靠内侧的位置处，并未被设置于第二流道202的两端部处。即，第一流道201不与第二流道202的端部连通。显然，并不限定于此，也可以将第一流道201设为与第二流道202的端部连通。另外，关于第二流道202的详细内容将在后文叙述。
第三流道203以在第三方向z上贯穿第二部件40的方式而被设置。这样的第三流道203相对于第二流道202而连通设置有多个，在本实施方式中，连通设置有六个。而且，各个第三流道203通过一端与第二流道202连通且另一端与头主体10连通，从而将第二流道202的油墨向多个头主体10进行供给。
构成这种流道200的第二流道202，是通过由第二部件40的第一部件30侧的面即第二面41覆盖被设置于第一部件30的第二部件40侧的面即第一面31上的凹部32从而被形成的。具体而言为，第二流道202通过第一壁33、第二壁41和第三壁51而被形成，其中，所述第一壁33通过第一部件30而被规定，所述第二壁41通过第二部件40而被规定，所述第三壁51通过设置于第一壁33与第二壁41的边界上的第三部件50而被规定。
在此，在本实施方式中，第一壁33是指，第一部件30的向第一面31开口的凹部32的内表面。优选为，这样的凹部32为如下形状，即，在从与作为第一部件30和第二部件40的层叠方向的第三方向z正交的方向进行观察时的剖面中、即在本实施方式的于第二方向y上进行横剖的剖面中，所述凹部32的宽度在开口部分处成为最宽的形状。在此，凹部32的剖面的宽度在开口部分处成最宽的形状是指，在剖面中，第一面31上的开口的宽度被设置为，从第二面41朝向第一面31、即朝向第三方向z的z1而相同或递减。换言之，凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状是指，凹部32的横截面的宽度从z2朝向z1不递增的形状。也就是说，所谓凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，包括凹部32的横截面的宽度沿第三方向z而为相同宽度的部分、和从z2朝向z1宽度逐渐减小从而变窄的部分。作为这样的凹部32的横截面的形状，能够列举出例如大致半圆形状、大致半椭圆形状、大致梯形形状、大致三角形形状、大致四边形形状。显然，凹部32只要为在横截面上第一面31的开口部分的宽度是最宽的形状即可，其形状并未被限定于上文所述的形状。在本实施方式中，形成了横截面小于180度的圆弧状的凹部32。以此方式，通过设为凹部32的横截面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，从而能够将作为凹部32的内表面的第一壁33与第一面31之间的角度设为270度以下。由此，能够通过成型从而容易且廉价地制造具有凹部32的第一部件30。此外，通过设为凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，从而能够很容易地将凹部32的第一壁33与第二面41假想相接的角度设为90度以下。此外，通过设为凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，从而能够将第一壁33与第二面41假想相接的角度设为90度以下、更优选为能够将其设为锐角，从而能够使凹部32的从第一面31起的第三方向z上的深度较浅，进而能够使第二流道202内流动的油墨的流速加快。由此，能够提高油墨中所包含的气泡等的异物的排出性。顺便说明一下，如果凹部32过深，则第二流道202的横截面的面积将增大，并会产生油墨流发生淤塞的部分，从而有可能使气泡等异物的排出性下降。此外，在本实施方式中，由于凹部32具有横截面小于180度的圆弧状，因此在第三方向z上于z1侧设置有顶点部分。由此，在将第三方向z的z1配置为在铅直方向上朝上时，气泡将通过浮力而被聚集在凹部32的顶端部分处，从而能够易于排出气泡。
在这样的第一部件30上，设置有跨及第一面31的凹部32的开口的周围而连续的导能体34。导能体34以从第一面31向第二部件40侧突出的方式而被设置。在本实施方式中，导能体34以从第一部件30连续的方式被一体设置。这样的导能体34用于通过在使顶端面与第二部件40抵接的状态下进行熔融从而与第二部件40的一部分熔合进而使第一部件30与第二部件40进行熔敷。而且，导能体34通过熔融而流出至在从第三方向z俯视观察时与凹部32相比靠内侧处，从而形成第三部件50。这样的导能体34具有与作为凹部32的内表面的第一壁33处于同一面的壁面34a。由此，能够可靠地使导能体34的一部分熔融而流出到与凹部32相比靠内侧处。另外，在本实施方式中，导能体34的壁面34a以相对于第一面31而沿着法线方向、即第三方向z的方式被设置。因此，壁面34a与第二面41相交的部分的角度成为90度。显然，壁面34a也可以由以开口侧相对于第二面41而扩宽的方式倾斜的倾斜面形成。此外，壁面34a也可以由曲面、尤其是凹曲面而形成。顺便说明一下，虽然也可以将导能体34的壁面34a设置为向与凹部32相比靠内侧处突出，但这样将无法通过成型来制造出一体地具有导能体34的第一部件30。即，通过将导能体34的壁面34a设置在与凹部32的第一面31侧的开口边缘部相同的位置处、或是使导能体34的壁面34a以开口与上述位置相比向外侧扩宽的方式倾斜，从而能够通过成形而廉价且高精度地制造出第一部件30。此外，通过将导能体34的壁面34a设置在与凹部32的第一面31侧的开口边缘部相同的位置处、或是使导能体34的壁面34a以开口与上述位置相比向外侧扩宽的方式倾斜，从而能够以90度以下的角度来对第二面41与壁面34a进行配置。由此，能够通过毛细管力而很容易地使熔融的导能体34遍布于导能体34的壁面34a与第二面41的角部处。
