点墨机的制作方法

文档序号:11538733阅读:2163来源:国知局
点墨机的制造方法与工艺

本实用新型涉及一种点墨机。



背景技术:

晶圆是由无数个微小晶片所组成,晶圆制作完成后,需检测若干晶片之中是否有损坏的晶片,检测完后使用点墨机在损坏的晶片上点墨标记以方便辨识,待将若干晶片切割分离后即可将被标记的晶片挑出并淘汰,已知的点墨机具有一驱动装置及一墨桶,驱动装置沿一方向位移以驱动墨桶对晶片进行点墨。然而,驱动装置有时会因故障而无法位移,或是位移距离不够长而无法驱动墨桶进行点墨,如此即会造成部分损坏的晶片没有被点墨标记,无法挑出损坏的晶片,如果没有再次检测晶圆,即会导致损坏且未被点墨标记的晶片被装设至电子设备中,导致电子设备发生故障,存在亟待改善的缺弊。

因此,有必要提供一种新颖且具有进步性的点墨机,以解决上述问题。



技术实现要素:

本实用新型的主要目的在于提供一种点墨机,可检测出点墨机是否确实进行点墨操作,防止损坏的晶片未被点墨标记。

为达成上述目的,本实用新型采用以下技术方案:

一种点墨机,其包括一供墨组件及一感测装置。该供墨组件包括一驱动装置及一供墨装置,该驱动装置可选择性地沿一第一方向移动于一第一位置与一第二位置之间,当该驱动装置移动至该第二位置时,该驱动装置驱使该供墨装置供对一物件进行点墨;该感测装置设于该供墨组件,当该驱动装置移动至该第二位置时,该驱动装置触发该感测装置储存该驱动装置移动至该第二位置的状态一次。

进一步的,

所述供墨装置包括一墨筒、一供墨端及一启动端,该墨筒内供设有墨水,当所述驱动装置抵顶于该启动端时,该启动端动作而将墨水自该供墨端输出以对物件点墨。

所述供墨组件包括一架体,所述驱动装置及感测装置设于该架体,所述驱动装置包括一驱动机构及一位移机构,该驱动机构固设于该架体,该位移机构设于该驱动机构且该驱动机构驱动该位移机构移动于所述第一位置与第二位置之间,该位移机构移动至所述第二位置的过程中抵顶于所述启动端。

所述驱动装置包括一限位件,该限位件连动地设于所述位移机构,当所述位移机构移动至所述第二位置时,该限位件抵顶于所述驱动机构,该限位件可选择性地沿所述第一方向调整该限位件与所述位移机构的相对位置。

所述感测装置包括至少一感应片,至少一感应片设于所述位移机构与驱动机构至少其中之一,当所述位移机构移动至所述第二位置时,至少一感应片接触到所述位移机构与驱动机构的另一个而触发所述感测装置。

所述驱动装置包括一限位件,该限位件连动地设于所述位移机构,当所述位移机构移动至所述第二位置时,该限位件抵顶于所述驱动机构,所述感测装置包括两个所述感应片,两个感应片分别设于该限位件与所述驱动机构,当所述位移机构移动至所述第二位置时,该限位件抵顶于所述驱动机构,两个感应片相接触而触发所述感测装置。

所述感测装置包括一光线发射器及一光线感应器,该光线发射器供照射一光线至该光线感应器,当所述位移机构移动至所述第二位置时,所述驱动装置遮蔽住该光线感应器所接收的光线而触发所述感测装置。

该点墨机还包括一微调装置,该微调装置设于所述架体并位于所述位移机构远离所述供墨装置的一端,当所述位移机构位于所述第一位置时,该微调装置抵顶于所述位移机构,该微调装置可调整地沿所述第一方向移动以调整所述第一位置与第二位置的相对距离。