第二部件40在第一部件30侧具有第二面41。在本实施方式中，第二部件40具有向第一部件30侧、即z1侧突出的凸部42，并且凸部42的顶端面成为第二面41。即，第二面41通过凸部42而被规定。另外，凸部42通过被设置在其外侧的凹部即高低差部43而被规定。在本实施方式中，被设置在这样的凸部42的顶端处的第二面41成为以包含第一方向x以及第二方向y在内的方向为面内方向的平坦面。通过将凸部42的顶端面设为第二面41，从而与以跨及第二部件40的z1侧的整个面的方式而设置第二面41的情况相比，能够高精度地形成所述第二面41。尤其是，在利用成型来制造第二部件40的情况下，通过将第二面41仅设置在凸部42的顶端面上，从而能够提高第二面41的面精度。因此，能够抑制通过利用第二面41来覆盖凹部32而形成的第二流道202的形状的偏差或截面面积的偏差。以此方式，第二流道202是通过利用第二部件40的第二面41来覆盖第一部件30的凹部32从而被形成的。因此，对本实施方式的第二流道202进行规定的第二部件40的第二壁是指，第二面41(以下，还称为第二壁41)。
另外，虽然详细内容将在后文中叙述，但优选为，在第二流道202的横截面、即沿着第二方向y的剖面中，第二面41的宽度w1宽于导能体34的顶端面的宽度w2。即，优选为，第二面41的第二方向y的宽度w1宽于包括凹部32与设置于该凹部32的两侧的导能体34在内的宽度w2。由此，能够抑制由位置偏移造成的熔敷不良，并且能够抑制由位置偏移造成的熔敷区域的减少，从而能够使第一部件30与第二部件40牢固地固定。
虽然关于这样的第一部件30与第二部件40的详细内容将在后文叙述，但它们是在使第一部件30的导能体34的顶端面与第二部件40的第二面41抵接的状态下，通过使导能体34的一部分熔融从而被熔敷的。而且，通过使导能体34的一部分与第二部件40的一部分熔合并使其流出到凹部32的内侧而固化，从而形成了第三部件50。即，第三部件50为，包含第一部件30与第二部件40这两种材料的部件。具体而言，第三部件50是通过使与第二面41抵接的导能体34熔融并固化从而被形成的部件，并且主要是熔融的导能体34的一部分与在导能体34熔融时同时熔融的第二部件40的一部分混杂在一起从而形成的。即，第三部件50成为相对于任意波长的透过率、在本实施方式中为相对于进行熔融的激光的波长的透过率高于第一部件30且低于第二部件40的材料。也就是说，第二流道202通过如下部件而被规定，即，相对于任意波长的透过率为第一值的第一部件30的第一壁33、透过率高于第一值的第二部件40的第二壁41、和由透过率为第一值与第二值之间的第三值的第三部件50所形成的第三壁51。而且，通过以使导能体34与第二面41抵接的状态而使导能体34熔融，从而能够在导能体34与第二面41于第三方向z上相对置的区域内形成第三部件50。此外，熔融的导能体34的一部分在凹部32的内侧处流出到凹部32的第一壁33与第二壁41的边界部分上并固化。即，第三部件50在从作为第一部件30与第二部件40的层叠方向的第三方向z俯视观察时，被设置于与凹部32相比靠内侧处。顺便说明一下，由于是通过使导能体34的一部分熔融并固化从而形成第三部件50的，因此导能体34成为导能体34的基端部侧局部残留的形状。显然，也可以使导能体34完全熔融而不残留有该部分。在使导能体34完全熔融的情况下，由于凹部32的第一壁33与第二面41直接相接，因此如上文所述那样，通过设为凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，从而能够很容易地将凹部32的第一壁33与第二部件40的第二面41相接的角度设为90度以下。以此方式，通过将凹部32的第一壁33与第二面41相接的角度设为90度以下、更优选为设为小于90度的锐角，从而能够使沿着凹部32的第一壁33与第二面41相接而成的角部而熔融的导能体34通过毛细管力而遍布，从而形成第三部件50。另外，在本实施方式中，通过将凹部32形成为小于180度的圆弧状，从而易于将凹部32的第一壁33与第二面41相接的角度设为锐角。
以此方式而被形成于凹部32的内侧的第三部件50，在作为凹部32的内表面的第一壁33与第二壁41的边界部分处以跨及第一壁33与第二壁41的方式被设置。另外，第一壁33与第二壁41的边界部分是指，第一壁33与第二壁41直接或间接地连续的部分。在本实施方式中，由于第一壁33与第二壁41经由导能体34的壁面34a而连续，因此并未直接接触而连续。显然，也能够通过使导能体34完全地熔融，从而使第一壁33与第二壁41直接接触而连续。而且，将该第三部件50的第一壁33与第二壁41连接在一起的表面成为第三壁51。
另外，第三部件50的第三壁51以与第一壁33和第二壁41的假想相接的部分的角度θ1相比较大的角度而与第一壁33以及第二壁41相接。也就是说，在本实施方式中，第三壁51与第一壁33相接的角度θ2和第三壁51与第二壁41相接的角度θ3成为大于第一壁33与第二壁41的假想相接的部分的角度θ1的角度。顺便说明一下，对于第一壁33与第二壁41的假想相接的部分的角度θ1而言，在本实施方式中，由于第一壁33与第二壁41并未直接相接，因此该角度θ1为假想将第一壁33与第二壁41延长而相接的部分的角度。显然，在使导能体34完全熔融的情况下，由于第一壁33与第二壁41相接，因此假想相接的部分的角度θ1也包括第一壁33与第二壁41相接的部分的角度。在本实施方式中，由于凹部32的横截面被设置为小于180度的圆弧状，因此第一壁33与第二壁41的假想相接的部分的角度θ1成为锐角。此外，如上文所述，通过将导能体34的壁面34a设置于与凹部32的第一面31侧的开口边缘部相同的位置处、或者使其与上述位置相比向外侧倾斜而设置，从而使导能体34的壁面34a与第二面41相接的部分的角度成为90度以下。而且，在本实施方式中，第三壁51是由将第一壁33与第二壁41连接在一起的凹曲面所形成的。在此，第三壁51成为凹曲面是指，在与第三部件50相比靠第二流道202侧处具有曲率中心的形状。显然，第三壁51也可以为平坦面。另外，由于本实施方式的第三部件50在使导能体34熔融并固化时会产生由树脂的固化所导致的收缩，因此作为其表面的第三壁51易于成为凹曲面。如此，优选为，第三壁51成为平坦面或凹曲面。由此，与以凸曲面来形成第三壁51的情况相比，第三壁51能够以大于第一壁33和第二壁41的假想相接的部分的角度θ1的角度θ2、θ3而分别与第一壁33以及第二壁41相接。而且，能够通过这样的第一部件30的第一壁33、第二部件40的第二壁41以及第三部件50的第三壁51来规定第二流道202。
另外，在本实施方式中，优选为，将在第三方向z上的第一面31的第一部件30的厚度设为厚于第二面41的第二部件40的厚度。由此，能够提高在通过透过第二部件40的激光而使导能体34熔融时的能量效率。此外，优选为，在于第三方向z上的第一面31的第一部件30的厚度与第二面41的第二部件40的厚度相比而较厚的情况下，相对于第一面31与第二面41的界面，而使第三方向z上的第二流道202的第一部件30侧的深度深于第二流道202的第二部件40侧的深度。也就是说，在上述的实施方式1中，由于在第一部件30上形成凹部32，并在第二部件40上设置有作为平坦面的第二面41，因此所谓第一部件30的第二流道202的深度就是凹部32的深度，而第二部件40的第二流道202的深度则为零(0)。以此方式，通过将第二流道202在与第二部件40相比而较厚的第一部件30上形成地较深，从而能够有效地使用第一部件30以及第二部件40。
在此，为了进行比较，而参照附图5来对采用了在从第三方向z进行俯视观察时第三部件50处于与凹部32的第一面31侧的开口相比靠外侧的结构进行说明。另外，图5为作为比较的流道部件的主要部分剖视图。
如图5所示，作为比较的被设置在流道部件320的第一部件330上的导能体334，在第一面331上被设置于与凹部332的开口相比向外侧分离的位置处。而且，通过使导能体334在与第二部件340的第二面341抵接的状态下熔融，从而使导能体334的熔融了的一部分填充到由第一面331、导能体334的壁面334a和第二面341所形成的空间内并固化。由此，由熔融的导能体334所形成的第三部件350的第三壁351以不与第一壁333相接而与第一面331相接的方式被设置。在这样的结构中，并不能够说在从第三方向z进行俯视观察时第三部件350被设置在与凹部332相比靠内侧处。也就是说，在本申请发明中，由设置有第三部件350的导能体334的壁面334a、第一面331和第二面341所形成的空间并未被包括在凹部332中。此外，并不能够说第三壁351与作为凹部332的内表面的第一壁333相接。也就是说，如上文所述的实施方式1那样，第三壁51与第一壁33以及第二壁41相接是指，直接相接。而且，在这种图5所示的结构中，在第二流道202的壁面上形成有凹部300，所述凹部300由第一壁333、第一面331、第二壁341和第三壁351形成。而且，由于在该凹部300中油墨流会发生淤塞，因此气泡会滞留在凹部300中，并且由于所滞留的气泡会成长并在无法预期的定时下流入到头主体10中，从而产生油墨的喷出不良。此外，在于头主体10与流道部件320之间设置有用于对油墨中所含有的气泡或异物进行去除的过滤器的情况下，由于成长了的气泡会覆盖过滤器，从而使过滤器的有效面积减少、压力损失增大、或超过弯液面耐压，进而产生从喷嘴开口121侵吞气泡等的不良情况。
相对于此，在本实施方式中，第三部件50在从第三方向z进行俯视观察时被设置在与凹部32相比靠内侧处。此外，第三壁51以大于第一壁33和第二壁41的假想相接的部分的角度θ1的角度θ2、θ3而分别与第一壁33以及第二壁41相接。因此，能够抑制在第二流道202的壁面上形成凹部300的情况。也就是说，通过使熔融的导能体34流出到凹部32的内侧，从而利用熔融的导能体34来减少第二流道202(凹部32)的油墨流发生淤塞的部分。因此，能够抑制由凹部300造成的油墨的喷出不良、压力损失的增大、从喷嘴开口121侵吞气泡等的不良情况。
此外，在本实施方式中，能够将导能体34的第二方向y的宽度形成为与图5所示的导能体334相比而为宽幅。即，由于在以与图4所示的导能体34相同的宽度来形成图5所示的导能体334的情况下，必须在离开凹部332的位置处形成导能体334，因此流道部件20会被大型化。因此，需要使导能体334的宽度与导能体34相比而缩窄。以此方式缩窄导能体334的宽度，则第一部件330与第二部件340的熔敷强度将下降。即，在本实施方式中，能够在不使流道部件20大型化的条件下将导能体34的宽度形成为与导能体334相比为宽幅，并能够使第一部件30与第二部件40的熔敷面积增大，从而将双方牢固地固定。另外，在本实施方式中，熔融的导能体34在与凹部32相反一侧处也同样地流出至导能体34的外侧处并固化。即，对第一部件30与第二部件40进行熔敷的第三部件50，从导能体34与第二面41相对置的部分起延伸设置至凹部32的内侧以及外侧。因此，能够使第一部件30与第二部件40之间的熔敷面积增大，从而将双方牢固地固定。
此外，在本实施方式中，在第二流道202的两端部处分别与第三流道203连通。在此，参照图6来对第二流道202的端部进行说明。另外，图6为放大了图3的主要部分的图。