所述微调装置包括一螺杆及一锁定件,所述架体包括一横向所述第一方向延伸的延伸段,该延伸段设有一可拆卸的螺套,该螺杆沿所述第一方向移动地螺接于该螺套,当所述位移机构位于所述第一位置时,该螺杆抵顶所述位移机构,该锁定件螺接于该螺杆并抵顶于该延伸段远离所述位移机构的一侧,所述架体固设有一固定座,该固定座设有一沿所述第一方向延伸的滑槽,所述驱动机构固设于该固定座,所述位移机构延伸设有一定位件,该定位件滑设于该滑槽。

所述感测装置包括至少一感应片,至少一感应片设于所述位移机构与驱动机构至少其中之一,当所述位移机构移动至所述第二位置时,至少一感应片接触到所述位移机构与驱动机构的另一个而触发所述感测装置;所述感测装置包括两个感应片,两感应片分别设于所述限位件与驱动机构,当所述位移机构移动至所述第二位置时,所述限位件抵顶于所述驱动机构,两感应片相接触而触发所述感测装置;该点墨机还包括一微调装置,该微调装置设于所述架体并位于所述位移机构远离所述供墨装置的一端,当所述位移机构位于所述第一位置时,该微调装置抵顶于所述位移机构,该微调装置可调整地沿所述第一方向移动以调整所述第一位置与第二位置的相对距离;该微调装置包括一螺杆及一锁定件,所述架体包括一横向所述第一方向延伸的延伸段,该延伸段设有一可拆卸的螺套,该螺杆沿所述第一方向移动地螺接于该螺套,当所述位移机构位于所述第一位置时,该螺杆抵顶所述位移机构,该锁定件螺接于该螺杆并抵顶于该延伸段远离所述位移机构的一侧,所述架体固设有一固定座,该固定座设有一沿所述第一方向延伸的滑槽,所述驱动机构固设于该固定座,所述位移机构延伸设有一定位件,该定位件滑设于该滑槽。

本实用新型的优点是:

本实用新型的点墨机,感测装置可有效侦测供墨装置是否确实对晶片进行点墨,并储存供墨装置点墨的次数,以避免已损坏的晶片未被进行点墨而被误用。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的装配示意图。

图2为本实用新型一较佳实施例的立体图。

图3为本实用新型一较佳实施例的分解图。

图4及图5为本实用新型一较佳实施例的操作侧视图。

图6为本实用新型一较佳实施例的感测装置的结构方块图。

图7为本实用新型另一较佳实施例的立体图。

图8为本实用新型另一较佳实施例的侧视图。

具体实施方式

以下将通过较佳实施例说明本实用新型的结构特征及其预期达成的功效,但并非用以限制本实用新型所欲保护的范畴,事先声明。

请参考图1至6,其显示本实用新型的一较佳实施例,本实用新型的点墨机包括一供墨组件1及一感测装置4。

供墨组件1包括一驱动装置2及一供墨装置3,驱动装置2可选择性地沿一第一方向移动于一第一位置与一第二位置之间,当驱动装置2移动至第二位置时,驱动装置2驱使供墨装置3供对一物件(于本实施例中为一晶圆9的一晶片91)进行点墨。

感测装置4设于供墨组件1,当驱动装置2移动至第二位置时(如图5所示),驱动装置2触发感测装置4储存驱动装置2移动至第二位置的状态一次。举例说明,如晶圆9被检测出具有十个损坏的晶片91,点墨机即需对损坏的晶片91进行点墨标记,当点墨机对晶圆9完成点墨作业后,如果感测装置4所储存的驱动装置2移动至第二位置的状态次数未达十次,表示晶圆9有至少一损坏的晶片91并未被点墨机进行点墨,如此即可尽速重新将未被点墨机进行点墨的损坏的至少一晶片91进行点墨标记,以避免晶圆9切割后损坏的晶片91被使用。