如图6所示，在第三方向z上，第一部件30的凹部32的高度以朝向作为油墨的流动的方向的第一方向x的端部而递减的方式被设置。
此外，第二部件40的第三流道203在沿着第一方向x的剖面上具有以开口朝向第一壁33而展宽的方式倾斜的锥面44。而且，通过熔融的导能体34而在凹部32的第一壁33与第二部件40的锥面44的边界处以跨及第一壁33与锥面44的方式而形成有第三部件50。即，第三部件50的第三壁51以使第一壁33与锥面44连续的方式而被设置。这样的第三壁51以成为凹曲面的方式而被形成。以此方式，通过在第三流道203上形成锥面44，并在由锥面44与第一壁33所形成的角部上设置第三部件50，从而能够在第二流道202与第三流道203的油墨流发生变化的部分处，对油墨发生淤塞的部分进行抑制。
在这样的流道部件20中，通过使用第二部件40相对于任意的波长、例如相对于可见光的波长的透过率高于相同波长的第一部件30的透过率的材料，从而能够通过目视而从第二部件40中对熔敷部分、即第三部件50进行确认。此外，由于利用熔敷而形成的第三部件50的透过率高于第一部件30且低于第二部件40，因此很容易经由第二部件40而通过目视来对第三部件50进行目视确认。因此，能够很容易地对流道部件20的熔敷状态进行确认，从而能够设置抑制了油墨从熔敷面漏出或熔敷强度的下降等的可靠性较高的流道部件20。
在此，参照图7～图9来对这样的流道部件的制造方法进行说明。另外，图7以及图8为表示流道部件的制造方法的主要部分剖视图，图9为从流道部件的第二部件侧进行观察时的仰视图。
如图7所示，使第一部件30的导能体34与第二部件40的第二面41抵接。
在此，在第一部件30上设置有向作为z2侧的面的第一面31开口的凹部32。优选为，凹部32为如下形状，即，在从与作为第一部件30与第二部件40的层叠方向的第三方向z正交的方向观察时的剖面中，即在本实施方式的沿着第二方向y的横截面中，所述凹部32的宽度在开口部分处成为最宽的形状。在此，凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状是指，在剖面中，第一面31的开口的宽度被设置为，从第二面41朝向第一面31、即朝向第三方向z的z1而相同或递减。换言之，凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状是指，凹部32的横截面的宽度从z2朝向z1不递增的形状。也就是说，所谓凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，包括凹部32的横截面的宽度沿第三方向z而为相同宽度的部分、和从z2朝向z1宽度逐渐减小从而变窄的部分。作为这样的凹部32的横截面的形状，能够列举出例如大致半圆形状、大致半椭圆形状、大致梯形形状、大致三角形形状、大致四边形形状。显然，凹部32只要为在横截面上第一面31的开口部分的宽度是最宽的形状即可，其形状并未被限定于上文所述的形状。在本实施方式中，形成了横截面小于180度的圆弧状的凹部32。以此方式，通过设为凹部32的横截面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，从而能够将作为凹部32的内表面的第一壁33与第一面31之间的角度设为270度以下。由此，能够通过成型从而容易且廉价地制造具有凹部32的第一部件30。
此外，在第一部件30上，设置有跨及第一面31的凹部32的开口的周围而连续的导能体34。导能体34以从第一面31朝向z2侧突出的方式而被设置。本实施方式的导能体34以从第一部件30连续的方式被一体设置。此外，导能体34具有与凹部32的第一面31处于同一面的壁面34a。另外，在本实施方式中，导能体34的壁面34a相对于第一面31而沿着法线方向、即第三方向z而被设置。因此，壁面34a与第二面41之间的角度成为90度。显然，壁面34a也可以由以开口侧相对于第二面41而扩宽的方式倾斜的倾斜面形成。此外，壁面34a也可以由曲面、尤其是凹曲面而形成。顺便说明一下，虽然也可以将导能体34的壁面34a设置为向与凹部32相比靠内侧处突出，但这样将无法通过成型而容易且廉价地制造出一体地具有导能体34的第一部件30。即，通过将导能体34的壁面34a设置在与凹部32的第一面31侧的开口边缘部相同的位置处、或是使该导能体34的壁面34a以开口与上述位置相比向外侧扩宽的方式而倾斜，从而能够通过成型而容易且廉价地制造出第一部件30。此外，通过将导能体34的壁面34a设置在与凹部32的第一面31侧的开口边缘部相同的位置处、或是使该导能体34的壁面34a以开口与上述位置相比向外侧扩宽的方式而倾斜，从而能够在使导能体34与第二面41抵接时，以90度以下的角度来配置壁面34a与第二面41。由此，在之后的工序中，能够通过毛细管力而很容易地使熔融的导能体34遍布于壁面34a与第二面41之间的角部处。
第二部件40具有如上述那样与导能体34抵接的第二面41。本实施方式的第二面被设置在向第一部件30侧突出的凸部42的顶端面上。在本实施方式中，被设置于这样的凸部42的顶端上的第二面41成为以包括第一方向x以及第二方向y在内的方向为面内方向的平坦面。通过将凸部42的顶端面设为第二面41，从而与以跨及第二部件40的z1侧的整个面的方式来设置第二面41的情况相比，能够高精度地形成。尤其是，在通过成型来制造第二部件40的情况下，通过将第二面41仅设置在凸部42的顶端面上，从而能够提高第二面41的面精度。因此，能够抑制因通过第二面41来覆盖凹部32而形成的第二流道202的形状的偏差或截面面积的偏差。
此外，如图4所示，优选为，在第二流道202的横截面中，即，在沿着第二方向y的剖面中，第二面41的宽度w1与导能体34的顶端面的宽度w2相比而较宽。即，优选为，第二面41的第二方向y的宽度w1宽于包括凹部32和设置于该凹部32的两侧的导能体34在内的宽度w2。这是因为，例如如图10所示，如果将第二面41的宽度w1′设置为与包括凹部32和设置于凹部32的两侧的导能体34在内的宽度w2相比而较窄，则导能体34与第二面41的定位将变得困难，并因位置偏移而无法可靠地对导能体34与第二面41进行熔敷。也就是说，由于位置偏移而使导能体34与第二面41之间的熔敷面积产生偏差，从而使熔敷强度产生偏差。在本实施方式中，通过将第二面41的宽度w1设为与导能体34的顶端面的宽度w2相比而较宽，从而能够很容易地实施导能体34与第二面41的定位，并且即使导能体34相对于第二面41而在作为其宽度方向的第二方向y上发生了位置偏移，也能够在后续的工序中始终以固定的面积而可靠地对导能体34与第二面41进行熔敷，从而能够抑制熔敷强度产生偏差的情况。因此，能够抑制由油墨从熔敷部分漏出或熔敷强度不足所造成的破坏等。
此外，构成这样的流道部件20的第一部件30以及第二部件40例如由聚丙烯等树脂材料形成。在本实施方式中，优选为，使第二部件40相对于任意波长的透过率大于第一部件30相对于相同波长的透过率。以此方式，通过使第二部件40相对于任意波长的透过率与第一部件30相比而较大，从而能够在后续的工序中，经由第二部件40而以非破坏的方式对第一部件30与第二部件40之间的熔敷部分、即熔融的导能体34的流出位置进行确认，从而能够提高可靠性。即，所谓任意波长，在于检查工序中以目视来对熔敷部分进行确认的情况下为可见光的波长。显然，任意波长并不限定于可见光的波长，例如，在通过红外线照相机来实施检查工序的情况下，所谓任意波长成为红外线的波长。顺便说明一下，也可以将第一部件30与第二部件40双方设为使用相对于任意波长而言透过率较高的材料。如果采用这种方式，则能够从第三方向z的两侧来对熔敷部分进行确认，从而能够可靠地实施检查工序。但是，在第一部件30与第二部件40双方使用了相对于任意波长而言透过率较高的材料的情况下，由于激光会透过第一部件30与第二部件40双方，因此无法有效地实施由激光实现的熔敷。因此，在第一部件30与第二部件40双方使用了相对于任意波长而言透过率较高的材料的情况下，例如只要通过超声波熔敷等来对第一部件30与第二部件40进行熔敷即可。此外，在通过超声波熔敷来对第一部件30与第二部件40进行熔敷的情况下，在不实施检查工序的情况下，也可以将第一部件30与第二部件40设为均使用相对于任意波长的透过率较高的材料。
另外，在于后续的工序中通过激光照射而使导能体34熔融从而对第一部件30与第二部件40进行熔敷的情况下，所谓对透过率进行规定的任意波长成为激光的波长。即，如果使第二部件40相对于激光的透过率高于第一部件30相对于激光的透过率，则使激光从第二部件40侧进行照射，并使透过第二部件40的激光照射到第一部件30的导能体34上，从而能够有效地使导能体34熔融。另外，优选为，在使用了相对于激光的透过率为第二部件40高于第一部件30的材料的情况下，在第三方向z上第一面31的第一部件30的厚度与第二面41的第二部件40的厚度相比而较厚。由此，能够提高通过透过第二部件40的激光而使导能体34熔融时的能量效率。此外，优选为，在于第三方向z上第一面31的第一部件30的厚度厚于第二面41的第二部件40的厚度的情况下，相对于第一面31与第二面41之间的界面，第三方向z上的第二流道202的第一部件30侧的深度与第二流道202的第二部件40侧的深度相比而较深。也就是说，在上述的本实施方式中，由于在第一部件30上形成有凹部32，在第二部件40上设置有作为平坦面的第二面41，因此第一部件30的第二流道202的深度相当于凹部32的深度，而第二部件40的第二流道202的深度则成为零(0)。以此方式，通过将第二流道202在与第二部件40相比而较厚的第一部件30上形成地较深，从而能够有效地使用第一部件30以及第二部件40。
在本实施方式中，使用了第二部件40相对于在后续的工序中使用的激光的透过率大于第一部件30的透过率的材料。顺便说明一下，在后续的工序中所使用的激光的波长被包含在可见光的波长的范围内。因此，即使在后续的检查工序中，本实施方式的流道部件20也能够从第二部件40侧以目视的方式来对熔敷部分进行检查。
接下来，如图8所示，使第一部件30的导能体34熔融，并且使熔融的导能体34的一部分流出至从作为第一部件30以及第二部件40的层叠方向的第三方向俯视观察时与凹部32相比靠内侧处。在本实施方式中，通过从第二部件40侧照射激光400并使透过第二部件40的激光400照射到与第二面41相对置的导能体34的顶端面上，从而在导能体34与第二面41相对置的区域中使导能体34的顶端部侧的一部分熔融。此时，通过预先对第一部件30与第二部件40施加压力而使其抵接，从而使熔融的导能体34从导能体34与第二面41之间流出到凹部32内。此外，在本实施方式中，由于导能体34具有与作为凹部32的内表面的第一壁33处于同一面的壁面34a，因此能够通过使导能体34的一部分熔融，从而使其一部分可靠地流出至与凹部32相比靠内侧处。此外，熔融的导能体34也会向导能体34的与凹部32相反一侧的外侧流出。而且，在本实施方式中，由于导能体34的壁面34a与第二面41之间的角度在本实施方式中为90度以下，因此能够使流出到凹部32内的熔融的导能体34通过毛细管力而遍布于该角部处。此外，在本实施方式中，凹部32内的被熔融的导能体34以跨越第一壁33与第二壁41的方式而流出到第一壁33与第二面41的边界部分处。也就是说，虽然如果被熔融的导能体34的量较少其仅会流出到导能体34的壁面34a与第二面41之间的角部处，但在本实施方式中，通过对流出量进行调节，从而可使其以跨越第一壁33与第二壁41的方式流出。另外，被熔融的导能体34的流出量例如能够通过将导能体34按压于第二面41上的压力或使导能体34熔融的量即激光400的输出等而进行调节。顺便说明一下，第一壁33与第二壁41的边界部分是指，第一壁33与第二壁41的直接或间接地连续的部分。在本实施方式中，由于并未使导能体34完全熔融，而是仅使其顶端侧的一部分熔融，因此第一壁33与第二壁41经由导能体34的壁面34a而连续。因此，第一壁33与第二壁41并未以直接相接的状态而连续。显然，在使导能体34完全熔融的情况下，也能够使第一壁33与第二壁41以直接相接的状态而连续。