于本实施例中,供墨装置3包括一墨筒31、一供墨端32及一启动端33,墨筒31内供设有墨水,当驱动装置2抵顶于启动端33时,启动端33动作而将墨水自供墨端32输出以对晶片91点墨。

进一步的说,较佳地供墨组件1可包括一架体5,驱动装置2及感测装置4设于架体5,驱动装置2包括一驱动机构21及一位移机构22,驱动机构21固设于架体5,位移机构22设于驱动机构21且驱动机构21驱动位移机构22移动于第一位置与第二位置之间,位移机构22移动至第二位置的过程中抵顶于启动端33,待位移机构22移动至第二位置时即推动启动端以顺利地将墨水自供墨端32输出。

较佳地,驱动装置2可包括一限位件23,限位件23连动地设于位移机构22,当位移机构22移动至第二位置时,限位件23抵顶于驱动机构21,位移机构22即停止朝供墨组件1的方向移动。进一步的说,限位件23可选择性地沿第一方向调整限位件23与位移机构22的相对位置,于本实施例中限位件23是由一锁固件锁固于位移机构22,以方便调整限位件23与位移机构22的相对位置。

其中,感测装置4可包括至少一感应片41,至少一感应片41设于位移机构22与驱动机构21至少其中之一,当位移机构22移动至第二位置时,至少一感应片41接触到位移机构22与驱动机构21的另一个而触发感测装置4,于本实施例中感测装置4包括两感应片41,两感应片41分别设于限位件23与驱动机构21,当位移机构22移动至第二位置时,限位件23抵顶于驱动机构21,两感应片41相接触而触发感测装置4,于本实施例中两感应片41相接触时会与感测装置4的记忆单元42形成电性连通的通路,感测装置4的记忆单元42即储存并记录位移机构22移动至第二位置的状态的次数。

另外,点墨机可包括一微调装置6,微调装置6设于架体5并位于位移机构22远离供墨装置3的一端,当位移机构22位于第一位置时,微调装置6抵顶于位移机构22(如图4所示),微调装置6可调整地沿第一方向移动以调整第一位置与第二位置的相对距离,以根据不同点墨机的位移机构22与启动端33的距离而调整第一位置与第二位置的相对距离。于本实施例中,微调装置6包括一螺杆61及一锁定件62,架体5包括一横向第一方向延伸的延伸段51,延伸段51设有一可拆卸的螺套52,螺套52是由一锁设件锁设于延伸段51,螺杆61沿第一方向移动地螺接于螺套52,当位移机构22位于第一位置时,螺杆61抵顶位移机构22,锁定件62螺接于螺杆61并抵顶于延伸段51远离位移机构22的一侧,以防止螺杆61因架体5的震动或摇晃而相对架体5任意转动。

较佳地,于本实施例中,架体5固设有一固定座53,固定座53设有一沿第一方向延伸的滑槽531,驱动机构21固设于固定座53,位移机构22延伸设有一定位件221,定位件221滑设于滑槽531,以确保位移机构22沿第一方向移动。

请进一步参考图7及图8,于本实用新型的另一实施例中,感测装置4A包括一光线发射器43及一光线感应器44,光线发射器43供照射一光线至光线感应器44,当位移机构22移动至第二位置时,驱动装置2遮蔽住光线感应器44所接收的光线而触发感测装置4A,因此通过光线发射器43及光线感应器44,感测装置4A同样地可有效感测并记录驱动装置2移动至第二位置的状态次数,其余结构与上述实施例相同,故不再多加叙述。

综上,本实用新型的点墨机,感测装置可有效侦测供墨装置是否确实对晶片进行点墨,并储存供墨装置点墨的次数,以避免已损坏的晶片未被进行点墨而被误用。

以上所述是本实用新型的较佳实施例及其所运用的技术原理,对于本领域的技术人员来说,在不背离本实用新型的精神和范围的情况下,任何基于本实用新型技术方案基础上的等效变换、简单替换等显而易见的改变,均属于本实用新型保护范围之内。

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