顺便说明一下，当使导能体34熔融时，由于该热量，第二部件40的一部分也会同时发生熔融。即，通过使导能体34熔融并在后续的工序中固化从而形成的第三部件50主要包含形成导能体34的材料与形成第二部件40的材料。在本实施方式中，由于第一部件30相对于激光400的透过率较低，而第二部件40相对于激光400的透过率高于第一部件30，因此使导能体34熔融并在后续的工序中固化从而形成的第三部件50，其相对于激光400的透过率高于第一部件30且低于第二部件40。
另外，虽然在本实施方式中，仅使导能体34的与第二部件40抵接的顶端部熔融而使其基端部侧残留下来，但并未被特别限定于此，也可以使导能体34完全熔融。以此方式，在使导能体34完全熔融的情况下，通过设为凹部32的剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，从而能够将作为凹部32的内表面的第一壁33与第二部件40的第二面41相接的角度设为90度以下。以此方式，通过将凹部32的内表面与第二面41相接的角度设为90度以下、特别是将其设为小于90度的锐角，从而能够很容易地使熔融的导能体34通过毛细管力而遍布于凹部32的第一壁33与第二面41之间的角部处。此外，通过将凹部32的内表面与第二面41相接的角度设为90度以下，从而能够通过成型而容易且廉价地制造出具有凹部32的第一部件30。在本实施方式中，通过将凹部32形成为小于180度的圆弧状，从而能够将凹部32的第一壁33与第二面41相接的角度设为锐角。
之后，通过在第二面41覆盖了凹部32的状态下使熔融的导能体34固化，从而如图4所示那样对第一部件30与第二部件40进行固定、即进行熔敷。此外，通过使熔融的导能体34固化从而形成第三部件50。另外，对于熔融的导能体34的固化而言，可以采用在常温(室温)下放置的方式，也可以通过冷却至低于室温的低温从而使其固化。
如上文所述，使熔融的导能体34固化而形成的第三部件50以跨越第一壁33与第二壁41的方式而被设置于作为凹部32的内表面的第一壁33与第二面41(第二壁41)之间的边界部分上。将该第三部件50的第一壁33与第二壁41连接在一起的表面成为第三壁51。
另外，第三部件50的第三壁51以与第一壁33和第二壁41的假想相接的部分的角度θ1相比而较大的角度与第一壁33以及第二壁41相接。即，在本实施方式中，第三壁51与第一壁33相接的角度θ2和第三壁51与第二壁41相接的角度θ3成为大于第一壁33和第二壁41的假想相接的部分的角度θ1的角度。顺便说明一下，所谓第一壁33与第二壁41的假想相接的部分的角度θ1，在本实施方式中，由于第一壁33与第二壁41并未直接相接，因此该角度θ1是指，假想将第一壁33与第二壁41延长而相接的部分的角度。显然，在使导能体34完全熔融的情况下，由于第一壁33与第二壁41相接，因此假想相接的部分的角度θ1也包括第一壁33与第二壁41相接的部分的角度。在本实施方式中，由于凹部32的横截面被设置为小于180度的圆弧状，因此第一壁33与第二壁41的假想相接的部分的角度θ1成为锐角。此外，通过将导能体34的壁面34a设置在与凹部32的第一面31侧的开口边缘部相同的位置处，或是将该导能体34的壁面34a以与上述位置相比向外侧倾斜的方式而设置，从而使导能体34的壁面34a与第二面41相接的部分的角度成为90度以下。而且，在本实施方式中，第三壁51由连接第一壁33与第二壁41的凹曲面形成。在此，第三壁51成为凹曲面是指，在与第三部件50相比靠第二流道202侧处具有曲率中心的形状。显然，第三壁51也可以为平坦面。另外，由于本实施方式的第三部件50在使导能体34熔融并固化时会发生由树脂的固化所导致的收缩，因此作为其表面的第三壁51易于成为凹曲面。如此，优选为，第三壁51成为平坦面或凹曲面。由此，与以凸曲面来形成第三壁51的情况相比，第三壁51能够以大于第一壁33和第二壁41的假想相接的部分的角度θ1的角度θ2、θ3而分别与第一壁33以及第二壁41相接。而且，通过以此方式形成的第一部件30的第一壁33、第二部件40的第二壁41以及第三部件50的第三壁51而形成了具有第二流道202的流道部件20。
以此方式，能够通过仅使第一部件30与第二部件40熔敷并使熔融的导能体34流出到凹部32内而固化从而形成第三部件50，由此能够很容易地减少第二流道202的油墨流发生淤塞的部分。因此，能够简化制造工序。而且，能够通过减少第二流道202的油墨流发生淤塞的部分，从而抑制油墨发生淤塞的部分的气泡的滞留，进而提高气泡排出性。
之后，实施对第一部件30与第二部件40之间的熔敷部分进行检查的检查工序。在本实施方式中，由于第二部件40相对于可见光的波长的透过率高于第一部件30相对于相同波长的透过率，因此如图9所示那样，能够通过从z2侧的第二部件40起透过第二部件40来对流道部件20进行观察，从而能够通过目视或者照相机等以非破坏的方式来对熔敷部分、即第三部件50进行确认。尤其是，能够对如下情况进行抑制，即，由于第二壁41与第一壁33相比宽度较窄，因此将与第二壁41相接的第三壁51误认为是第一壁33的情况。即，由于第三部件50占据了与第二壁41窄于第一壁33的量对应的范围，因此易于从第二部件40侧对第三部件50进行确认。此外，由于通过熔敷而形成的第三部件50的透过率高于第一部件30且低于第二部件40，因此易于经由第二部件40而对第三部件50进行确认。因此，能够以非破坏的方式来对第三部件50的向凹部32内流出的流出量、或向凹部32的外侧流出的流出量进行确认，从而能够很容易地实施不合格品的判断，并且能够提高流道部件20的可靠性。
实施方式2
图11以及图12为表示本发明的实施方式2所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。另外，对于与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
在本实施方式的流道部件20的制造方法中，首先，如图11所示，使第一部件30的导能体34a与第二部件40的第二面41抵接。
在此，将被熔融前的导能体34a以跨及凹部32的开口的周围的方式而连续设置。这样的导能体34a以从第一面31朝向z2侧突出的方式被设置。此外，导能体34a具有第二方向y的宽度从第一面31起朝向第二面41而递减的形状。
在本实施方式中，导能体34a具有与作为凹部32的内表面的第一壁33处于同一面的壁面34a。该壁面34a沿着第三方向z、即相对于第一面31而沿着法线方向而被设置。因此，导能体34a成为与壁面34a相反一侧发生了倾斜的倾斜面。以此方式，通过使导能体34a的宽度趋向于第二部件40侧而递减，从而能够使导能体34a的顶端面与第二面41抵接时的载荷易于集中，从而能够可靠地使导能体34a与第二面41接触。
然后，如图12所示，通过使导能体34a的顶端面熔融，从而对第一部件30与第二部件40进行熔敷，并且使导能体34a的被熔融的一部分流出到凹部32内。
之后，通过使被熔融的导能体34a固化，从而对第一部件30与第二部件40进行固定。在本实施方式中，由于通过使导能体34a的宽度趋向于第二部件40侧而递减而使导能体34a的顶端面与第二面41进行抵接时的载荷易于集中，从而能够可靠地使导能体34a与第二面41接触，因此能够通过被熔融的导能体34a而可靠地对第一部件30与第二部件40进行固定。
另外，虽然在本实施方式中，如图12所示那样，对于被熔融后残留的导能体34a而言，也形成了其宽度趋向于第二部件40而递减的部分，但并未被特别限定于此，例如，也可以在对第一部件30与第二部件40进行熔敷时，通过使导能体34a的宽度趋向于第二部件40而递减的部分熔融，从而使其消失。
实施方式3
图13为本发明的实施方式3所涉及的流道部件的主要部分剖视图。另外，对于与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
如图13所示，在本实施方式中，使熔融的导能体34流出到高低差部43内，并且在高低差部43内也对第二部件40与第一部件30进行熔敷。以此方式，通过在高低差部43内也对第一部件30与第二部件40进行熔敷，从而使第一部件30与第二部件40之间的熔敷面积增大，进而能够将双方牢固地固定。此外，第三部件50从第二面41起连续地设置于高低差部43内。因此，第三部件50也被设置在凸部42与高低差部43之间的高低差面上。因此，也能够通过锚定效果来提高第一部件30与第二部件40之间的固定强度。
实施方式4
图14以及图15为表示本发明的实施方式4所涉及的流道部件的制造方法的剖视图。另外，对于与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
在本实施方式的流道部件20的制造方法中，首先，如图14所示，使第一部件30的导能体34b与第二部件40的第二面41抵接。
本实施方式的导能体34b在与作为凹部32的内表面的第一壁33相比靠外侧处具有壁面34b。该壁面34b沿着第三方向z、即相对于第一面31而沿着法线方向而被设置。即，在第一部件30与第二部件40之间，通过第一面31、第二面41和导能体34b的壁面34b而形成有空间。
接下来，如图15所示，使导能体34b熔融，从而使之流出到凹部32内。此时，被熔融的导能体34b将填补由第一面31、第二面41和导能体34b的壁面34b所形成的空间，并进一步流出至凹部32的内侧。
之后，通过使被熔融的导能体34b固化，从而对第一部件30与第二部件40进行固定。此外，由此能够形成与上述的实施方式1相同的具有第三壁51的第三部件50。
即，像导能体34b那样，即使在壁面34b与凹部32的第一壁33未处于同一面的情况下，也能够通过使熔融的导能体34b流出到凹部32的内侧，从而抑制形成有图5所示的凹部300的情况。
实施方式5
图16为本发明的实施方式5所涉及的流道部件的主要部分剖视图。另外，对于与上述的实施方式相同的部件标注相同的符号并省略重复的说明。
如图16所示，在构成本实施方式的流道部件20的第二部件40的第二面41上，设置有第二部件侧凹部45。该第二部件侧凹部45与第一部件30的凹部32相同，优选为，设为剖面的宽度在开口部分处成为最宽的形状，特别优选为，剖面的宽度从z1侧趋向于z2侧而递减的形状。由此，能够将第二流道202的横截面设为近似于圆形的形状，从而能够减少流过第二流道202的油墨发生淤塞的部分。
此外，优选为，在第二流道202的横截面中，第二部件侧凹部45的第一部件30侧的开口由与第一部件30的凹部32的第二部件40侧的开口相比而较窄的宽度而形成。由此，即使第一部件30与第二部件40在第二流道202的横截面的宽度方向上发生了位置偏移，也能够抑制第二部件侧凹部45被导能体34覆盖的情况，从而能够使第二流道202的形状稳定。
如此，通过使第二部件侧凹部45的开口宽度窄于第一部件30的凹部32的宽度，从而能够在凹部32的第一壁33或导能体34的壁面34a与第二面41相接的部分处形成角部。因此，通过以与上述的实施方式1相同的方式在该角部上设置具有第三壁51的第三部件50，从而能够使第二流道202通过第一壁33、第二壁41以及第三壁51而更加近似于圆形，从而能够提高气泡排出性。
其他实施方式
虽然在上文中对本发明的各个实施方式进行了说明，但本发明的基本结构并不限定于上述的结构。
例如，虽然在上述的各个实施方式中，将熔融的导能体34、34a、34b设置在第一壁33与第二壁41之间的边界部分上，但并未特别限定于此，例如，如图17所示，也可以使所述熔融的导能体流出至第一壁33与第二壁41之间的边界以外的成为锐角的部分处并固化。即，如图17所示，也可以在于第一部件30的凹部32的顶端部分处形成有成为锐角的角部的情况下，使被熔融的导能体34、34a、34b流出到该顶点部分处，从而形成第三部件50a。即，使被熔融的导能体34所流向的部分，只要为在从与层叠方向正交的方向观察时剖面成为锐角的部分即可，其部位并未被特别限定。
此外，虽然在上述的各个实施方式中例示了在流道部件20中设置一个第二流道202的结构，但并未被特别限定于此，也可以在一个流道部件20中形成有两个以上的第二流道202。在此，将这样的示例图示于图18中。如图18所示，在流道部件20中，在第二方向y上并排设置有两个第二流道202。而且，在第二部件40上，设置有两个具有第二面41的凸部42。在该两个凸部42之间，设置有共同的高低差部43。即，在第二方向y上互相邻接的凸部42通过作为共同的凹部的高低差部43而被规定。由此，由于能够通过一个高低差部43而共同规定两个第二面41，因此易于制造第二部件40。另外，以此方式被设置于一个流道部件20中的多个第二流道202也可以为，一个第二流道202在中途处分岔为多个流道的流道。
另外，虽然在上述的各个实施方式中，例示了导能体34、34a、34b被一体地设置于第一部件30上的情况，但并未被特别限定于此，例如，也可以在第二部件40上一体地形成导能体34、34a、34b，还可以采用与第一部件30和第二部件40分体的导能体34、34a、34b。在将导能体34、34a、34b设为与第一部件30以及第二部件40分体的情况下，也可以使导能体34、34a、34b与第一面31通过导能体34、34a、34b而被熔敷。
此外，虽然在上述的各个实施方式中，将通过以第二面41覆盖凹部32而形成的第二流道202设为沿着第一方向x的流道，但并未被特别限定于此，也可以为沿着第三方向z的流道。还可以通过凹部32和第二面41来形成使油墨在第一部件30与第二部件40的层叠方向上流动的流道。
另外，虽然在上述的各个实施方式中，作为使压力产生室112生成压力变化的压力产生单元而使用了薄膜型的压电致动器11来进行说明，但并未被特别限定于此，例如，能够使用通过粘贴片材等方法而形成的厚膜型的压电致动器、或使压电材料与电极形成材料交替地层叠而并使之在轴向上伸缩的纵向振动型的压电致动器等。此外，作为压力产生单元，而能够使用在压力产生室内配置发热元件并通过利用发热元件的发热所产生的气泡而从喷嘴开口喷出液滴的单元、或在振动板与电极之间生成静电并通过静电力而使振动板变形从而从喷嘴开口喷出液滴的所谓的静电式致动器等。
另外，虽然在上述的各个实施方式中，作为喷墨式记录装置1而例示了记录头2被固定在未图示的壳体上并仅通过对记录薄片s进行输送来实施印刷的、所谓的行式记录装置，但并未被特别限定于此，例如，还可以将本发明应用于，将记录头2搭载于与作为记录薄片s的输送方向的第二方向y交叉的方向、例如第一方向x上移动的滑架上，并在使记录头2于第一方向x上移动的同时实施印刷的、所谓的串行型记录装置中。
另外，本发明是广范地以全部液体喷射头为对象的发明，例如本发明也能够应用于如下喷射头中，即，在打印机等图像记录装置中所使用的各种喷墨式记录头等的记录头、在液晶显示器等的滤色器的制造中所使用的色材喷射头、在有机el显示器、fed(fieldemissiondisplay：场致发光显示器)等的电极形成中所使用的电极材料喷射头、在生物芯片制造中所使用的生体有机物喷射头等。
另外，本发明并未被限定于在液体喷射头中所使用的流道部件，也可以为经由供给管或其他流道部件而与液体喷射头连接的流道部件，并且也能够应用于被搭载在其他装置上的流道部件中。
符号说明
1…喷墨式记录装置(液体喷射装置)；2…喷墨式记录头(液体喷射头)；3…输送机构；4…供给单元；5…控制装置；6…贮留部；7…供给管；8…泵；10…头主体；11…压电致动器；20…流道部件；30…第一部件；31…第一面；32…凹部；33…第一壁；34、34a、34b…导能体；34a、34b…壁面；40…第二部件；41…第二面(第二壁)；42…凸部；43…高低差部；44…锥面；45…第二部件侧凹部；50、50a…第三部件；51…第三壁；100…歧管；110…流道形成基板；112…压力产生室；120…喷嘴板；121…喷嘴开口；130…保护基板；140…可塑性基板；150…振动板；160…第一电极；170…压电体层；180…第二电极；190…引线电极；191…驱动电路；192…连接配线；200…流道；201…第一流道；202…第二流道；203…第三流道；300…凹部；400…激光。